手持式电动升降机制造技术

一种递送系统包含：手持式电动升降机，其经配置以提升至少一个汽化器容器；及机柜，其经配置以固持所述至少一个汽化器容器。所述升降机包含长形桅杆、附接到所述桅杆的效应器、经配置以移动所述升降机的处置器，及至少一个脚轮。所述效应器由电源控制以沿所述桅杆移动。所述至少一个脚轮中的每一者包含止动件及轮。所述止动件是长形的并安置在所述轮上方。所述止动件经配置以与所述轮接合，以防止所述轮在所述止动件被向下推动时旋转。所述止动件经进一步配置以与所述轮脱离，以允许所述轮在所述止动件被释放时旋转。所述机柜包含至少一个通道，其经配置以容纳所述至少一个脚轮。其经配置以容纳所述至少一个脚轮。其经配置以容纳所述至少一个脚轮。

【技术实现步骤摘要】
手持式电动升降机


[0001]本技术大体上涉及将汽化器容器安装到机柜(例如，固体递送机柜)中及/或从机柜移除。更明确来说，本技术涉及用于使用具有止动件的手持式电动升降机将汽化器容器安装到固体递送机柜中及/或从固体递送机柜移除的设备及系统，所述止动件与固体递送机柜的通道相互作用，以与手持式电动升降机的轮接合及/或脱离。

技术介绍

[0002]在源试剂(例如用于例如化学气相沉积、原子层沉积及/或离子植入工艺的工艺中的蒸气的液体及/或固体源试剂)的使用中，源试剂经加热以形成用于沉积或植入的源试剂蒸气，汽化器容器可适于固持源试剂。在操作之前及/或之后，将汽化器容器安装到机柜(例如，固体递送机柜)中或从机柜移除，且需要根据行业标准满足安装及移除的安全要求。

技术实现思路

[0003]本技术大体上涉及将汽化器容器安装到机柜(例如，固体递送机柜)中及/或从机柜移除。更明确来说，本技术涉及用于使用具有止动件的手持式电动升降机将汽化器容器安装到固体递送机柜中及/或从固体递送机柜移除的设备及系统，所述止动件与固体递送机柜的通道相互作用，以与手持式电动升降机的轮接合及/或脱离。
[0004]当在操作之前及/或之后，将汽化器容器安装到机柜(例如固体递送机柜)中及/或从机柜移除时，需要满足安装及移除的安全及其它要求(例如，半导体装备及材料国际(SEMI)标准，例如参见https://www.semi.org)。还需要考虑安装在客户现场处(通常在具有例如格栅地板等的狭窄区域中)的固体递送机柜的占地面积限制，以及提升重的固体递送汽化器容器所需的承重能力。本文所公开的实施例可提供一种具有止动件的手持式电动升降机，所述止动件与固体递送机柜的通道相互作用，以确保安全且辅助地将汽化器容器安装到固体递送机柜中及/或从固体递送机柜移除。
[0005]在实施例中，一种手持式电动升降机包含长形桅杆、经附接到所述桅杆的效应器(effector)、经配置以移动所述升降机的处置器，及至少一个脚轮。所述效应器由电源控制以沿所述桅杆移动。所述至少一个脚轮中的每一者包含止动件及轮。所述止动件是长形的并安置在所述轮上方。所述止动件经配置以与所述轮接合，以防止所述轮在所述止动件被向下推动时旋转。所述止动件经进一步配置以与所述轮脱离，以允许所述轮在所述止动件被释放时旋转。
[0006]在实施例中，所述轮是旋转轮。
[0007]在实施例中，所述至少一个脚轮包含两个前脚轮，所述升降机进一步包括两个后脚轮。
[0008]在实施例中，所述升降机的宽度为或约为21英寸。
[0009]在实施例中，所述升降机的承重能力范围为从为或约为120磅到为或约为200磅。
[0010]在实施例中，所述止动件包含长形销。
[0011]在实施例中，所述止动件包含弹性体。当所述止动件没有被推动时，所述弹性体经配置以释放所述止动件，使得所述止动件与所述轮脱离。
[0012]在实施例中，一种递送系统包含：手持式电动升降机，其经配置以提升至少一个汽化器容器；及机柜，其经配置以固持所述至少一个汽化器容器。所述升降机包含长形桅杆、经附接到所述桅杆的效应器、经配置以移动所述升降机的处置器，及至少一个脚轮。所述效应器由电源控制以沿所述桅杆移动。所述至少一个脚轮中的每一者包含止动件及轮。所述止动件是长形的并安置在所述轮上方。所述止动件经配置以与所述轮接合，以防止所述轮在所述止动件被向下推动时旋转。所述止动件经进一步配置以与所述轮脱离，以允许所述轮在所述止动件被释放时旋转。所述机柜包含至少一个通道，其经配置以容纳所述至少一个脚轮。
[0013]在实施例中，所述至少一个通道包含两个通道。所述两个通道中的每一者经配置以分别容纳所述两个前脚轮中的每一者。
[0014]在实施例中，所述至少一个通道安置在所述机柜的底部处。
[0015]在实施例中，所述至少一个通道经配置使得当所述至少一个脚轮容纳于所述至少一个通道中时，所述至少一个通道的顶壁向下推动所述止动件以防止所述轮旋转。
[0016]在实施例中，所述机柜经固定到格栅地板。
[0017]在实施例中，所述机柜经螺栓固定到所述格栅地板。
[0018]在实施例中，所述至少一个通道包含顶壁。当所述止动件与所述轮脱离时，所述顶壁的高度低于所述止动件的高度，使得当所述至少一个脚轮容纳于所述至少一个通道中时，所述顶壁向下推动所述止动件，且所述止动件与所述轮接合。
附图说明
[0019]参考形成本技术的一部分的附图，且附图说明其中可实践本说明书中所描述的系统及方法的实施例。
[0020]图1说明根据实施例的递送系统的手持式电动升降机的侧视图，所述手持式电动升降机提升汽化器容器以将汽化器容器安装到机柜中。
[0021]图2说明根据实施例的递送系统的手持式电动升降机的后侧视图，所述手持式电动升降机与机柜相互作用，且汽化器容器安装在机柜中。
[0022]图3说明根据实施例的手持式电动升降机的脚轮的分解视图。
[0023]图4A说明根据实施例的手持式电动升降机的脱离的脚轮的横截面侧视图。
[0024]图4B说明根据实施例的图4A的手持式电动升降机的脱离的脚轮在不同角度的横截面视图。
[0025]图4C说明根据实施例的图4A的手持式电动升降机的脱离的脚轮的前侧视图。
[0026]图4D说明根据实施例的递送系统中的图4A的手持式电动升降机的脱离的脚轮的侧视图。
[0027]图5说明根据实施例的手持式电动升降机的脚轮的横截面侧视图。
[0028]图6A说明根据实施例的手持式电动升降机的接合的脚轮的横截面视图。
[0029]图6B说明根据实施例的图6A的手持式电动升降机的接合的脚轮的前侧视图。
[0030]图6C说明根据实施例的递送系统中的图6A的手持式电动升降机的接合的脚轮的
后侧视图。
[0031]图6D说明根据实施例的递送系统中的图6A的手持式电动升降机的接合的脚轮的侧视图。
[0032]图7A说明根据实施例的手持式电动升降机的脱离的脚轮的侧视图。
[0033]图7B说明根据实施例的手持式电动升降机的接合的脚轮的侧视图。
[0034]图7C说明根据实施例的手持式电动升降机的脱离的脚轮的侧视图。
[0035]图7D说明根据实施例的手持式电动升降机的接合的脚轮的侧视图。
[0036]贯穿全文，相同的参考数字表示相同的部件。
具体实施方式
[0037]本技术大体上涉及将汽化器容器安装到机柜(例如，固体递送机柜)中及/或从机柜移除。更明确来说，本技术涉及用于使用具有止动件的手持式电动升降机将汽化器容器安装到固体递送机柜中及/或从固体递送机柜移除的设备及系统，所述止动件与固体递送机柜的通道相互作用，以与手持式电动升降机的轮接合及/或脱离。
[0038]以下定义适用于本技术。如本文所定义，术语“固体递送本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种手持式电动升降机，其特征在于所述升降机包括：长形桅杆；效应器，其附接到所述桅杆，处置器，其经配置以移动所述升降机；及至少一个脚轮，其中所述至少一个脚轮中的每一者包含止动件及轮，其中止动件是长形的并安置在所述轮上方。2.根据权利要求1所述的手持式电动升降机，其特征在于所述轮是旋转轮。3.根据权利要求1所述的手持式电动升降机，其特征在于所述至少一个脚轮包含两个前脚轮，所述升降机进一步包括两个后脚轮。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：新型
国别省市：