本实用新型专利技术公开了一种微距测量仪，包括一体成型的U型外壳、底板、侧板、旋光镜和微距调整装置，当音圈电机通电后，外套沿内芯处于上下运动状态，带动联动件、可调节镜片和光栅尺沿滑动支架处于上下滑动状态；连接板固接固接在结构件上，连接板侧壁固接读头，读头的读头感应面正对光栅尺；光纤可拆卸的套设在光纤法兰顶面，光纤法兰底面通过压条固定在连接板压条之间，因此，在微动的过程中，通过联动件和连接板将可动部分和不动部分分别固定在结构件上，防止了外界环境震动等因素对该测量值的影响，提高微距测量的精度。提高微距测量的精度。提高微距测量的精度。
【技术实现步骤摘要】
一种微距调整装置及微距测量仪
[0001]本技术涉及激光加工领域，更具体的涉及一种微距调整装置及微距测量仪。
技术介绍
[0002]传统光电仪器中，需要对光路中的各种精密器件进行精确微动去改变特定光学参数。通常可调节镜片与光纤之间的距离调整都是纳米级的，外界的振动等环境因素的影响将极大的影响可调节镜片与光纤之间的纳米级距离调整的准确度。因此，需要研发一种可以精密控制可调节镜片与光纤之间距离的装置，实现微动距离可控的目的。
技术实现思路
[0003]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种微距调整装置及微距测量仪，该微距调整装置可以精密控制可调节镜片与光纤之间的微动距离，实现一个纳米级高精度距离控制，满足光学传感器光学元件之间的距离调整需求。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是：
[0004]一种微距调整装置，包括音圈电机、联动件、可调节镜片、光栅尺、滑动支架、光纤、固定光纤的光纤法兰、连接板、读取光栅尺移动位移的读头和起固定作用的结构件；
[0005]所述的音圈电机包括内芯和可沿内芯上下移动的外套，内芯固接结构件，外套固定在联动件上；联动件上开设有第一通孔，可调节镜片设置于第一通孔内，联动件侧面与滑动支架固定连接，联动件另一侧面固接光栅尺；当音圈电机通电后，外套沿内芯处于上下运动状态，带动联动件、可调节镜片和光栅尺沿滑动支架处于上下滑动状态；
[0006]所述的连接板开设有可供光通过的第二通孔，连接板固接在结构件上，连接板侧壁固接读头，读头的读头感应面正对光栅尺；
[0007]所述的光纤可拆卸的套设在光纤法兰顶面，光纤法兰底面固定放置在第二通孔上；
[0008]所述的光纤、光纤法兰、第二通孔和可调节镜片沿光路依次设置，并可供光通过。
[0009]进一步的，所述光纤法兰底面径向向外延伸有便于固定光纤法兰的圆盘结构。
[0010]更进一步的，所述的第二通孔为与圆盘结构松配合的台阶孔，圆盘结构固定放置在台阶孔的台肩上。
[0011]更进一步的，还包括2个用于压紧圆盘结构的两侧边缘的压条，压条两端设置有第一螺丝孔，连接板上设置有与第一螺丝孔相配合的第二螺丝孔。
[0012]更进一步的，所述的连接板上设置有凹陷，台阶孔设置在凹陷中心，2个压条设置在凹陷内，圆盘结构放置在台肩上，螺栓通过第一螺丝孔和第二螺丝孔将圆盘结构的两侧边缘压紧在压条和连接板之间，压条顶面与连接板顶面平齐。
[0013]进一步的，所述的连接板侧壁向下延伸有增大连接板固接面积的固接面，固接面固接结构件。
[0014]进一步的，所述的滑动支架包括导轨和滑块，导轨固定安装在结构件上，滑块连接
联动件。
[0015]更进一步的，所述的联动件侧面向上延伸有增大与滑块接触面积的滑动板，滑动板与联动件形成L型。
[0016]一种带有上述微距调整装置的微距测量仪，包括一体成型的U型外壳、底板、侧板、旋光镜和微距调整装置；
[0017]所述的底板上设置有过光孔；微距调整装置、旋光镜和过光孔沿光路依次设置，可供光通过；
[0018]所述的U型外壳安装在底板上，侧板可拆卸的设置在U型外壳的侧面缺口上。
[0019]更进一步的，所述的底板还包括放置结构件的定位孔、安装底板的固定孔和接线避让缺口。
[0020]该微距测量仪在使用的过程中，联动件固接音圈电机的外套，可调节镜片，同时音圈电机的内芯固接结构件，因此，当音圈电机通电后，外套沿内芯处于上下运动状态，带动联动件、可调节镜片和光栅尺沿滑动支架处于上下滑动状态；连接板固接固接在结构件上，连接板侧壁固接读头，读头的读头感应面正对光栅尺；光纤可拆卸的套设在光纤法兰顶面，光纤法兰底面通过压条固定在连接板压条之间，因此，当音圈电机带动联动件、可调节镜片和光栅尺沿滑动支架处于上下滑动状态时，读头可读取光栅尺移动的微小距离。由于这种距离通常都是纳米级的，因此，在微动的过程中，通过联动件和连接板将可动部分和不动部分分别固定在结构件上，防止了外界环境震动等因素对该测量值的影响，提高微距测量的精度。
附图说明
[0021]图1为微距测量仪内部结构立体图。
[0022]图2为套设微距测量仪一体成型的U型外壳立体图。
[0023]图3为微距测量仪底板立体图。
[0024]图4为微距调整装置立体图。
[0025]图5为音圈电机、联动件、可调节镜片、光栅尺和滑动支架配合立体图。
[0026]图6为连接板与结构件配合立体图。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]实施例1：如图4
‑
图6，一种微距调整装置1，包括音圈电机2、联动件3、可调节镜片4、光栅尺5、滑动支架6、光纤7、固定光纤7的光纤法兰8、连接板9、读取光栅尺5移动位移的读头10和起固定作用的结构件11；
[0029]音圈电机2包括内芯21和可沿内芯21上下移动的外套22，内芯21固接结构件11，外套22固定在联动件3上；联动件3上开设有第一通孔31，可调节镜片4设置于第一通孔31内，联动件侧面32与滑动支架6固定连接，联动件另一侧面33固接光栅尺5；当音圈电机2通电
后，外套22沿内芯21处于上下运动状态，带动联动件3、可调节镜片4和光栅尺5沿滑动支架6处于上下滑动状态；
[0030]连接板9开设有可供光通过的第二通孔91，连接板9固接在结构件11上，连接板侧壁92固接读头10，读头10的读头感应面正对光栅尺5；
[0031]光纤7可拆卸的套设在光纤法兰顶面81，光纤法兰底面82固定放置在第二通孔91上；
[0032]光纤7、光纤法兰8、第二通孔91和可调节镜片5沿光路依次设置，并可供光通过。
[0033]在一些实施例中，光纤法兰底面82径向向外延伸有便于固定光纤法兰8的圆盘结构83。
[0034]在一些实施例中，第二通孔91为与圆盘结构83松配合的台阶孔，圆盘结构83固定放置在台阶孔的台肩93上。
[0035]在一些实施例中，还包括2个用于压紧圆盘结构83的两侧边缘的压条12，压条12两端设置有第一螺丝孔13，连接板9上设置有与第一螺丝孔13相配合的第二螺丝孔94。
[0036]在一些实施例中，连接板9上设置有凹陷95，台阶孔设置在凹陷95中心，2个压条12设置在凹陷95内，圆盘结构83放置在台肩93上，螺栓(图中未示出)通过第一螺丝孔13和第二螺丝孔94将圆盘结构83的两侧边缘压紧在压条12和连接板9之间，压条顶面与连接板顶面平齐。
[0037]在一些实施例中，连接板侧壁92向下延伸有增大连接板固接面本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微距调整装置，其特征在于，包括音圈电机、联动件、可调节镜片、光栅尺、滑动支架、光纤、固定光纤的光纤法兰、连接板、读取光栅尺移动位移的读头和起固定作用的结构件；所述的音圈电机包括内芯和可沿内芯上下移动的外套，内芯固接结构件，外套固定在联动件上；联动件上开设有第一通孔，可调节镜片设置于第一通孔内，联动件侧面与滑动支架固定连接，联动件另一侧面固接光栅尺；当音圈电机通电后，外套沿内芯处于上下运动状态，带动联动件、可调节镜片和光栅尺沿滑动支架处于上下滑动状态；所述的连接板开设有可供光通过的第二通孔，连接板固接在结构件上，连接板侧壁固接读头，读头的读头感应面正对光栅尺；所述的光纤可拆卸的套设在光纤法兰顶面，光纤法兰底面固定放置在第二通孔上；所述的光纤、光纤法兰、第二通孔和可调节镜片沿光路依次设置。2.如权利要求1所述的微距调整装置，其特征在于，所述光纤法兰底面径向向外延伸有便于固定光纤法兰的圆盘结构。3.如权利要求2所述的微距调整装置，其特征在于，所述的第二通孔为与圆盘结构松配合的台阶孔，圆盘结构固定放置在台阶孔的台肩上。4.如权利要求3所述的微距调整装置，其特征在于，还包括2个用于压紧圆盘结构的两侧边缘的压条，压条两端设置有第一螺丝孔，连接板上设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：王洪兵，刘文杰，
申请(专利权)人：苏州德擎光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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