一种氖气再液化装置，通过低温蒸发氖气增压、GM制冷机液化氖气、节流降温液氖，实现蒸发氖气再液化，其中本原料气低温蒸发氖气来自真空杜瓦内装置冷却蒸发液氖，所述真空杜瓦外部包裹真空夹层，真空夹层下部设置有抽真空口连接真空阀进口，真空阀出口同时连接旋片泵进口、分子泵进口，旋片泵出口、分子泵出口同时连接环境排空管路，本发明专利技术通过低温氖气循环，实现将超导装置冷却到20K温区。本发明专利技术将冷却超导装置产生的低温蒸发氖气增压、循环净化、然后通过GM制冷机实现增压低温氖气液化，并通过节流阀节流降温至20K温区，供给超导装置冷却使用。本发明专利技术装置可根据实际液氖使用要求，提供20～40K温区不同等级液氖，以满足不同冷却要求。要求。要求。
【技术实现步骤摘要】
一种氖气再液化装置
[0001]本技术介绍了一种氖气再液化装置，属于氖气再液化领域。
技术介绍
[0002]氖气在大气中含量稀少，因此氖气经济价值极高。近几年，氖气使用量逐年增大，并广泛应用于核电、光电源工业、氖氦激光器等诸多领域。本专利技术提供了一种氖气再液化装置，实现了低温蒸发氖气再液化，极大节省了稀有气体氖的消耗。
技术实现思路
[0003]本技术公开了一种氖气再液化装置，本专利技术装置以低温蒸发氖气为原料，将冷却超导装置产生的低温蒸发氖气增压、循环净化、然后通过GM制冷机实现增压低温氖气液化，并通过节流阀节流降温至20K温区，供给超导装置冷却使用。本专利技术装置可根据实际液氖使用要求，提供20～40K温区不同等级液氖，以满足不同冷却要求。
[0004]为实现本技术的目的，本专利技术一种氖气再液化装置，一种氖气再液化装置，该装置通过低温蒸发氖气增压、GM制冷机液化氖气、节流降温液氖，实现蒸发氖气再液化，其中本原料气低温蒸发氖气来自真空杜瓦内装置冷却蒸发液氖，所述真空杜瓦外部包裹真空夹层，真空夹层下部设置有抽真空口连接真空阀进口，真空阀出口同时连接旋片泵进口、分子泵进口，旋片泵出口、分子泵出口同时连接环境排空管路。
[0005]作为优选：所述真空杜瓦蒸发氖气出口连接单向阀A进口，单向阀A出口同时连接安全阀A进口、调阀A进口、调阀B进口。安全阀A出口连大气，调阀A出口同时连接氖气回收罐氖气进口、调阀C出口、安全阀B进口。调阀B出口同时连接截止阀A出口、氖气增压机进口，安全阀B出口连大气。
[0006]作为优选：所述真空杜瓦中的液氮由连接液氖储罐的真空管路提供，该液氖储罐顶部氖气出口分别连接调阀C进口、单向阀B进口。单向阀B出口连接截止阀A进口。氖气增压机出口连接单向阀C进口，单向阀C出口连接截止阀B进口，截止阀B出口分别连接截止阀C出口、循环净化进口、截止阀D出口，该截止阀D进口通过氖气补充管线连接氖气钢瓶，氖气回收罐氖气出口连接截止阀E进口，截止阀E出口分别连接氖气压缩机进口、氖气旁通阀进口，氖气压缩机出口、氖气旁通阀出口同时连接单向阀D进口，单向阀D出口连接截止阀C进口。
[0007]作为优选：所述循环净化出口连接GM制冷机A热端进口，GM制冷机A热端出口同时连接GM制冷机B热端进口、调阀D进口。GM制冷机B热端出口、调阀D出口共同连接氖气流量计进口，氖气流量计出口连接节流阀进口，节流阀出口连接调阀E进口，调阀E出口连接液氖储罐液氖进口。
[0008]作为优选：所述真空杜瓦上部设置氖气压力传感器A和氖气压力表A，其中氖气压力传感器A输出电信号控制调阀A阀口开度。液氖储罐上部设置氖气压力传感器B和氖气压力表B，其中氖气压力传感器B输出电信号控制调阀C阀口开度。液氖储罐液氖电容式液位计输出电信号与氖气流量计输出电信号、氖气流量计进口温度计输出电信号一起控制调阀E
阀口开度。
[0009]本技术公开了一种氖气再液化装置，本专利技术通过低温氖气循环，实现将超导装置冷却到20K温区。具体来说，本专利技术将冷却超导装置产生的低温蒸发氖气增压、循环净化、然后通过GM制冷机实现增压低温氖气液化，并通过节流阀节流降温至20K温区，供给超导装置冷却使用。本专利技术装置可根据实际液氖使用要求，提供20～40K温区不同等级液氖，以满足不同冷却要求。
附图说明
[0010]图1是本技术的结构示意图。
具体实施方式
[0011]下面将结合附图对本技术作详细的介绍：如图1所示，一种氖气再液化装置，该装置通过低温蒸发氖气增压、GM制冷机液化氖气、节流降温液氖，实现蒸发氖气再液化，其中本原料气低温蒸发氖气来自真空杜瓦1内装置冷却蒸发液氖，所述真空杜瓦1外部包裹真空夹层38，真空夹层38下部设置有抽真空口连接真空阀32进口，真空阀32出口同时连接旋片泵30进口、分子泵31进口，旋片泵30出口、分子泵31出口同时连接环境排空管路。
[0012]所述真空杜瓦1蒸发氖气出口连接单向阀A2进口，单向阀A2出口同时连接安全阀A33进口、调阀A4进口、调阀B3进口。安全阀A33出口连大气，调阀A4出口同时连接氖气回收罐7氖气进口、调阀C14出口、安全阀B13进口。调阀B3出口同时连接截止阀A15出口、氖气增压机34进口。安全阀B13出口连大气。
[0013]所述真空杜瓦1中的液氮由连接液氖储罐19的真空管路提供，该液氖储罐19顶部氖气出口分别连接调阀C14进口、单向阀B16进口。单向阀B16出口连接截止阀A15进口。氖气增压机34出口连接单向阀C35进口，单向阀C35出口连接截止阀B36进口，截止阀B36出口分别连接截止阀C12出口、循环净化27进口、截止阀D28出口，该截止阀D28进口通过氖气补充管线连接氖气钢瓶29，氖气回收罐7氖气出口连接截止阀E8进口，截止阀E8出口分别连接氖气压缩机9进口、氖气旁通阀10进口，氖气压缩机9出口、氖气旁通阀10出口同时连接单向阀D11进口，单向阀D11出口连接截止阀C12进口。
[0014]所述循环净化27出口连接GM制冷机A26热端进口，GM制冷机A26热端出口同时连接GM制冷机B25热端进口、调阀D24进口。GM制冷机B25热端出口、调阀D24出口共同连接氖气流量计22进口，氖气流量计22出口连接节流阀37进口，节流阀37出口连接调阀E21进口，调阀E21出口连接液氖储罐19液氖进口。
[0015]所述真空杜瓦1上部设置氖气压力传感器A5和氖气压力表A6，其中氖气压力传感器A5输出电信号控制调阀A4阀口开度。液氖储罐19上部设置氖气压力传感器B17和氖气压力表B18，其中氖气压力传感器B17输出电信号控制调阀C14阀口开度。液氖储罐19液氖电容式液位计20输出电信号与氖气流量计22输出电信号、氖气流量计22进口温度计23输出电信号一起控制调阀E21阀口开度。
[0016]本技术实施方法如下：
[0017]本专利技术装置启动前，系统阀门均关闭。本专利技术装置运行前，需对整个装置管道置换、抽真空，并保证系统管路真空度不大于1Pa。具体来说：
①
打开系统阀门，用3～5atm（G）
氮气吹扫系统管路6～7h，检测系统管路吹扫氮气出口是否有杂质（出口处白布无明显变化）、以及露点是否合格（～
‑
80℃）；
②
系统管路检测合格后，停止吹扫；启动旋片泵30，粗抽真空至系统管路真空度不大于1Pa；
③
上述步骤完成，关闭系统阀门。
[0018]本技术装置系统管道置换、抽真空后，氖气压力传感器A5、氖气压力表A6、氖气压力传感器B17、氖气压力表B、液氖电容式液位计20、液氖流量计22以及温度计23输出校准。
[0019]本技术装置管道置换、抽真空，以及氖气压力传感器A5、氖气压力表A6、氖气压力传感器B17、氖气压力表B、液氖电容式液位计20、液氖流量计22以及温度计23输出校准完成后，氖气循环再液化启动，旋片泵30抽真空本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氖气再液化装置，该装置通过低温蒸发氖气增压、GM制冷机液化氖气、节流降温液氖，实现蒸发氖气再液化，其中本原料气低温蒸发氖气来自真空杜瓦（1）内装置冷却蒸发液氖，其特征在于：所述真空杜瓦（1）外部包裹真空夹层（38），真空夹层（38）下部设置有抽真空口连接真空阀（32）进口，真空阀（32）出口同时连接旋片泵（30）进口、分子泵（31）进口，旋片泵（30）出口、分子泵（31）出口同时连接环境排空管路。2.根据权利要求1所述的氖气再液化装置，其特征在于：所述真空杜瓦（1）蒸发氖气出口连接单向阀A（2）进口，单向阀A（2）出口同时连接安全阀A（33）进口、调阀A（4）进口、调阀B（3）进口，安全阀A（33）出口连大气，调阀A（4）出口同时连接氖气回收罐（7）氖气进口、调阀C（14）出口、安全阀B（13）进口，调阀B（3）出口同时连接截止阀A（15）出口、氖气增压机（34）进口，安全阀B（13）出口连大气。3.根据权利要求2所述的氖气再液化装置，其特征在于：所述真空杜瓦（1）中的液氮由连接液氖储罐（19）的真空管路提供，该液氖储罐（19）顶部氖气出口分别连接调阀C（14）进口、单向阀B（16）进口，单向阀B（16）出口连接截止阀A（15）进口，氖气增压机（34）出口连接单向阀C（35）进口，单向阀C（35）出口连接截止阀B（36）进口，截止阀B（36）出口分别连接截止阀C（12）出口、循环净化（27）进口、截止阀...
【专利技术属性】
技术研发人员：任美凤，谭芳，韩一松，姚蕾，彭旭东，
申请(专利权)人：杭氧集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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