【技术实现步骤摘要】
柔性超构表面红外热释电探测器
[0001]本专利技术属于红外探测
，具体涉及一种柔性超构表面红外热释电探测器。
技术介绍
[0002]红外探测技术在国防安全、环境监测、医学诊断和疫情防控等众多领域具有广泛的作用。热敏型红外探测器由于其低功耗，无需制冷等优点在上述许多应用场景中发挥着重要应用。热敏型红外探测器种类很多，其中热释电探测器是为其典型的代表之一。传统的热释电探测器通常利用外加的吸收层将光能转换为热能，引起器件温度的变化，改变热释电层材料的极化状态，通过表面电荷的重新排布产生电信号的输出，从而实现对光外辐射信号的探测。其中吸收层将光信号转换为热信号再传递到热释电材料层需要较长的时间，同时较大的电容面积厚的热电材料层等原因导致器件响应速度慢。此外，传统红外热释电探测器具有平坦的光谱吸收，对需要具有波长选择性的探测的应用场景，通常是利用红外滤波窗片实现。近年来，人工微结构超构表面概念的出现大大丰富了人们操控电磁波的手段。其中超构表面的重要应用之一就是用于增强收集吸收电磁波。通过超构表面微结构的调节可实现对不同波长的选...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种柔性超构表面红外热释电探测器，其特征在于，包括依次叠合的衬底层（1）、下电极层（2）、热电材料层（3）、上电极层（4）；改变热电材料层的厚度和互联型金属人工微结构的形状和尺寸，实现不同波长红外信号的探测；其中：所述衬底层（1），采用无粘性的聚酰亚胺薄膜，厚度为5
‑
100
µ
m；所述下电极层（2），为金属薄膜，厚度为50
‑
200 nm；所述热电材料层（3），根据探测波长确定热电材料层的厚度，厚度为10
‑
2000 nm；所述上电极层（4），用于实现单通道或多通道的光吸收波长和强度的控制；采用柔性超构表面结构，具体为亚波长周期性互联型金属人工微结构阵列，其厚度为20
‑
200 nm。2. 根据权利要求1所述的柔性超构表面红外热释电探测器，其特征在于，所述微结构阵列由微结构单元二维延拓得到；具体地，由...
【专利技术属性】
技术研发人员：郝加明，潘晓航，徐倩倩，周子骥，孙艳，戴宁，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：
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