点胶设备及其校准装置制造方法及图纸

本申请提供了一种点胶设备及其校准装置，校准装置包括：支撑板；称量件，安装于支撑板上，用于获取胶液的重量；控制器，与称量件通信连接，用于接收称量件获取的胶液的重量值，并将重量值与设定的目标值进行比对。点胶设备包括上述的校准装置。控制器将称量件获取的胶液的重量值与设定的目标值进行比对，如果控制器接收的重量值与目标值相同，说明出胶量不存在偏差；如果不相同，说明出胶量出现偏差。这样，工作人员可以获取点胶阀的出胶量是否出现偏差，从而对点胶阀进行维护。从而对点胶阀进行维护。从而对点胶阀进行维护。

【技术实现步骤摘要】
点胶设备及其校准装置


[0001]本申请属于点胶加工
，更具体地说，是涉及一种点胶设备及其校准装置。

技术介绍

[0002]随着社会的发展，半导体的需求也不断增加，半导体芯片在生产的过程中，需要使用点胶设备对原料晶圆进行点胶加工。
[0003]目前，点胶设备包括机架、分别安装于机架上的龙门点胶机构和点胶平台，龙门点胶机构设置有点胶阀。在加工的过程中，将晶圆固定在点胶平台上，通过龙门点胶机构移动点胶阀的位置以对晶圆进行点胶。
[0004]然而，点胶设备在工作一段时间后，点胶阀的出胶量容易出现偏差，影响点胶的质量。

技术实现思路

[0005]本申请实施例的目的在于提供一种点胶设备及其校准装置，以解决相关技术中存在的点胶设备在工作一段时间后，点胶阀的出胶量容易出现偏差，影响点胶的质量的问题。
[0006]为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：
[0007]一方面，提供一种校准装置，包括：
[0008]支撑板；
[0009]称量件，安装于所述支撑板上，用于获取胶液的重量；
[0010]控制器，与所述称量件通信连接，用于接收所述称量件获取的胶液的重量值，并将所述重量值与设定的目标值进行比对。
[0011]在一个实施例中，所述称量件上设有用于容置所述胶液的称胶杯。
[0012]此结构，使用称胶杯容置胶液，便于工作人员回收从点胶阀喷出的胶液。
[0013]在一个实施例中，所述支撑板上安装有支撑框，所述支撑框包括间隔安装于所述支撑板上的两个支撑柱和连接两个所述支撑柱的安装座，所述安装座上开设有供所述称胶杯伸入的通孔。
[0014]此结构，可以在支撑框的安装座上安装其余用于校准和维护点胶阀的装置。
[0015]在一个实施例中，所述校准装置还包括安装于所述支撑框上的擦胶板。
[0016]此结构，点胶阀在点胶作业后，可以利用擦胶板擦拭点胶阀在喷嘴处残余的胶液，避免残余的胶液影响点胶的品质。
[0017]在一个实施例中，所述安装座上安装有与所述擦胶板平行间隔设置的连接板和设于所述连接板与所述擦胶板之间的弹性件，所述擦胶板面向所述连接板的侧面上安装有连接柱，所述弹性件套设于所述连接柱上，所述弹性件的一端与所述擦胶板抵接，所述弹性件的另一端与所述连接板抵接；所述连接板上开设有供所述连接柱穿过的装配孔。
[0018]此结构，弹性件可以起到缓冲的作用，避免擦拭的过程中擦胶板对点胶阀造成损坏，连接柱可以对弹性件进行限位，保证弹性件的两端分别与擦胶板和连接板可靠相抵。
[0019]在一个实施例中，所述校准装置还包括安装于所述支撑框上的划胶板，所述划胶板与所述擦胶板间隔设置。
[0020]此结构，点胶阀在点胶作业之前，可以在划胶板上进行点胶，检测划胶板上胶液的尺寸和位置是否正确，进而确保点胶阀可以精确作业。
[0021]在一个实施例中，所述校准装置还包括安装于所述支撑框上的高度传感器，所述高度传感器与所述划胶板间隔设置。
[0022]此结构，在更换点胶阀后，可以使用高度传感器检测更换后点胶阀的高度，以确保更换后的点胶阀高度准确。
[0023]在一个实施例中，所述校准装置还包括安装于所述支撑框上的清胶嘴，所述清胶嘴与所述高度传感器间隔设置，所述支撑框上开设有与所述清胶嘴连通的抽气通道。
[0024]此结构，点胶阀在点胶作业后，可以使用清胶嘴清除点胶阀喷嘴处的胶液。
[0025]在一个实施例中，所述校准装置还包括安装于所述支撑框上的排胶杯，所述排胶杯与所述清胶嘴间隔设置。
[0026]此结构，通过设置排胶杯，使得点胶阀可以进行实时排胶，避免点胶阀中胶液发生固化而无法进行点胶。
[0027]另一方面，提供一种点胶设备，包括上述任一实施例提供的校准装置。
[0028]此结构，采用上述校准装置的点胶设备，控制器将称量件获取的胶液的重量值与设定的目标值进行比对，如果控制器接收的重量值与目标值相同，说明出胶量不存在偏差；如果不相同，说明出胶量出现偏差。这样，工作人员可以获取点胶阀的出胶量是否出现偏差，从而对点胶阀进行维护，保证点胶的质量。
[0029]本申请上述任一实施例提供的点胶设备及其校准装置至少具有以下有益效果：将称量件安装于支撑板上，点胶设备在工作一段时间后，点胶设备的点胶阀可以在称量件上进行点胶，从而称量件可以获取胶液的重量。控制器与称量件通信连接，控制器将称量件获取的胶液的重量值与设定的目标值进行比对，如果控制器接收的重量值与目标值相同，说明出胶量不存在偏差；如果不相同，说明出胶量出现偏差。这样，工作人员可以获取点胶阀的出胶量是否出现偏差，从而对点胶阀进行维护。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本申请实施例提供的校准装置的结构示意图一；
[0032]图2为本申请实施例提供的校准装置的结构示意图二；
[0033]图3为图2中A处的局部放大示意图；
[0034]图4为本申请实施例提供的称量件的结构示意图。
[0035]其中，图中各附图主要标记：
[0036]1、支撑板；
[0037]2、称量件；21、称胶杯；
[0038]3、支撑框；31、支撑柱；32、安装座；
[0039]41、擦胶组件；411、擦胶板；412、连接板；413、弹簧；414、连接柱；42、划胶板；43、高度传感器；44、清胶嘴；45、排胶杯；
[0040]5、安装板；
[0041]6、缓冲垫。
具体实施方式
[0042]为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0043]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0044]此外，在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。
[0045]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.校准装置，其特征在于，包括：支撑板；称量件，安装于所述支撑板上，用于获取胶液的重量；控制器，与所述称量件通信连接，用于接收所述称量件获取的胶液的重量值，并将所述重量值与设定的目标值进行比对；所述称量件上设有用于容置所述胶液的称胶杯；所述支撑板上安装有支撑框，所述支撑框包括间隔安装于所述支撑板上的两个支撑柱和连接两个所述支撑柱的安装座，所述安装座上开设有供所述称胶杯伸入的通孔；所述校准装置还包括安装于所述支撑框上的擦胶板；所述安装座上安装有与所述擦胶板平行间隔设置的连接板和设于所述连接板与所述擦胶板之间的弹性件，所述擦胶板面向所述连接板的侧面上安装有连接柱，所述弹性件套设于所述连接柱上，所述弹性件的一端与所述擦胶板抵接，所述弹性件的另一端与所述连接板抵接；所述连接板上开设...

【专利技术属性】
技术研发人员：李复春，江岱平，卢国艺，曾金城，黎平，易智勇，
申请(专利权)人：深圳市腾盛精密装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：