一种PVD薄膜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PVD薄膜，所述PVD薄膜从下往上依次包括：打底层；第一过渡层，所述第一过渡层为钛铝锆合金层；第二过渡层，所述第二过渡层为钛铝锆氮化合物层，所述钛铝锆氮化合物层采用梯度复合材料制成；颜色层，所述颜色层为钛铝锆氮氧化合物层。本实用新型专利技术通过设置第一过渡层和第二过渡层以保证膜层的附着力并减低应力，控制各个膜层之间的平稳过渡，同时第二过渡层的梯度结构可以提高膜层的硬度和致密度，防止膜层分层脱离，还可以调整膜层的吸光系数和折射率，影响颜色层的成色，具有结构紧凑且稳定、成色色泽明亮等优点。成色色泽明亮等优点。成色色泽明亮等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种PVD薄膜


[0001]本技术涉及真空镀膜
，特别涉及一种PVD薄膜。

技术介绍

[0002]过去消费电子类产品的颜色常以黑色为主，而单一的黑色难以满足客户的个性化追求，因此开发不同颜色的装饰表面可以顺应社会发展潮流，符合市场经济的原则。PVD薄膜是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被镀工件上制得的薄膜，其着色的方式通常包括有喷涂油墨、阳极氧化、电镀等工艺。
[0003]大红色PVD薄膜通常包括钛、铝、锆等金属元素，同时还参掺杂大量的氮、氧元素，各类元素的组合影响薄膜的颜色、力学性能、化学性能以及光学性能，现有技术中的大红色PVD薄膜其各个分层之间元素组成比例差距较大、区别明显，降低了薄膜的硬度、耐腐蚀性等性能，影响了薄膜的成色效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提供一种PVD薄膜，保证PVD薄膜的性能和成色效果。
[0005]根据本技术的实施例的一种PVD薄膜，PVD薄膜从下往上依次包括：打底层；第一过渡层，第一过渡层为钛铝锆合金层；第二过渡层，第二过渡层为钛铝锆氮化合物层，钛铝锆氮化合物层采用梯度复合材料制成；颜色层，颜色层为钛铝锆氮氧化合物层。
[0006]根据本技术实施例的一种PVD薄膜，至少具有如下有益效果：本技术通过设置第一过渡层和第二过渡层以保证膜层的附着力并减低应力，控制膜层之间的平稳过渡，同时第二过渡层的梯度结构可以提高膜层的硬度和致密度，防止膜层分层脱离，还可以调整膜层的吸光系数和折射率，影响颜色层的成色，具有结构紧凑且稳定、成色色泽明亮等优点。
[0007]根据本技术的一些实施例，打底层为单一金属底层或多种金属复合层。
[0008]根据本技术的一些实施例，打底层为钛金属镀层、铬金属镀层或不锈钢金属镀层中的一种或多种复合。
[0009]根据本技术的一些实施例，第二过渡层为氮化钛、氮化铝和氮化锆的混合层。
[0010]根据本技术的一些实施例，颜色层为氮氧化钛、氮氧化铝和氮氧化锆的混合层。
[0011]根据本技术的一些实施例，PVD薄膜的厚度为0.6～6um。
[0012]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0013]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将
变得明显和容易理解，其中：
[0014]图1为本实施例PVD薄膜的剖视图；
[0015]附图标号：打底层100；第一过渡层200；第二过渡层300；颜色层400；基材500。
具体实施方式
[0016]下面详细描述本技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0017]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“横向”、“纵向”、“竖向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0019]根据本技术的实施例的一种PVD薄膜，参考图1，PVD薄膜沉积于基材500表面，本实施例中的基材500为模具钢、不锈钢等金属基材500，PVD薄膜从下往上依次包括：打底层100；第一过渡层200，第一过渡层200为钛铝锆合金层；第二过渡层300，第二过渡层300为钛铝锆氮化合物层，钛铝锆氮化合物层采用梯度复合材料制成。其中，打底层100用于提高基材500和第一过渡层200之间的结合力；第一过渡层200用于减小打底层100和第二过渡层300的晶格差异，以提高膜层的附着力并降低应力；第二过渡层300中的梯度复合材料是现有技术中常用的一种采用先进的材料复合技术、通过控制构成材料的要素由一侧向另一侧呈连续梯度变化的非均质材料，本实施例中，第二过渡层300中的钛铝锆氮化合物层，由膜层的底部到上部，铝、锆、氮元素成分比例缓慢提高，其中，铝和锆元素的递增可通过逐渐增大铝靶和锆靶的功率来实现，而氮元素的递增可以通过缓慢增加反应气体中的氮气流量来实现，第二过渡层300通过梯度复合材料逐步从金属层过渡至化合物层，从而降低不同分层之间的应力，同时还可以提高膜层的硬度和致密度；颜色层400，颜色层400为钛铝锆氮氧化合物层，通过利用颜色层400对光的不同成分的差异性吸收和反射，同时结合颜色层400中钛铝锆氮氧化合物的颜色，最终使PVD薄膜呈现出大红色。
[0020]根据本技术实施例的一种PVD薄膜，至少具有如下有益效果：本技术通过设置第一过渡层和第二过渡层以保证膜层的附着力并减低应力，控制各个膜层之间的平稳过渡，同时第二过渡层的梯度结构可以提高膜层的硬度和致密度，防止膜层分层脱离，还可以调整膜层的吸光系数和折射率，影响颜色层的成色，具有结构紧凑且稳定、成色色泽明亮等优点。
[0021]本技术的一些实施例中，打底层为单一金属底层或多种金属复合层。
[0022]更进一步的，打底层为钛金属镀层、铬金属镀层或不锈钢金属镀层中的一种或多种复合镀层组成，该类材质可保证打底层提高基材500和第一过渡层之间的结合力的效果。
[0023]本技术的一些实施例中，第二过渡层为氮化钛、氮化铝和氮化锆的混合层，通过设置该类混合材料的第二过渡层，可以调整第二过渡层中的化合物成分比例从而调整膜层的吸光系数和折射率，进而影响颜色层的成色。
[0024]优选地，颜色层的钛铝锆氮氧化合物层为氮氧化钛、氮氧化铝和氮氧化锆的混合层，该类混合材质构成的钛铝锆氧氮化合物可保证PVD薄膜的成色，同时可使薄膜表面具有光滑致密、无毒无害等特点。
[0025]本技术的一些实施例中，PVD薄膜的厚度为0.6～6um。
[0026]优选地，PVD薄膜采用真空表面处理的方式制成，其处理方式具体是在基材500进行表面清理后，通过现有技术中常用的真空电镀方式依次沉积打底层、第一过渡层、第二过渡层以及颜色层，真空电镀表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PVD薄膜，其特征在于，所述PVD薄膜从下往上依次包括：打底层；第一过渡层，所述第一过渡层为钛铝锆合金层；第二过渡层，所述第二过渡层为钛铝锆氮化合物层，所述钛铝锆氮化合物层采用梯度复合材料制成；颜色层，所述颜色层为钛铝锆氮氧化合物层。2.根据权利要求1所述的一种PVD薄膜，其特征在于，所述打底层为单一金属底层或多种金属复合层。3.根据权利要求2所述的一种PVD薄膜，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯海权，郑恩秀，郜晋锋，徐志文，
申请(专利权)人：东莞领益精密制造科技有限公司，
类型：新型
国别省市：