【技术实现步骤摘要】
一种蒸馏塔尾气处理系统
[0001]本技术属于尾气处理领域，更具体而言，涉及一种蒸馏塔尾气处理系统。
技术介绍
[0002]高纯锑等高纯金属作为半导体，半绝缘材料，红外材料的主要原料。广泛应用于集成电路，光伏太阳能发电技术，红外探测等领域。近年来随着高新技术产业的发展，应用领域日益广泛。
[0003]其中高纯材料的生产，提纯工序是必不可少的，常见工艺是对低纯度金属经过氯气氯化之后，再提纯它们相对应的氯化物，以高纯锑为例，其提纯的氯化物为三氯化锑；但是氯化物具有沸点高、腐蚀性强、与空气易水解等特征，在精馏提纯的设备，如蒸馏塔，其材质选型比较少，大多是使用石英材质、高硼硅玻璃材质。
[0004]在低纯度金属经过氯气氯化之后，对应的氯化物中存在大量的游离氯。游离氯及水汽进入到下边工序对设备会造成损害，同时影响产品质量，所以需要对游离氯做进一步处理；在现有技术中，大多在蒸馏塔作中加入相应的金属吸收游离氯，如技术公告号CN205294870U公开的一种用于高纯砷生产的脱氯装置所示，其是通过在蒸馏塔内加入砷填料层来吸收氯...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种蒸馏塔尾气处理系统，包括蒸馏塔(1)，其特征在于，还包括一尾气吸收装置(2)，所述蒸馏塔(1)的顶部设有尾气输送管(10)，所述尾气输送管(10)与所述尾气吸收装置(2)连接，所述尾气吸收装置(2)内放置有用于吸收尾气的金属。2.根据权利要求1所述的蒸馏塔尾气处理系统，其特征在于，所述尾气吸收装置(2)为搪瓷釜；所述搪瓷釜内设有一由四氟材料制成的承托架(21)，金属放置在承托架(21)上；所述尾气输送管(10)与所述尾气吸收装置(2)的底部连接。3.根据权利要求2所述的蒸馏塔尾气处理系统，其特征在于，所述搪瓷釜内还设有一与所述尾气输送管(10)连接的尾气输入管(22)，所述尾气输入管(22)位于所述承托架(21)的下方且其上设有多个输出孔。4.根据权利要求2所述的蒸馏塔尾气处理系统，其特征在于，还包括一氮气输入管(23)，所述氮气输入管(23)与所述搪瓷釜导通，所述氮气输入管(23)与外设供气系统连接。5.根据权利要求4所述的蒸馏塔尾气处理系统，其特征在于，所述氮气输入管(23)延伸至所述搪瓷釜的中部。6.根据权利要求1所述的蒸馏塔尾气处理系统，其特征在于，所述尾气输送管(10)上设有一缓冲吸收模块(3)，所述缓冲吸收模块(3)包括缓冲罐(31)、吸收罐(32)，所述缓冲罐(31)的输出端与所述吸收罐(32)的输入端连接；所述吸收罐(32)内设有水汽吸收液(A)，所述吸收罐(32)的输入端还连接有一输入管道(B)，所述输...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾小东，陈昭龙，王传盟，徐成，蒋剑勇，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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