半导体工艺设备及其火焰检测装置制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种半导体工艺设备及其火焰检测装置。该火焰检测装置用于检测半导体工艺设备的气柜中是否存在由于气体泄漏而产生的火焰，包括：检测组件、灭火组件及控制单元；检测组件与气柜相连，用于分别检测多个火焰特征，以判断气柜内部是否产生火焰；灭火组件与气柜相连，用于当气柜内部产生火焰时对气柜内部进行灭火；控制单元与检测组件及灭火组件连接，用于当检测组件检测到至少两个火焰特征时，控制灭火组件对气柜内部进行灭火。本申请实施例实现了避免现有技术中仅采用一个火焰传感器造成误报警，灭火组件能第一时间对火焰进行处理，从而提高安全性及降低由于断电造成晶圆报废的经济损失。造成晶圆报废的经济损失。造成晶圆报废的经济损失。

【技术实现步骤摘要】
半导体工艺设备及其火焰检测装置


[0001]本申请涉及半导体加工
，具体而言，本申请涉及一种半导体工艺设备及其火焰检测装置。

技术介绍

[0002]目前，化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)工艺过程中，当工艺腔室就绪时(真空度、基座温度、腔室壁温度、管路温度等)，多种工艺气体进入工艺腔室并附着在晶圆上，在晶圆表面的发生反应生成所需要的薄膜，同时需要真空泵不断抽走副产物及剩余反应物。气柜(GasBox)是CVD工艺过程中重要组成部分，参与反应的工艺气体包括硅烷和氢气等易燃气体，以及氩气和氮气等惰性气体，都是通过气柜通入到工艺腔室内。参与反应的工艺气体中硅烷和氢气是易燃气体，气柜中存在很多管路接头容易造成泄露，当氢气在气柜中浓度大于4％时，随时都可能发生火灾。
[0003]在现有的气柜安全设计中,使用一个火焰探测器来检测易燃气体泄漏产生燃烧时的火焰，具体的工作原理是通过检测火焰辐射出的特殊波长的紫外线，红外线及可见光等来探测火焰。但是由于火焰检测器失效或受到环境光线影响，容易发生误报警而导致设备整机断电及晶圆报废。此外，对于气柜内已经在燃烧的火焰，没有进行及时的灭火处理，需要等相关人到达现场进行人工灭火处理。

技术实现思路

[0004]本申请针对现有方式的缺点，提出一种半导体工艺设备及其火焰检测装置，用以解决现有技术存在误报警及处理不及时造成的安全性较差的技术问题。
[0005]第一个方面，本申请实施例提供了一种半导体工艺设备中的火焰检测装置，用于检测半导体工艺设备的气柜中是否存在由于气体泄漏而产生的火焰，包括：检测组件、灭火组件及控制单元；所述检测组件与所述气柜相连，用于分别检测多个火焰特征，以判断所述气柜内部是否产生火焰；所述灭火组件与所述气柜相连，用于当所述气柜内部产生火焰时对所述气柜内部进行灭火；所述控制单元分别与所述检测组件及所述灭火组件连接，用于当所述检测组件检测到至少两个所述火焰特征时，控制所述灭火组件对所述气柜内部进行灭火。
[0006]于本申请的一实施例中，所述检测组件与所述半导体工艺设备的控制器连接，并且包括有多个传感器，所述检测组件用于当任意一个传感器检测到火焰特征时，向所述控制器发出第一报警信号，以使所述控制器能控制所述半导体工艺设备停止工艺。
[0007]于本申请的一实施例中，所述火焰检测装置还包括有延时断路器，所述控制单元通过所述延时断路器与所述半导体工艺设备的供电电路连接，用于当任意两个所述传感器均检测到火焰特征时发出第二报警信号，并且控制所述延时断路器开始计时，所述延时断路器用于在预设时间后断开所述供电电路，以停止向所述半导体工艺设备供电。
[0008]于本申请的一实施例中，所述控制单元包括有供电回路、控制回路及开关回路，所
述供电回路与所述供电电路连接，用于为所述检测组件供电；所述控制回路与所述供电回路连接，并且与所述延时断路器及所述灭火组件连接；所述开关回路与所述控制回路及供电电路连接，并且与所述延时断路器连接。
[0009]于本申请的一实施例中，所述供电回路包括有电源转换器及多个第一继电器，所述电源转换器与所述供电电路连接，并且通过多个所述第一继电器分别与多个传感器一一对应连接。
[0010]于本申请的一实施例中，所述控制回路包括有第二继电器，所述第二继电器分别与所述供电回路及所述灭火组件连接，并且用于发出第二报警信号。
[0011]于本申请的一实施例中，所述开关回路包括有接触器，所述接触器与所述控制回路及所述供电电路连接，用于在所述控制回路的控制下断开所述供电电路。
[0012]于本申请的一实施例中，多个所述传感器的数量为三个，并且分别为火焰传感器、烟雾传感器及温度传感器。
[0013]于本申请的一实施例中，所述灭火组件包括有干冰灭火器及电磁阀，所述干冰灭火器通过所述电磁阀与所述气柜连通设置，所述电磁阀与所述控制单元电连接，用于在所述控制单元的控制下选择性开启或关闭所述干冰灭火器。
[0014]第二个方面，本申请实施例提供了一种半导工艺设备，包括工艺腔室、气柜及如第一个方面提供的火焰检测装置，其中，所述气柜用于向所述工艺腔室提供工艺气体，所述火焰检测装置与所述气柜连接，并且与所述半导体工艺设备的控制器连接。
[0015]本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：
[0016]本申请实施例通过将检测组件与气柜连接，检测组件能分别检测多个火焰特征，以及采用灭火组件对气柜内的进行灭火，并且通过控制单元与检测组件及灭火组件连接。在实际应用时，当检测组件检测到至少两个火焰特征时，控制灭火组件对气柜内进行灭火，可以避免现有技术中仅采用一个火焰传感器造成误报警，从而可以大幅提高报警准确率；当气柜内产生火焰时，控制单元可以控制灭火组件第一时间对火焰进行处理，从而进一步提高本申请实施例的安全性，并且还能大幅降低由于断电造成晶圆报废的经济损失。
[0017]本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0018]本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0019]图1为本申请实施例提供的一种火焰检测装置的结构示意图；
[0020]图2为本申请实施例提供的一种火焰检测装置的电路原理示意图；
[0021]图3为本申请实施例提供的一种火焰检测装置的执行流程示意图。
具体实施方式
[0022]下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的
实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
[0023]本
技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
[0024]下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。
[0025]本申请实施例提供了一种半导体工艺设备中的火焰检测装置，用于检测半导体工艺设备的气柜中是否存在由于气体泄漏而产生的火焰，该火焰检测装置的结构示意图如图1所示，包括：检测组件1、灭火组件2及控制单元3；检测组件1与气柜101相连，用于分别检测多个火焰特征，以判断气柜101内部是否产生火焰；灭火组件2与气柜101相连，用于当气柜101内部产生火焰时对气柜101内部进行灭火；控制单元3分别与检测组件1及灭火组件2连接，用于当检测组件检测到本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺设备中的火焰检测装置，用于检测半导体工艺设备的气柜中是否存在由于气体泄漏而产生的火焰，其特征在于，包括：检测组件、灭火组件及控制单元；所述检测组件与所述气柜相连，用于分别检测多个火焰特征，以判断所述气柜内部是否产生火焰；所述灭火组件与所述气柜相连，用于当所述气柜内部产生火焰时对所述气柜内部进行灭火；所述控制单元分别与所述检测组件及所述灭火组件连接，用于当所述检测组件检测到至少两个所述火焰特征时，控制所述灭火组件对所述气柜内部进行灭火。2.如权利要求1所述的火焰检测装置，其特征在于，所述检测组件与所述半导体工艺设备的控制器连接，并且包括有多个传感器，所述检测组件用于当任意一个传感器检测到火焰特征时，向所述控制器发出第一报警信号，以使所述控制器能控制所述半导体工艺设备停止工艺。3.如权利要求2所述的火焰检测装置，其特征在于，所述火焰检测装置还包括有延时断路器，所述控制单元通过所述延时断路器与所述半导体工艺设备的供电电路连接，用于当任意两个所述传感器均检测到火焰特征时发出第二报警信号，并且控制所述延时断路器开始计时，所述延时断路器用于在预设时间后断开所述供电电路，以停止向所述半导体工艺设备供电。4.如权利要求3所述的火焰检测装置，其特征在于，所述控制单元包括有供电回路、控制回路及开关回路，所述供电回路与所述供电电路连接，用于为所述检测组件供电；所述控制回路与所述供电回路连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋鹏飞，刘畅，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：