一种主被动并联式隔振平台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种主被动并联式隔振平台，包括顶板、底座和支撑架，其特征在于，所述支撑架固接在底座顶面两侧，所述顶板下方连接支撑杆A，所述支撑杆A插入支撑架内部，所述支撑杆A下端连接有支撑板，所述支撑板通过金属弹簧A与支撑架的顶面下方连接，所述支撑板的底面连接有金属弹簧B，所述金属弹簧B下部连接有橡胶垫板，所述顶板底面中间部位与支撑杆B连接，所述支撑杆B下部连接有空气弹簧，所述空气弹簧下部连接有附加气室，所述底座顶面连接有数字控制器，所述顶板底面连接有位置传感器。本实用新型专利技术结构简单，隔振带宽，隔振效果精准，系统固有频率能现实小于0.5Hz。系统固有频率能现实小于0.5Hz。系统固有频率能现实小于0.5Hz。

【技术实现步骤摘要】
一种主被动并联式隔振平台


[0001]本技术涉及隔振装置
，具体是一种主被动并联式隔振平台。

技术介绍

[0002]目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
[0003]由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振，气动主动隔振自适应性好，通过作动器输出反向力抵消低频振动，具有优越的低频或超低频隔振性能。精密仪器所处环境不是单一的高频震动或低频振动，是多种频率的复杂的震动环境，而目前隔着平台多少针对单一高频或低频振动，对于复杂振动环境的隔振能力较差。

技术实现思路

[0004]技术的目的在于提供一种主被动并联式隔振平台，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0005]本技术的技术方案是这样实现的：
[0006]一种主被动并联式隔振平台，包括顶板、底座和支撑架，所述支撑架固接在底座顶面两侧，所述顶板下方连接支撑杆A，所述支撑杆A插入支撑架内部，所述支撑杆A下端连接有支撑板，所述支撑板通过金属弹簧A与支撑架的顶面下方连接，所述支撑板的底面连接有金属弹簧B，所述金属弹簧B下部连接有橡胶垫板，所述顶板底面中间部位与支撑杆B连接，所述支撑杆B下部连接有空气弹簧，所述空气弹簧下部连接有附加气室，所述底座顶面连接有数字控制器，所述顶板底面连接有位置传感器。
[0007]进一步地，所述顶板、底座、支撑板均由不锈钢材质制成，均呈矩形结构。
[0008]进一步地，所述支撑架由不锈钢板制成空心结构的长方体。
[0009]进一步地，所述支撑杆A为四个，分别布置在顶板下方的四个角，左侧的两个支撑杆A插入左侧的支撑架内，右侧的支撑杆A插入右侧的支撑架内。
[0010]进一步地，所述金属弹簧A为四个，分别连接在支撑板的四个角。
[0011]进一步地，所述数字控制器分别于位置传感器和附加气室通过电缆连接。
[0012]本技术的有益效果为：
[0013]本技术采用上下双层弹簧、左右两套系统的设置，并与主动式空气弹簧组成并联系统结构，实现了垂直方向上的精准隔振效果，利用金属弹簧、橡胶垫板实现高频隔
振，减少了空气弹簧在高频振动时的能量消耗，同时获得较宽的隔振带；本技术结构简单，隔振带宽，隔振效果精准，系统固有频率能现实小于0.5Hz。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图。
[0015]图中1
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顶板，2
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底座，3
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支撑架，4
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支撑杆A，5
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支撑板，6
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金属弹簧A，7
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金属弹簧B，8
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橡胶垫板，9
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支撑杆B，10
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空气弹簧，11
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附加气室，12
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位置传感器A，13
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数字控制器。
具体实施方式
[0016]下面将结合实施例对本技术技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]如图1所示，一种主被动并联式隔振平台，包括顶板1、底座2和支撑架3，所述支撑架3固接在底座2顶面两侧，所述顶板1下方连接支撑杆A4，所述支撑杆A4插入支撑架3内部，所述支撑杆A4下端连接有支撑板5，所述支撑板5通过金属弹簧A6与支撑架3的顶面下方连接，所述支撑板5的底面连接有金属弹簧B7，所述金属弹簧B7下部连接有橡胶垫板8，所述顶板1底面中间部位与支撑杆B9连接，所述支撑杆B9下部连接有空气弹簧10，所述空气弹簧10下部连接有附加气室11，所述底座2顶面连接有数字控制器13，所述顶板1底面连接有位置传感器12。
[0018]所述顶板1、底座2、支撑板5均由不锈钢材质制成，均呈矩形结构。
[0019]所述支撑架3由不锈钢板制成空心结构的长方体。
[0020]所述支撑杆A4为四个，分别布置在顶板1下方的四个角，左侧的两个支撑杆A4插入左侧的支撑架3内，右侧的支撑杆A4插入右侧的支撑架3内。
[0021]所述金属弹簧A6为四个，分别连接在支撑板5的四个角。
[0022]所述数字控制器13分别于位置传感器12和附加气室11通过电缆连接。
[0023]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种主被动并联式隔振平台，包括顶板、底座和支撑架，其特征在于，所述支撑架固接在底座顶面两侧，所述顶板下方连接支撑杆A，所述支撑杆A插入支撑架内部，所述支撑杆A下端连接有支撑板，所述支撑板通过金属弹簧A与支撑架的顶面下方连接，所述支撑板的底面连接有金属弹簧B，所述金属弹簧B下部连接有橡胶垫板，所述顶板底面中间部位与支撑杆B连接，所述支撑杆B下部连接有空气弹簧，所述空气弹簧下部连接有附加气室，所述底座顶面连接有数字控制器，所述顶板底面连接有位置传感器。2.根据权利要求1所述的一种主被动并联式隔振平台，其特征在于，所述顶板、底座、支撑板均由不锈钢...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙乐，于超，尹波，
申请(专利权)人：大连地拓电子工程技术有限公司，
类型：新型
国别省市：