矢量误差幅度测量装置和测量方法、终端及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶原级半导体器件调制参数测量技术领域，尤其涉及一种矢量误差幅度测量装置和测量方法、终端及存储介质，所述装置其设有上下变频单元和信号分析仪，基于信号分析仪分析上下变频后用于加载到被测目标的信号恶化程度即频响数据，以频响数据修正矢量信号上变频以及下变频中信号恶化程度，大大减小了矢量源带来的EVM恶化的影响，提高了EVM的测量精度。在一些应用场景中，微波源包括有微波信号源和功分器，实现将信号按需要分配功率后，分别送入到上变频单元和下变频单元中，减少了系统复杂程度，采用的微波信号源数量更少，可实现太赫兹频段功放测试需求，解决现有测量设备和仪器无法测试高频待测件的难题，信号分析仪获得的分析结果更精准。获得的分析结果更精准。获得的分析结果更精准。

【技术实现步骤摘要】
矢量误差幅度测量装置和测量方法、终端及存储介质


[0001]本专利技术涉及晶原级半导体器件调制参数测量
，尤其涉及一种矢量误差幅度测量装置和测量方法、终端及存储介质。

技术介绍

[0002]国际上对于低频段(如50GHz以下)功率放大器矢量误差幅度(EVM，Error Vector Magnitude)的测量，通常还是采用矢量信号发生器和矢量信号分析仪(VSA，Vector Signal Analyser)直接测试的方法。矢量信号分析仪在发达国家的研究起步较早，已经有一些较为成熟的产品。目前常用的矢量信号分析仪生产商已有产品的基础上持续投入研发。虽然近些年85GHz的矢量信号分析仪相继出现，现阶段商用系统对功率放大器邻道功率抑制比和矢量误差幅度的测试只到67GHz，这主要受制于矢量信号源的最高输出频率只有67GHz。
[0003]EVM是在一个给定时刻内理想无误差信号与实际发射信号的向量差。因为在每个符号变化时这个值也在不断变化，于是EVM被定义为误差向量在一段时间内的均方根值。EVM值越大，发射信号调制质量越差；EVM越小，发射信号调制质量越好。需要注意的是，该指标定义的并不是射频信号的调制精度，而是将射频信号映射到I/Q平面后抽样得到的离散I/Q数值的调制精度。因为在采集离散IQ数据前，先经过了匹配滤波器，抑制了带外噪声。因此，影响EVM最大的，是发射通道的非线性产物，尤其是信号的带内失真。
[0004]EVM被定义为平均误差矢量信号功率与平均参考信号功率之比的均方根值：
[0005][0006]式中，S
n
为抽样得到的离散I/Q数值，N为样本总数量，EVM
RMS
为平均误差矢量信号功率与平均参考信号功率之比的均方根值。
[0007]在一些毫米波和THz应用领域，这个频率范围是不够的。通行的频率范围扩展办法是采用混频上变频装置，将输出频率上变频至期望的毫米波频段。
[0008]如图1所示，图1示出了一种毫米波矢量源结构，在这样的方案应用实施过程中，会发现上变频器以及驱放使微波矢量源的宽带信号质量恶化。常规的矢量信号源EVM在0.5％以下，为了测试功率放大器引入的EVM，矢量信号源的EVM必须足够小。如果矢量信号源的EVM受到电路的影响很大的话，将无法评价系统测得的EVM是功率放大器自身引入的还是矢量信号源外接电路引入的。因此，在测试前，需要对矢量信号源的EVM进行修正。但为了测量被测放大器的调制质量，首先必须改善毫米波信号源的信号质量，需要对矢量源的基带信号进行预失真修正，也就是在信号源输出宽带信号时，自动对带内每个频点的幅度和相位进行补偿修正，从而使驱放输出端的调制质量达到最优。
[0009]基于此，需要开发设计出一种矢量误差幅度测量法检修，以解决上述微波矢量源信号恶化的问题。

技术实现思路

[0010]本专利技术实施方式提供了一种矢量误差幅度测量装置和测量方法、终端及存储介质，用于解决现有技术中矢量信号源失真影响矢量误差幅度测量结果的问题。
[0011]第一方面，本专利技术实施方式提供了一种矢量误差幅度测量装置，包括：
[0012]微波源、矢量源、上变频单元以及信号分析仪；
[0013]所述微波源以及所述矢量源分别与所述上变频单元的输入端信号连接；
[0014]所述信号分析仪用于通过输入端接收第二矢量信号，以及，用于输出指示所述第二矢量信号的频响数据；
[0015]所述上变频单元的输出端用于输出第一矢量信号，其中，所述第二矢量信号基于所述第一矢量信号生成，所述矢量源根据频响数据表输出信号，所述第一矢量信号基于所述矢量源的输出信号和所述微波源的输出信号的倍频信号混频生成，所述频响数据表根据多个所述频响数据生成。
[0016]在一种可能实现的方式中，所述矢量误差幅度测量装置还包括：
[0017]下变频单元，所述下变频单元的输出端与所述信号分析仪的输入端信号连接；
[0018]所述下变频单元的输入端用于输入第三矢量信号，所述下变频单元的输出端输出所述第二矢量信号，所述第二矢量信号基于所述第三矢量信号下变频生成。
[0019]在一种可能实现的方式中，所述下变频单元包括：
[0020]衰减器以及下变频器，所述下变频器的输入端与所述衰减器的输出端信号连接，所述下变频器的输出端与所述信号分析仪的输入端信号连接；
[0021]所述衰减器输入端用于输入所述第三矢量信号，所述下变频器根据所述衰减器的输出进行下变频生成所述第二矢量信号。
[0022]在一种可能实现的方式中，所述微波源包括：微波信号源以及功分器，所述微波信号源与所述功分器输入端信号连接，所述功分器的输出端分别与所述上变频单元以及所述下变频单元信号连接；
[0023]所述功分器用于将所述微波信号源生成的本振信号按预设值分配功率后，传送到与所述上变频单元以及所述下变频单元，所述上变频单元基于所述本振信号以及所述矢量源的输出信号输出所述第一矢量信号，所述下变频单元基于所述本振信号以及所述第三矢量信号输出所述第二矢量信号。
[0024]在一种可能实现的方式中，所述上变频单元包括：
[0025]倍频器、混频器、隔离器以及驱动放大器，所述倍频器输入端与所述微波源的输出端信号连接，所述倍频器的输出端以及所述矢量信号源的输出端分别与所述混频器的输入端信号连接，所述混频器的输出端与所述隔离器的输入端信号连接，所述隔离器的输出端与所述驱动放大器的输入端信号连接；
[0026]所述倍频器产生所述微波源的输出端信号的倍频信号，所述混频器基于所述矢量源的输出信号以及所述倍频信号生成混频信号，所述驱动放大器基于对所述混频信号放大生成所述第二矢量信号。
[0027]第二方面，本专利技术实施方式提供了一种矢量误差幅度测量方法，包括：
[0028]基于多个测试点，对所述矢量误差幅度测量装置进行多个测试点的校准测试，获取多个频响数据，其中，所述多个测试点包括不同的频率点以及不同的功率点，校准测试中
所述矢量误差幅度测量装置不接入被测目标；
[0029]根据所述的多个频响数据，生成校准补偿数据，输入至所述矢量源，对所述矢量误差幅度测量装置校准；
[0030]将所述被测目标接入到所述矢量误差幅度测量装置，基于多个测试点，对被测目标进行测试，获得矢量误差幅度数据，其中，多个测试点包括不同的频率点以及不同的功率点。
[0031]在一种可能实现的方式中，所述基于多个测试点，对所述矢量误差幅度测量装置进行测试，获取多个频响数据，包括：
[0032]对于每个频率点以及每个功率点，执行如下步骤：
[0033]根据频率点以及功率点，生成第一矢量信号；
[0034]根据第二矢量信号，获取第一矢量误差幅度；
[0035]根据所述第一矢量误差幅度，进行预处理，生成校准文件；
[0036]将所述校准文件加入到校准文件数据库。
[0037]在一种可能实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种矢量误差幅度测量装置，其特征在于，包括：微波源、矢量源、上变频单元以及信号分析仪；所述微波源以及所述矢量源分别与所述上变频单元的输入端信号连接；所述信号分析仪用于通过输入端接收第二矢量信号，以及，用于输出指示所述第二矢量信号的频响数据；所述上变频单元的输出端用于输出第一矢量信号，其中，所述第二矢量信号基于所述第一矢量信号生成，所述矢量源根据频响数据表输出信号，所述第一矢量信号基于所述矢量源的输出信号和所述微波源的输出信号的倍频信号混频生成，所述频响数据表根据多个所述频响数据生成。2.根据权利要求1所述的矢量误差幅度测量装置，其特征在于，所述矢量误差幅度测量装置还包括：下变频单元，所述下变频单元的输出端与所述信号分析仪的输入端信号连接；所述下变频单元的输入端用于输入第三矢量信号，所述下变频单元的输出端输出所述第二矢量信号，所述第二矢量信号基于所述第三矢量信号下变频生成。3.根据权利要求2所述的矢量误差幅度测量装置，其特征在于，所述下变频单元包括：衰减器以及下变频器，所述下变频器的输入端与所述衰减器的输出端信号连接，所述下变频器的输出端与所述信号分析仪的输入端信号连接；所述衰减器输入端用于输入所述第三矢量信号，所述下变频器根据所述衰减器的输出进行下变频生成所述第二矢量信号。4.根据权利要求3所述的矢量误差幅度测量装置，其特征在于，所述微波源包括：微波信号源以及功分器，所述微波信号源与所述功分器输入端信号连接，所述功分器的输出端分别与所述上变频单元以及所述下变频单元信号连接；所述功分器用于将所述微波信号源生成的本振信号按预设值分配功率后，传送到与所述上变频单元以及所述下变频单元，所述上变频单元基于所述本振信号以及所述矢量源的输出信号输出所述第一矢量信号，所述下变频单元基于所述本振信号以及所述第三矢量信号输出所述第二矢量信号。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的矢量误差幅度测量装置，其特征在于，所述上变频单元包括：倍频器、混频器、隔离器以及驱动放大器，所述倍频器输入端与所述微波源的输出端信号连接，所述倍频器的输出端以及所述矢量信号源的输出端分别与所述混频器的输入端信号连接，所述混频器的输出端与所述隔离器的输入端信号连接，所述隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：王一帮，吴爱华，梁法国，霍晔，栾鹏，刘晨，孙静，陈晓华，荆晓冬，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：