工件的输送装置及映射方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供工件的输送装置及映射方法，在进行判别具备沿第一方向排列的多个槽的收纳部中的工件的库存状态的映射时，能够一边使用反射型传感器一边正确地判别工件的库存状态。在作为收纳部的盒载置台的所有槽中各收纳一个作为工件的晶片(步骤101)，使反射型传感器与手部一起向该状态的盒载置台的位置移动(步骤102)。使传感器沿着与第一方向正交的第二方向(水平方向)移动，来反复执行使传感器沿着第一方向(垂直方向)移动并检测来自晶片的反射光的动作，从而获取检测分布数据(步骤105)。根据检测分布数据，决定实际工作时使用的映射位置(步骤106)。置(步骤106)。置(步骤106)。

【技术实现步骤摘要】
工件的输送装置及映射方法


[0001]本专利技术涉及使用输送用机器人等输送装置的工件的输送，特别是涉及提高了判别盒或盒载置台等收纳部中的工件的库存状态的映射精度的输送装置及映射方法。

技术介绍

[0002]在通过输送用机器人等输送装置输送半导体晶片或玻璃基板等板状的工件的情况下，输送对象的工件被收纳在盒或被称为盒载置台等的收纳部中，输送装置将设置在其前端的手部伸入输送源的收纳部内而取出工件，在将工件载置在手部上的状态下输送工件，将工件收纳在输送目的地的收纳部中。专利文献1公开了输送半导体晶片等工件的输送机器人的一个例子。一般，由于收纳部能够收纳多个工件，所以在实际进行输送之前，需要调查在收纳部的哪个位置存在工件的库存状态，将其称为映射。在收纳部中多个槽以在垂直方向上重叠的方式设置，通过执行映射，能够知道是第几个和在第几个槽中存在工件，能够根据其结果组装最佳的输送顺序。在输送顺序中，从输送源的收纳部的第几个槽中取出工件，指定在输送目的地的收纳部中的成为当前空槽的第几个槽中收纳该工件。
[0003]映射通过使用传感器非接触地检测收纳部内的工件并求出其位置来进行。在映射中使用的传感器中，有通过工件遮挡光路来检测工件的透射型传感器、和对工件照射检测用的光并检测由工件的边缘(或端面)反射的光，根据其反射量或反射位置来检测工件的反射型传感器。工件例如是半导体晶片，其厚度例如为1mm以下。另外在收纳部中各放置一个工件的槽的相互间隔为5mm～10mm左右。由于这些原因，在使用透射型或反射型的任一种传感器的情况下，检测用的光优选为缩小光束直径而指向性尖锐的激光。在使用透射型的传感器的情况下，具有无论工件的材质如何都能够得到稳定的检测结果的优点，但需要使传感器接近收纳部或工件，有可能与收纳部或工件干涉或接触。另外，将传感器安装在手部，手部等硬件结构需要是能够透射检测工件的形状。在专利文献2、3中记载了使用透射型传感器进行映射的例子。
[0004]在使用反射型传感器的情况下，由于能够从远离工件的位置获知工件的库存状态，因此能够防止传感器与工件的干涉，对硬件结构也没有限制。例如，在输送装置是输送用机器人的情况下，如果能够在机器人的臂或手部配置传感器，则不需要将传感器的周围设为映射用的特别的形状，因此使用反射型传感器的映射在导入、运用方面优点大。但是，在使用反射型传感器的映射中，根据工件的材质、尺寸、表面状态，检测精度有可能劣化。由于可以忽略工件对光的吸收，并且如果工件表面为粗糙面则光会发生漫反射，因此能够可靠地进行工件的检测。与此相对，例如在工件为硅晶片且其表面被镜面加工的情况下，根据将来自传感器的检测用光照射到何处这样的映射位置，检测用光有时会发生全反射，在这种情况下，无法适当地检测工件。更具体地说，映射位置是指，在使传感器向槽排列的方向(设为第一方向)移动来进行映射时，在收纳部的正面沿着与第一方向正交的方向(设为第二方向)的、来自工件中的传感器的光所照射的位置。可以通过在第二方向上实际移动传感器来改变映射位置，或者可以通过改变来自传感器的光的照射方向而不改变传感器在第二
方向上的位置来改变映射位置。在使用反射型传感器进行映射时，为了能够稳定地进行检测，需要一边参照工件位置已知时的检测结果一边通过人手进行映射位置的调整。
[0005]在将工件收纳于盒载置台的情况下，需要在每个槽中收纳一个工件。但是，由于某种原因，有时在1个槽中重叠放置2片以上的工件，或者以跨越2个槽的方式放置工件。在这样以错误的形态将工件收纳在盒载置台内的状态即处于不良状态时，若要从盒载置台取出工件，则工件有可能破损。因此，在映射中希望能够识别这些不良状态并发出警报，由此能够防止破损事故等。这样的不良状态能够根据进行映射时检测出的工件的厚度或工件在槽内的位置来判别。在基于映射的库存状态的判别中存在错误的情况下，产生机器人在没有存在工件的槽中获取工件并因错误而停止、在已经存在工件的槽中重复配置工件而使工件破损等不良情况。由于工件的输送是持续进行的，因此要求能够长时间正确地进行映射。[现有技术文献][专利文献][0006][专利文献1]日本专利特开2019
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84651号公报[专利文献2]日本专利特开2004
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327501号公报[专利文献3]日本专利特开2000
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36528号公报

技术实现思路

[0007]使用反射型传感器的映射具有能够不接近工件或收纳部地进行映射的优点，但根据工件的材质或表面状态，有时无法正确地判别工件的库存状态。
[0008]本专利技术的目的在于提供一种作为输送工件的输送装置且能够在使用反射型传感器的同时正确地判别工件的库存状态的输送装置、以及能够这样正确地进行映射的映射方法。
[0009]在以具备沿第一方向排列的多个槽且能够在每个槽中收纳一个工件的收纳部为对象进行工件的输送时，在实际进行工件的输送之前进行映射而判别收纳部中的工件的库存状态。在映射中，使传感器沿着第1方向移动，判别每个槽中是否存在工件。在为了防止在执行映射时传感器与工件或收纳部发生干涉而使用反射型传感器的情况下，根据映射位置，工件的检测有时会因工件的形状或材质而变得不稳定，因此需要事先求出最佳的映射位置。本专利技术将作为进行工件输送前的事前处理的映射位置的决定自动化。在决定了一次映射位置时，只要工件的形状或材质不变，就能够使用相同的映射位置。
[0010]因此，本专利技术的输送装置是以具备排列在第一方向上的多个槽且能够在每个槽中收纳一个工件的收纳部为对象进行工件的输送的输送装置，具有：在输送工件时保持工件的手部；对工件照射光并检测反射光的反射型的传感器；使手部及传感器相对于收纳部移动的移动机构；以及驱动和控制移动机构的控制单元，控制单元在使传感器向所有槽中各收纳有一个工件的状态的收纳部的位置移动后，在收纳部的正面使来自传感器的光的照射位置沿着与第一方向正交的第二方向移动，来反复执行使传感器沿着第一方向移动并检测来自工件的反射光的动作，从而获取检测分布数据，并基于检测分布数据来决定映射位置。映射位置是为了进行判别收纳部中的工件的库存状态的映射而使传感器沿着第一方向移动时的、工件中的照射位置的沿着第二方向的位置。
[0011]使传感器在收纳部的正面沿着与第一方向正交的第二方向移动来反复执行使传
感器相对于在所有槽中各收纳有一个工件的状态的收纳部沿着第一方向移动并检测来自工件的反射光的动作，可以说是相对于该收纳部在不同的映射位置反复进行映射。在这种情况下，从传感器获得表示每个映射位置和每个槽的工件的检测强度的数据。这些数据能够表示为分别以映射位置和槽的位置为坐标的检测分布数据。由于已知在所有的槽中各收纳有一个工件，因此基于此，能够从检测分布数据中提取出在每个槽中以适当的检测强度检测出工件的映射位置。在本专利技术的输送装置中，通过这样根据检测分布数据决定映射位置，在实际工作时实际输送工件时的映射中，能够正确地判别工件的库存状态。
[0012]在本专利技术的输送装置中，优选为，控制单元在获取检测分布数据本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种输送装置，该输送装置以具有沿第一方向排列的多个槽且能够在每个所述槽中收纳一个工件的收纳部为对象进行所述工件的输送，其特征在于，具有：在输送所述工件时保持所述工件的手部；对所述工件照射光来检测反射光的反射型传感器；使所述手部及所述传感器相对于所述收纳部移动的移动机构；及驱动和控制所述移动机构的控制单元，所述控制单元使所述传感器向在所有的所述槽中各收纳有一个所述工件的状态的所述收纳部的位置移动之后，在所述收纳部的正面使所述工件中的来自所述传感器的所述光的照射位置沿与所述第一方向正交的第二方向移动，来反复执行使所述传感器沿所述第一方向移动并检测来自所述工件的所述反射光的动作，从而获取检测分布数据，根据所述检测分布数据决定映射位置，所述映射位置是为了进行判别所述收纳部中的所述工件的库存状态的映射而使所述传感器沿着所述第一方向移动时的、所述照射位置的沿着所述第二方向的位置。2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述控制单元在获取所述检测分布数据之前，使所述传感器在所述收纳部的正面沿着所述第一方向移动，决定获取所述检测分布数据时和进行所述映射时的沿着所述第一方向的所述传感器的移动范围。3.根据权利要求1至3中任一项所述的输送装置，其特征在于，所述传感器安装于所述手部。4.根据权利要求1至3中任一项所述的输送装置，其特征在于，所述工件为板状物且水平地收纳于所述槽，所述第一方向为垂直方向。5.根据权利要求1至4中任一项所述的输送装置，其特征在于，所述控制单元在控制所述移动机构来进行所述工件的输送时，执行使用所决定的所述映射位置进行对于所述收纳部的映射的控制。6.根据权利要求5所述的输送装置，其特征在于，所述控制单元根据所述检测分布数据确定第一映射位置和第二映射位置，在进行所...

【专利技术属性】
技术研发人员：猪股彻也，王珏，
申请(专利权)人：日本电产三协株式会社，
类型：发明
国别省市：