检查系统、检查装置以及检查程序制造方法及图纸

检查系统具备：拍摄部，其拍摄被检体；存储部，其存储由拍摄部拍摄到的映现有被检体的图像；第1判定部，其判定图像中映现的被检体是否为不良品；以及第2判定部，其根据第1判定部的判定结果和与存储于存储部的被检体有关的第1信息，判定是否使存储部存储图像。判定是否使存储部存储图像。判定是否使存储部存储图像。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查系统、检查装置以及检查程序


[0001]本专利技术涉及检查系统、检查装置以及检查程序。

技术介绍

[0002]开发了如下的检查技术：对工件照射可见光或X射线而生成映现出工件的图像，自动识别映现于图像的工件是否为不良品。另外，例如在文献1
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2中，公开了高效地蓄积识别出的图像的技术。
[0003]为了生成用于识别不良品的识别器，考虑将映现出不良品的图像(以下，称为不良品判定图像)作为教师数据保存在存储装置中。在这样的情况下，认为仅通过不良品判定图像难以适当地进行识别器的参数的设定。另外，在识别器识别为良品而出货的产品实际上是不良品的情况下，由于在存储装置中没有保存映现良品的图像(以下，称为良品判定图像)，因此认为难以通过比较不良品判定图像和良品判定图像来验证误识别的原因。
[0004]因此，考虑不仅保存不良品判定图像，还保存良品判定图像。然而，在几乎所有产品都是良品的情况下，将不良品判定图像和良品判定图像存储在存储装置中的情况下，可以想到存储装置需要非常大的存储容量。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：国际公开第02/023480号
[0008]专利文献2：日本特开2012
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173017号公报

技术实现思路

[0009]专利技术所要解决的课题
[0010]在专利文献1中，良品判定图像以不可逆压缩形式保存在服务器中，不良品判定图像以可逆压缩形式保存在服务器中。根据这样的技术，由于良品判定图像的数据量被削减，因此能够保存大量的图像。然而，可以考虑到根据以不可逆压缩形式保存的良品判定图像中映现的工件的形状来再现拍摄时的形状的再现性会降低。因此，认为难以将以不可逆压缩形式保存的图像作为教师数据来准确地调整(tuning)识别器的参数。此外，可以设想到会大量地存储特征少的几乎相同的良品判定图像。在这样的情况下，认为所保存的图像的有用性降低。
[0011]另外，在专利文献2中，公开了根据缺陷的特征量来计算重要度，按照计算出的重要度将图像传送到数据库的技术。在这样的技术的情况下，认为能够削减网络通信负荷、保存数据量。另外，认为能够将有用的图像保留在数据库中。然而，在专利文献2所公开的技术的情况下，认为若重要度的判定处理变得复杂，则检查机的处理负荷增大。其结果，认为检查的周期时间变长。因此，为了减轻检查机中的判定处理的处理负荷，考虑在与检查机不同的服务器中执行判定处理。然而，在这样的情况下，认为在检查机从服务器得到判定处理的结果之前需要将图像持续保持在检查机的存储器上。另外，考虑到在检查机中在从服务器
得到判定处理的结果之前无法开始下一个工件的检查。因此，认为难以缩短检查的周期时间(cycle time)。
[0012]本专利技术的一个方面是鉴于这样的实际情况而完成的，其目的在于提供一种如下技术：在不仅保存不良品判定图像还保存良品判定图像的情况下，能够尽可能地保存有用的良品判定图像，并且能够尽可能地降低对存储容量和检查周期时间的影响。
[0013]用于解决课题的手段
[0014]即，本专利技术的一个方面的检查系统具备：拍摄部，其拍摄被检体；存储部，其存储由所述拍摄部拍摄到的映现有所述被检体的图像；第1判定部，其判定所述图像中映现的所述被检体是否为不良品；以及第2判定部，其基于所述第1判定部的判定结果和与存储于所述存储部的所述被检体有关的第1信息，判定是否使所述存储部存储所述图像。
[0015]在此，第1信息包括单独靠检查装置难以判断的过去的信息或者生产线的实时的信息。另外，第1信息包括过去被判定为良品的被检体的信息以及过去被判定为不良品的被检体的信息中的至少任一方的信息。另外，第1信息包括计测信息以及图像信息。
[0016]根据该结构，通过第2判定部判定并挑选要使存储部存储的图像。因此，在第1信息中包括用于判定图像作为良品判定图像是否有用的信息的情况下，能够使存储部存储有用的良品判定图像。同样地，在第1信息中包括用于判定图像作为不良品判定图像是否有用的信息的情况下，能够也挑选有用的不良品判定图像使存储部进行存储。另外，降低了对存储部的存储容量的影响。另外，在该结构是具有检查机和服务器的检查系统的情况下，若在服务器中执行第2判定部的判定处理的至少一部分处理，则检查机中的判定处理的负荷降低。因此，降低了对检查周期时间的影响。
[0017]在上述一个方面的检查系统中，也可以是，在由所述第1判定部判定为所述被检体是良品的情况下，所述第2判定部基于所述第1信息来判定是否使所述存储部存储所述图像。
[0018]根据该结构，通过第2判定部判定并挑选要使存储部存储的良品判定图像。因此，在第1信息中包括用于判定图像作为良品判定图像是否有用的信息的情况下，能够使存储部存储有用的良品判定图像。
[0019]在上述一个方面的检查系统中，也可以是，所述第2判定部具有判定算法，所述判定算法基于与存储于所述存储部的过去检查过的所述被检体有关的第1信息来判定是否使所述存储部存储所述图像。
[0020]根据该结构，在判定算法是判定图像是否有用的算法的情况下，能够使存储部存储有用的图像。
[0021]在上述一个方面的检查系统中，也可以是，所述第1信息包括判定基准，所述判定基准对与在所述第1判定部中过去被判定为不良品而存储于所述存储部的所述被检体有关的第2信息的分布和所述第1信息的分布进行划分，所述判定算法包括在与作为判定对象的所述被检体有关的第3信息和所述判定基准的差分为规定值以下的情况下，使所述存储部存储所述图像。
[0022]根据该结构，能够使存储部存储很多与不良品判定图像接近的良品判定图像。因此，在生成将存储在存储部中的不良品判定图像和良品判定图像用作教师数据的识别器、在第1判定部中通过识别器识别图像中映现的被检体是否是不良品时，由于在不良品和良
品之间的边界附近的图像的样本数多，因此提高了识别器的精度。因此，提高了用于判定不良品判定图像和良品判定图像的第1判定部的判定精度。另外，在识别器识别为良品而出厂的产品实际上是不良品的情况下，通过确认接近不良品判定图像的良品判定图像，能够容易地验证误识别的原因。可以说，这样的结构能够将使存储部存储有用的良品判定图像。
[0023]在上述一个方面的检查系统中，也可以是，所述判定算法包括判定与作为判定对象的所述被检体有关的第3信息是否为所述第1信息的分布的离群值，在所述第3信息为所述离群值的情况下，使所述存储部存储所述图像。
[0024]根据该结构，能够使存储部存储发生频度低的非标准的良品判定图像。因此，能够获得很多根据发生频度高的标准的良品判定图像难以获得的稀有信息。并且，通过使稀有信息在判定图像中映现的被检体是否为不良品中发挥作用，能够提高第1判定部的检查精度。
[0025]在上述一个方面的检查系统中，也可以是，所述判定算法包括在与作为判定对象的所述被检体有关的第3信息属于所述第1信息的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查系统，其具备：拍摄部，其拍摄被检体；存储部，其存储由所述拍摄部拍摄到的映现有所述被检体的图像；第1判定部，其判定所述图像中映现的所述被检体是否为不良品；以及第2判定部，其基于所述第1判定部的判定结果和与存储于所述存储部的所述被检体有关的第1信息，判定是否使所述存储部存储所述图像。2.根据权利要求1所述的检查系统，其中，在由所述第1判定部判定为所述被检体是良品的情况下，所述第2判定部基于所述第1信息来判定是否使所述存储部存储所述图像。3.根据权利要求1或2所述的检查系统，其中，所述第2判定部具有判定算法，所述判定算法基于与存储于所述存储部的过去检查过的所述被检体有关的第1信息来判定是否使所述存储部存储所述图像。4.根据权利要求3所述的检查系统，其中，所述第1信息包括判定基准，所述判定基准对与在所述第1判定部中过去被判定为不良品而存储于所述存储部的所述被检体有关的第2信息的分布和所述第1信息的分布进行划分，所述判定算法包括：在与作为判定对象的所述被检体有关的第3信息和所述判定基准的差分为规定值以下的情况下，使所述存储部存储所述图像。5.根据权利要求3所述的检查系统，其中，所述判定算法包括：判定与作为判定对象的所述被检体有关的第3信息是否为所述第1信息的分布的离群值，在所述第3信息为所述离群值的情况下，使所述存储部存储所述图像。6.根据权利要求3所述的检查系统，其中，所述判定算法包括：在与作为判定对象的所述被检体有关的第3信息属于所述第1信息的分布中样本数小于第2规定值的区域的情况下，使所述存储部存储所述图像。7.根据权利要求3所述的检查系统，其中，所述判定算法包括：判定所述图像与映...

【专利技术属性】
技术研发人员：大西贵子，中西功，
申请(专利权)人：欧姆龙株式会社，
类型：发明
国别省市：