一种工件的固定装置，涉及清洗设备制造技术领域。通过在底座表面设置加热板，使得其上放置的工件可以被持续加热，增大工件与低温吹扫介质的温差，提高低温吹扫介质的汽化效率。此外，通过在加热板上设置压力接收孔，且在压力接收孔对应的底座位置设置通孔，通过压力接收孔测量吹扫气体的压力，并配合吹扫设备的移动找出压力最大值，即完成了装置的调心，减少了光学对中或机械加工对中所带来的误差，且该装置能够在真空环境下使用，不会增加工件表面颗粒污染物的附着力。颗粒污染物的附着力。颗粒污染物的附着力。
【技术实现步骤摘要】
工件的固定装置
[0001]本技术涉及清洗设备制造
，具体而言，涉及一种工件的固定装置。
技术介绍
[0002]随着光电信息技术和精密机械制造领域的纵深发展，对制造精度的要求越来越高，从而需要精密控制加工器件表面污染物。半导体器件、光学镜片、金属器件等在生产加工过程中不可避免地会产生颗粒污染物，表面残留的颗粒污染物会对加工后产品的表面质量以及产品的光学性能、电子学性能产生一定的影响，严重时会造成产品报废，因此，去除表面残留颗粒污染物则是生产加工后的一道极其重要的工序。
[0003]除表面残留颗粒污染物时常常需要将工件固定，如固定工件，而现有的工件常用静电吸附和真空吸附的方式固定。静电吸附会加大工件表面颗粒污染物的附着力，不利于表面颗粒污染物的去除。真空吸附需要环境与吸盘有压差，环境压力大于吸盘处压力，使工件固定。当环境为真空时，环境与吸盘之间没有压差或者压差很小，导致真空吸附无法固定工件。
[0004]鉴于此，特提出本技术。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种工件的固定装置，其能够保证吹扫介质的汽化效率，同时减小装置调心的误差。
[0006]本技术的实施例是这样实现的：
[0007]硅片、金属等工件在处理过程中表面会存在一定的颗粒污染物，为去除这部分颗粒污染物，且达到工件颗粒污染物的控制标准(例如亚微米、纳米量级)常用超临界清洗法对工件进行处理。
[0008]超临界清洗是将吹扫介质通过超临界清洗装置喷射到工件表面，吹扫介质从装置到工件表面迅速完成物质状态的转变，形成固体、液体、气体混合物，固态吹扫介质到达工件表面由于温度骤然升高瞬间升华以致发生微区域爆炸，在发生爆炸的微小区域形成巨大冲击力，该冲击力将粘附于工件表面的颗粒污染物剥离表面并将其去除。
[0009]但超临界清洗装置的工作温度一般是室温，室温下工件的温度低，吹扫介质与工件的温度差小，导致吹扫介质到达工件表面时达不到升华温度，不能形成微区域爆炸，难以达到工件颗粒污染物的控制标准。
[0010]鉴于此，第一方面，本技术提供一种工件的固定装置，包括底座、加热板和伸缩调节件，加热板设置有用于放置工件的承载面，以提高工件温度，加热板远离承载面的一端安装于底座，保证吹扫介质与工件存在较大的温度差，吹扫介质可以有效汽化或升华，形成微区域爆炸，将粘附于工件表面的颗粒污染物剥离并去除。
[0011]伸缩调节件包括滑块和伸缩组件，滑块与伸缩组件配合连接，用于控制滑块远离或靠近加热板；滑块包括压紧部，压紧部为滑块靠近加热板的一端，压紧部可选择性移动靠
近或远离加热板，用于压紧或取放工件。
[0012]其次，为了保证工件表面的颗粒污染物能够均匀去除，常常需要对工件固定装置和吹扫设备进行调心处理，现有的调心方法主要是光学对中或机械加工对中，光学对中和机械加工对中操作复杂且容易存在误差，因此需要提出一种简便的调心方式，减少吹扫设备和工件固定装置中心的误差，以保证工件表面的颗粒污染物能够均匀去除。
[0013]因此，本技术提供的工件的固定装置，其底座开设有通孔，加热板开设有贯穿其上下表面的压力接收孔，通孔与压力接收孔连通，通孔远离加热板的一端连接压力检测器，底座远离加热板的一端连接有吹扫设备的移动平台，用于调节吹扫设备的位置，当压力检测器的读数最大时，即为调心目标位置。
[0014]本技术通过采用压力检测的方法，在加热板上设置压力接收孔，且在压力接收孔对应的底座位置设置通孔，通过压力接收孔测量吹扫气体的压力，并配合吹扫设备的移动找出压力最大值，即完成了装置的调心，减少了光学对中或机械加工对中所带来的误差。
[0015]在可选地实施方式中，加热板为圆柱形加热板，滑块为环形，且压紧部为环形压紧部，压紧部的环形内径小于加热板的直径，以保证压紧部下压时能够压紧工件边缘。
[0016]在可选地实施方式中，压紧部的环形内径根据工件的具体大小进行设置，只要保证压紧部的内径边缘在下压状态时与工件的边缘接触即可，其具体内径大小本技术不做限定。
[0017]在其他实施方式中，加热板的形状也可以是方形、三角形等，对应的滑块的形状也应当与加热板的形状匹配，只要能够使滑块的压紧部能够压紧加热板边缘即可，具体形状本技术不做限定。
[0018]在可选的实施方式中，为了保证吹扫设备喷射的吹扫介质在一定范围内，保证工件的表面均能被吹扫去除表面颗粒污染物，同时，确保吹扫设备在装置的中心位置，完成中央调心，压力接收孔开设于加热板中央，通孔开设于底座中央。
[0019]在可选的实施方式中，为进一步保证压力检测的准确度和精度，防止气体外泄导致的装置调心失败，在压力接收孔与通孔的连接处通过密封圈连接。
[0020]在可选的实施方式中，由于加热板需要对其表面放置的工件进行加热，因此压力接收孔的孔径不宜过大，防止其孔径过大影响工件的加热效果。较佳地，压力接收孔的孔径大小以能通过气流为宜，接收孔越小，测量的点越小，从而配合移动后得到中心点的精度越高，因此，压力接收孔的孔径需小于通孔的孔径。
[0021]在一些实施方式中，通孔和压力接收孔可以是圆形或方形的任一种，本技术对其孔的形状不做限定。
[0022]在可选的实施方式中，为了控制滑块与加热板之间的位置关系，以使滑块压紧工件或解除压紧工件，伸缩组件还包括活动部和动力驱动装置。
[0023]活动部包括导向杆、连接板和驱动杆，连接板设置于底座远离滑块的一端，导向杆穿过底座分别与连接板和滑块固定连接，驱动杆与连接板固定连接，动力驱动装置连接驱动杆，用于控制活动部移动。
[0024]在可选的实施方式中，为了便于导向杆的滑动，导向杆与底座通过直线轴承或者导轨连接。
[0025]在其他实施方式中也可以通过打孔、螺纹等方式连接，只要能够实现导向杆的滑动功能即可，具体实现方式本技术不做限定。
[0026]在可选的实施方式中，导向杆为两个，两个导向杆分别对应设置于底座的两端。
[0027]在其他实施方式中，导向杆也可以为3个、4个或更多，导向杆的数量可以根据实际需要和可承受成本进行设置，只要能够实现其导向功能和支撑连接滑块和连接杆的功能即可，具体数量本技术不做限定。
[0028]可以理解的是，导向杆数量为3个甚至更多时，多个导向杆之间均匀间隔设置，以更佳地实现其对滑块和连接杆的支撑连接功能。
[0029]在一些实施方式中，本技术提供的导向杆为圆柱形杆，在其他实施方式中也可以常规设置为长方体或多棱柱的形状。
[0030]在可选的实施方式中，为了保持伸缩组件的稳定伸缩，防止歪斜，驱动杆与连接板的中部连接。
[0031]在可选的实施方式中，动力驱动装置为气缸。在其他实施方式中也可以常规设置为现有的具有推动力的装置，本技术对动力驱动装置的具体选择不做限定。
[0032]在可选的实施方式中，为了压紧工件，保证超临界本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种工件的固定装置，其特征在于，包括底座、加热板和伸缩调节件，所述加热板设置有用于放置工件的承载面，用于提高所述工件温度；所述加热板远离所述承载面的一端安装于所述底座，所述底座开设有通孔，所述加热板开设有贯穿其上下表面的压力接收孔，所述通孔与所述压力接收孔连通，所述通孔远离所述加热板的一端连接压力检测器，所述底座远离所述加热板的一端连接有吹扫设备的移动平台，用于调节所述吹扫设备的位置；所述伸缩调节件包括滑块和伸缩组件，所述滑块与所述伸缩组件配合连接，用于控制所述滑块远离或靠近所述加热板；所述滑块包括压紧部，所述压紧部可选择性移动靠近或远离所述加热板，用于压紧或取放所述工件。2.根据权利要求1所述的工件的固定装置，其特征在于，所述压力接收孔开设于所述加热板中央，所述通孔开设于所述底座中央。3.根据权利要求2所述的工件的固定装置，其特征在于，所述压力接收孔与所述通孔的连接处通过密封圈连接。4.根据权利要求3所述的工件的固定装置，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘博瑞，史继英，
申请(专利权)人：成都博腾实达智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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