训练数据创建辅助装置以及训练数据创建辅助方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够容易创建以高精度进行检查的训练数据的训练数据创建辅助装置以及训练数据创建辅助方法。由异常数据获取部获取表示事先判定为有缺陷的检查对象物的图像的异常数据。由正常数据获取部以与由异常数据获取部获取到的异常数据对应的方式获取表示正常的检查对象物的图像的正常数据。由差分数据生成部生成表示由异常数据获取部获取到的异常数据和以与该异常数据对应的方式由正常数据获取部获取到的正常数据的差分的差分数据。基于由差分数据生成部生成的差分数据，由提示部提示检查对象物的部分的图像。提示部提示检查对象物的部分的图像。提示部提示检查对象物的部分的图像。

【技术实现步骤摘要】
训练数据创建辅助装置以及训练数据创建辅助方法


[0001]本专利技术涉及辅助训练数据的创建的训练数据创建辅助装置以及训练数据创建辅助方法。

技术介绍

[0002]对于产品或食品等商品而言，在从制造中途到流通前的各工序中适当地进行判定是否为合格品的检查。例如，在日本特开2011
‑
119471号公报中记载了用于检查在半导体晶片的制造工序中产生的各种缺陷的缺陷检查装置。
[0003]在该缺陷检查装置中，生成表示多个检查对象的晶片的多个SEM(扫描型电子显微镜)图像。用户从所生成的多个SEM图像中指定表示合格品的晶片的SEM图像作为模板。通过计算模板以外的多个SEM图像(检查图像)的每一个与模板的差，来检测检查图像所示的晶片的电路图案上的缺陷。

技术实现思路

[0004]在缺陷检查装置中，即使是没有缺陷的检查对象物，也存在被判定为存在缺陷的情况。在该情况下，尽管没有缺陷，但由于得到错误的检查结果，导致检查对象物被废弃，成品率降低。因此，期望以更高精度进行检查。
[0005]本专利技术的目的在于，提供一种能够容易创建以高精度进行检查的训练数据的训练数据创建辅助装置以及训练数据创建辅助方法。
[0006](1)本专利技术的一个方面的训练数据创建辅助装置，辅助在检查对象物的再检查中使用的训练数据的创建，具有：异常数据获取部，获取表示事先判定为有缺陷的检查对象物的图像的异常数据；正常数据获取部，以与由异常数据获取部获取到的异常数据对应的方式获取表示正常的检查对象物的图像的正常数据；差分数据生成部，生成表示由异常数据获取部获取到的异常数据和以与该异常数据对应的方式由正常数据获取部获取到的正常数据的差分的差分数据；以及提示部，基于由差分数据生成部生成的差分数据，提示检查对象物的部分的图像。
[0007]在该训练数据创建辅助装置中，基于示出表示事先判定为有缺陷的检查对象物的图像的异常数据与表示正常的检查对象物的图像的正常数据的差分的差分数据，来提示检查对象物的部分的图像。基于差分数据示出的图像中的检查对象物的部分需要再检查的可能性较高。因此，使用者通过确认所提示的图像，能够创建用于再检查该部分的训练数据。由此，能够容易创建以高精度进行检查的训练数据。
[0008](2)训练数据创建辅助装置还具有：接受部，接受由提示部提示的差分数据的选择；以及登录部，将由接受部接受了选择的差分数据登录为训练数据。在该情况下，将由使用者选择出的差分数据登录为训练数据。由此，能够更容易创建训练数据。
[0009](3)接受部还接受由提示部提示的差分数据的修正，登录部将修正后的差分数据登录为训练数据。在该情况下，能够更适当地对基于差分数据的图像中的检查对象物的需
要再检查的部分进行修正。由此，能够创建以更高精度进行检查的训练数据。
[0010](4)正常数据获取部以与异常数据对应的方式获取多个正常数据，差分数据生成部基于异常数据和与该异常数据对应的多个正常数据来生成多个差分数据。在该情况下，基于一个异常数据生成多个差分数据。由此，能够提高训练数据创建的作业效率。
[0011](5)正常数据获取部以与异常数据对应的方式获取多个正常数据，差分数据生成部基于异常数据和与该异常数据对应的多个正常数据的平均来生成差分数据。根据该结构，即使在多个正常数据中的任一个中偶然混入了与缺陷无关的噪声成分的情况下，由于多个正常数据被平均，因此噪声成分对平均后的正常数据的像素值几乎不造成影响。因此，能够创建以更高精度进行检查的训练数据。
[0012](6)正常数据获取部以与多个异常数据对应的方式获取正常数据，差分数据生成部基于各异常数据和与该异常数据对应的正常数据来生成差分数据。在该情况下，能够使用共同的正常数据高速地创建训练数据。
[0013](7)由正常数据获取部获取的正常数据包括表示未事先未判定为有缺陷的检查对象物的图像的图像数据。在该情况下，能够容易获取表示正常的检查对象物的图像的正常数据。
[0014](8)由正常数据获取部获取的正常数据包括表示检查对象物的设计图的主数据(master data)。在该情况下，能够容易获取表示正常的检查对象物的图像的正常数据。
[0015](9)正常数据获取部获取基于检查对象物的加工精度而进行了修正的主数据作为正常数据。根据该结构，即使在检查对象区域微小的情况下，也能够容易获取表示正常的检查对象物的图像的正常数据。
[0016](10)在由异常数据获取部获取的异常数据以及由正常数据获取部获取的正常数据中设定有非检查对象区域，差分数据生成部排除所设定的非检查对象区域而生成差分数据。在该情况下，防止在差分数据所示的图像中包括检查对象区域以外的部分。由此，能够创建以更高精度进行检查的训练数据。
[0017](11)异常数据获取部还获取表示关于与获取到的异常数据对应的检查对象物的缺陷的类别的缺陷信息，差分数据生成部对所生成的差分数据赋予由异常数据获取部获取到的缺陷信息。在该情况下，使用者无需进行对训练数据赋予缺陷信息的作业。由此，能够减轻使用者的负担，并且提高训练数据创建的作业效率。另外，由于不会发生伴随使用者的作业引起的错误，因此能够创建更准确的训练数据。
[0018](12)异常数据获取部获取二值化处理后的异常数据，正常数据获取部获取二值化处理后的正常数据。在该情况下，由于异常数据以及正常数据的数据量被削减，因此能够高速地创建训练数据。
[0019](13)本专利技术的另一个方面的训练数据创建辅助方法，辅助在检查对象物的再检查中使用的训练数据的创建，包括：获取表示事先判定为有缺陷的检查对象物的图像的异常数据的步骤；以与获取到的异常数据对应的方式获取表示正常的检查对象物的图像的正常数据的步骤；生成表示获取到的异常数据和与该异常数据对应的方式获取到的正常数据的差分的差分数据的步骤；以及基于所生成的差分数据，提示检查对象物的部分的图像的步骤。
[0020]根据该训练数据创建辅助方法，基于示出表示事先判定为有缺陷的检查对象物的
图像的异常数据与表示正常的检查对象物的图像的正常数据的差分的差分数据，来提示检查对象物的部分的图像。基于差分数据示出的图像中的检查对象物的部分需要再检查的可能性较高。因此，使用者通过确认所提示的图像，能够创建用于再检查该部分的训练数据。由此，能够容易创建以高精度进行检查的训练数据。
附图说明
[0021]图1是表示包括本专利技术的第一实施方式的辅助装置的处理系统的结构的图。
[0022]图2是表示图1的辅助装置的结构的图。
[0023]图3是表示用于创建训练数据的各种数据的图。
[0024]图4是表示训练数据的创建中的显示装置的显示画面的一例的图。
[0025]图5是表示图2的辅助装置的辅助处理的流程图。
[0026]图6是表示第一变形例中的用于创建训练数据的各种数据的图。
[0027]图7是表示第二变形例中的用于创建训练数据的各种数本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种训练数据创建辅助装置，辅助在检查对象物的再检查中使用的训练数据的创建，其中，具有：异常数据获取部，获取表示事先判定为有缺陷的检查对象物的图像的异常数据；正常数据获取部，以与由所述异常数据获取部获取到的异常数据对应的方式获取表示正常的检查对象物的图像的正常数据；差分数据生成部，生成表示由所述异常数据获取部获取到的异常数据和以与该异常数据对应的方式由所述正常数据获取部获取到的正常数据的差分的差分数据；以及提示部，基于由所述差分数据生成部生成的差分数据，提示检查对象物的部分的图像。2.如权利要求1所述的训练数据创建辅助装置，其中，还具有：接受部，接受由所述提示部提示的差分数据的选择；以及登录部，将由所述接受部接受了选择的差分数据登录为训练数据。3.如权利要求2所述的训练数据创建辅助装置，其中，所述接受部还接受由所述提示部提示的差分数据的修正，所述登录部将修正后的差分数据登录为训练数据。4.如权利要求1～3中任一项所述的训练数据创建辅助装置，其中，所述正常数据获取部以与异常数据对应的方式获取多个正常数据，所述差分数据生成部基于异常数据和与该异常数据对应的多个正常数据来生成多个差分数据。5.如权利要求1～3中任一项所述的训练数据创建辅助装置，其中，所述正常数据获取部以与异常数据对应的方式获取多个正常数据，所述差分数据生成部基于异常数据和与该异常数据对应的多个正常数据的平均来生成差分数据。6.如权利要求1～3中任一项所述的训练数据创建辅助装置，其中，所述正常数据获取部以与多个异常数据对应的方式获取正常数据，所述差分数据生成部基于各异常数据和与该异常数据对应的正常数据来生成差分数据。7.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：野口威，冈山敏之，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：