一种高透过率自动真空镀膜设备制造技术

技术编号:35174805 阅读:12 留言:0更新日期:2022-10-12 17:40
本实用新型专利技术提供了一种高透过率自动真空镀膜设备,涉及真空镀膜设备技术领域,包括基座部件和喷淋机构,所述基座部件的一端上方设置有承载构件;本实用新型专利技术主要是利用喷淋泵体将喷涂原料利用输料管进行有力的驱动,使得涂料通过喷淋泵输出到中心管,这样中心管利用多组平行分布的喷口喷射出去,而且喷口环形分布在中心管的外侧,这样喷淋的状态是均匀的,而且利用承载部件上的电机带动主动齿轮驱动被动齿轮进行转动,并且花杆承载的产品,而且花杆的顶端与承载部件的顶侧轴承连接,这样在不间断的驱动下,能够使得喷淋喷口喷射出去的涂料能够均匀的喷涂在原料上,以达到镀膜的效果,提升了加工品质与加工效率。提升了加工品质与加工效率。提升了加工品质与加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种高透过率自动真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜设备
,尤其涉及一种高透过率自动真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0003]现有的真空镀膜设备在使用过程中,难以全方面进行喷淋,导致喷淋涂料时喷涂不均匀,产品质量难以提升等问题,因此,本技术提出一种高透过率自动真空镀膜设备以解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0004]针对上述问题,本技术提出一种高透过率自动真空镀膜设备,该高透过率自动真空镀膜设备主要是利用喷淋泵体将喷涂原料利用输料管进行有力的驱动,使得涂料通过喷淋泵输出到中心管,这样中心管利用多组平行分布的喷口喷射出去,而且喷口环形分布在中心管的外侧,这样喷淋的状态是均匀的,而且利用承载部件上的电机带动主动齿轮驱动被动齿轮进行转动,并且花杆承载的产品,而且花杆的顶端与承载部件的顶侧轴承连接,这样在不间断的驱动下,能够使得喷淋喷口喷射出去的涂料能够均匀的喷涂在原料上,以达到镀膜的效果,提升了加工品质与加工效率。
[0005]为实现本技术的目的,本技术通过以下技术方案实现:一种高透过率自动真空镀膜设备,包括基座部件和喷淋机构,所述基座部件的一端上方设置有承载构件,且所述承载构件的两端上方设置有贯穿套接的抽气组件,所述承载构件的顶侧设置有螺栓装配的喷淋机构;
[0006]所述喷淋机构包括喷淋泵、输料管、罐体、支撑座、中心管体和喷口,所述喷淋泵螺栓连接在所述承载构件的顶侧,所述喷淋泵的一侧通过输料管与罐体套接连接,所述罐体的下方设置有支撑座,所述喷淋泵的输出端贯穿所述承载构件的顶侧连接有中心管体,且所述中心管体的外侧环形分布多组喷口。
[0007]进一步改进于,所述罐体和输料管与喷淋泵和中心管体构成单向流通结构,所述中心管体与喷淋泵的中轴线处于同一直线上,所述喷口的端部呈多孔状构造。
[0008]进一步改进于,所述基座部件包括减压垫、底板和抬高架,所述减压垫的顶侧设置有底板,且所述底板的一端上方设置有螺栓装配的抬高架。
[0009]进一步改进于,所述承载构件包括圆形基座、螺栓套片、壳体、门板、控制面板、顶盖、主动齿轮、皮带轮组、电动机、侧齿轮、花杆和顶置轴座,所述圆形基座设置在所述抬高架的顶侧,所述圆形基座的顶侧通过螺栓套片螺栓连接有壳体,所述壳体的一侧设置有铰接连接的门板,且所述门板上设置有控制面板,所述壳体的顶侧设置有顶盖。
[0010]进一步改进于,所述壳体的底侧上方设置有主动齿轮,且所述主动齿轮的下方设置有皮带轮组的输出端,所述皮带轮组连接有电动机的输出端,所述主动齿轮的边侧设置啮合连接的侧齿轮,且所述侧齿轮的顶侧设置有花杆,所述花杆的顶侧通过顶置轴座与顶盖轴承连接。
[0011]进一步改进于,所述抽气组件包括吸气座、连管、气泵和单向气阀,所述吸气座设置在所述顶盖的内侧,所述吸气座的上方设置有连管,且所述连管的一侧设置有气泵,所述气泵的一侧设置有单向气阀。
[0012]本技术的有益效果为:
[0013]本技术主要是利用喷淋泵体将喷涂原料利用输料管进行有力的驱动,使得涂料通过喷淋泵输出到中心管,这样中心管利用多组平行分布的喷口喷射出去,而且喷口环形分布在中心管的外侧,这样喷淋的状态是均匀的,而且利用承载部件上的电机带动主动齿轮驱动被动齿轮进行转动,并且花杆承载的产品,而且花杆的顶端与承载部件的顶侧轴承连接,这样在不间断的驱动下,能够使得喷淋喷口喷射出去的涂料能够均匀的喷涂在原料上,以达到镀膜的效果,提升了加工品质与加工效率。
附图说明
[0014]图1为本技术的立体结构示意图;
[0015]图2为本技术的仰视立体结构示意图;
[0016]图3为本技术的皮带轮组与电动机立体结构示意图;
[0017]图4为本技术的侧齿轮与花杆立体结构示意图。
[0018]其中:1、基座部件;101、减压垫;102、底板;103、抬高架;2、承载构件;201、圆形基座;202、螺栓套片;203、壳体;204、门板;205、控制面板;206、顶盖;207、主动齿轮;208、皮带轮组;209、电动机;2010、侧齿轮;2011、花杆;2012、顶置轴座;3、抽气组件;301、吸气座;302、连管;303、气泵;304、单向气阀;4、喷淋机构;401、喷淋泵;402、输料管;403、罐体;404、支撑座;405、中心管体;406、喷口。
具体实施方式
[0019]为了加深对本技术的理解,下面将结合实施例对本技术做进一步详述,本实施例仅用于解释本技术,并不构成对本技术保护范围的限定。
[0020]根据图1

4所示,本实施例提出了一种高透过率自动真空镀膜设备,包括基座部件1和喷淋机构4,基座部件1的一端上方设置有承载构件2,且承载构件2的两端上方设置有贯穿套接的抽气组件3,承载构件2的顶侧设置有螺栓装配的喷淋机构4;
[0021]喷淋机构4包括喷淋泵401、输料管402、罐体403、支撑座404、中心管体405和喷口406,喷淋泵401螺栓连接在承载构件2的顶侧,喷淋泵401的一侧通过输料管402与罐体403套接连接,罐体403的下方设置有支撑座404,喷淋泵401的输出端贯穿承载构件2的顶侧连接有中心管体405,且中心管体405的外侧环形分布多组喷口406。
[0022]罐体403和输料管402与喷淋泵401和中心管体405构成单向流通结构,中心管体405与喷淋泵401的中轴线处于同一直线上,喷口406的端部呈多孔状构造。
[0023]本实施例中,当设备内部形成真空时,并且承载构件2将产品进行承载运行时,启
动喷淋泵401输出动力使得支撑座404上方的罐体403内部的涂料通过输料管402驱动进喷淋泵401,这样喷淋泵401驱动涂料通过中心管体405外侧的喷口406喷射出去,以将花杆2011上的原料进行加工成最终的产品。
[0024]基座部件1包括减压垫101、底板102和抬高架103,减压垫101的顶侧设置有底板102,且底板102的一端上方设置有螺栓装配的抬高架103。
[0025]本实施例中,在减压垫101的顶侧安装底板102,将设备放置在加工的地点,之后在底板102的顶侧上方利用抬高架103螺栓连接,使得抬高架103的顶侧支撑圆形基座201,这样将圆形基座201的顶侧利用螺栓套片202将壳体203进行螺栓连接。
[0026]承载构件2包括圆形基座201、螺栓套片202、壳体203、门板204、控制面板205、顶盖206、主动齿轮207、皮带轮组208、电动机209、侧齿轮2010、花杆2011和顶置轴座2012,圆形基座201设置在抬高架103的顶侧,圆形基座201本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高透过率自动真空镀膜设备,包括基座部件(1)和喷淋机构(4),其特征在于:所述基座部件(1)的一端上方设置有承载构件(2),且所述承载构件(2)的两端上方设置有贯穿套接的抽气组件(3),所述承载构件(2)的顶侧设置有螺栓装配的喷淋机构(4);所述喷淋机构(4)包括喷淋泵(401)、输料管(402)、罐体(403)、支撑座(404)、中心管体(405)和喷口(406),所述喷淋泵(401)螺栓连接在所述承载构件(2)的顶侧,所述喷淋泵(401)的一侧通过输料管(402)与罐体(403)套接连接,所述罐体(403)的下方设置有支撑座(404),所述喷淋泵(401)的输出端贯穿所述承载构件(2)的顶侧连接有中心管体(405),且所述中心管体(405)的外侧环形分布多组喷口(406)。2.根据权利要求1所述的一种高透过率自动真空镀膜设备,其特征在于:所述罐体(403)和输料管(402)与喷淋泵(401)和中心管体(405)构成单向流通结构,所述中心管体(405)与喷淋泵(401)的中轴线处于同一直线上,所述喷口(406)的端部呈多孔状构造。3.根据权利要求1所述的一种高透过率自动真空镀膜设备,其特征在于:所述基座部件(1)包括减压垫(101)、底板(102)和抬高架(103),所述减压垫(101)的顶侧设置有底板(102),且所述底板(102)的一端上方设置有螺栓装配的抬高架(103)。4.根据权利要求3所述的一种高透过率自动真空镀膜设备,其特征在于:所述承载构件(2)包括圆形基...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈家雄
申请(专利权)人:福建博迈科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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