高架输送车以及高架输送系统技术方案

本发明专利技术涉及高架输送车以及高架输送系统。高架输送车具备：保持物品的物品保持部；以使物品保持部直线地移动的方式进行驱动的直线驱动部；以使物品保持部水平回转的方式进行驱动的回转驱动部；以及根据由物品保持部保持的物品的朝向以及该物品要载放的装载口的朝向来控制回转驱动部的控制部。来控制回转驱动部的控制部。来控制回转驱动部的控制部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】高架输送车以及高架输送系统


[0001]本专利技术的一个方面涉及高架输送车以及高架输送系统。

技术介绍

[0002]作为与高架输送车相关的技术，例如已知专利文献1所记载的有轨台车。专利文献1所记载的有轨台车具备沿着包括配置为格子状的部位的轨道、在轨道的下侧对物品进行保持而输送的主体部。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2018/037762号

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]然而，在上述那样的高架输送车中，根据由物品保持部保持的物品的朝向，有可能难以对于装载口以所希望的朝向移载物品。
[0008]因此，本专利技术的一个方面的目的在于提供能够对于装载口以所希望的朝向移载物品的高架输送车以及高架输送系统。
[0009]用于解决课题的手段
[0010]本专利技术的一个方面的高架输送车具备：保持物品的物品保持部；以使物品保持部直线地移动的方式进行驱动的直线驱动部；以使物品保持部水平回转的方式进行驱动的回转驱动部；以及根据由物品保持部保持的物品的朝向以及该物品要载放的装载口的朝向来控制回转驱动部的控制部。
[0011]根据该高架输送车，无论由物品保持部保持的物品的朝向是哪种朝向，通过由控制部根据物品的朝向以及装载口的朝向来控制回转驱动部，都能够对于装载口以所希望的朝向移载物品。
[0012]在本专利技术的一个方面的高架输送车中也可以为，直线驱动部具有使物品保持部升降的升降驱动部以及使升降驱动部滑动移动的滑动驱动部，回转驱动部具有使滑动驱动部水平回转的第一回转驱动部以及使物品保持部或者升降驱动部水平回转的第二回转驱动部。根据这种构成，能够具体地控制物品的朝向。
[0013]本专利技术的一个方面的高架输送车是能够沿着至少一部被配置为格子状的轨道行驶的高架输送车，也可以具备在轨道上滚动的行驶车轮、以及配置在轨道的下方并包括物品保持部、直线驱动部以及回转驱动部的主体部。根据这种构成，容易自由地选择高架输送车的行驶路径，能够抑制阻塞的产生，使输送效率提高。
[0014]在本专利技术的一个方面的高架输送车中也可以为，控制部执行：第一控制，使物品保持部水平回转第一角度，以使物品的朝向与装载口的朝向成为一定关系；以及第二控制，使物品保持部水平回转小于第一角度的第二角度，以便对物品的朝向进行微调。由此，对于装
载口能够可靠地以所希望的朝向移载物品。
[0015]本专利技术的一个方面的高架输送系统具备：多个处理装置，在隔着通路的一侧以及另一侧分别以沿着该通路排列的方式配置；以及上述高架输送车，多个处理装置分别具有配置在其通路侧的装载口，高架输送系统具备供高架输送车行驶的路径、且是以横穿通路的方式延伸且使高架输送车在一对装载口之上通过的行驶路径。
[0016]一般来说，隔着通路对置的一对装载口的朝向成为相互相反方向，因此难以以物品的朝向与装载口的朝向成为一定关系的方式在该一对装载口之间移载物品。为了解决该问题点，本专利技术的一个方面的高架输送系统具备以横穿通路的方式延伸且使高架输送车在一对装载口上通过的行驶路径(以下，也成为横穿行驶路径)以及上述高架输送车。即使在横穿行驶路径的一对装载口之间，通过由控制部适当控制回转驱动部，也能够以所希望的朝向移载物品。
[0017]专利技术的效果
[0018]根据本专利技术的一个方面，可提供能够对于装载口以所希望的朝向移载物品的高架输送车以及高架输送系统。
附图说明
[0019]图1是表示实施方式的高架输送系统的一例的侧视图。
[0020]图2是表示图1的高架输送车的立体图。
[0021]图3是表示图1的高架输送系统的立体图。
[0022]图4是示意地表示从上方观察图1的高架输送车的状态的图。
[0023]图5是对在图1的高架输送系统中通过高架输送车在装载口之间输送物品的情况下的一例进行说明的俯视图。
[0024]图6是表示接着图5的俯视图。
[0025]图7是表示接着图6的俯视图。
[0026]图8是表示接着图7的俯视图。
[0027]图9是表示接着图8的俯视图。
[0028]图10是表示接着图9的俯视图。
[0029]图11是表示接着图10的俯视图。
[0030]图12是表示变形例的高架输送系统所具备的横穿行驶路径的俯视图。
具体实施方式
[0031]以下，参照附图对实施方式进行说明。为了说明实施方式，在附图中将一部分放大或者强调地记载等适当变更比例尺来表现。在以下的各图中，使用XYZ坐标系对图中的方向进行说明。在该XYZ坐标系中，将与水平面平行的平面设为XY平面。将沿着该XY平面的一直线方向表述为X方向，将与X方向正交的方向表述为Y方向。另外，高架输送车100的行驶方向能够从以下的图所示的状态向其他方向变化，例如也有时沿着曲线方向行驶。此外，将与XY平面垂直的方向表述为Z方向。对于X方向、Y方向以及Z方向各自，将图中的箭头所指的方向设为+方向、将相反方向设为－方向来进行说明。此外，将围绕Z轴的旋转方向表述为θZ方向。
[0032]如图1、图2以及图3所示，高架输送系统SYS例如是在半导体制造工厂的洁净室中、用于通过高架输送车100输送物品M的系统。高架输送系统SYS为了向多个处理装置6输送物品M，而具备高架输送车100以及系统控制器5。物品M例如是收容半导体晶片的FOUP、或者收容中间掩膜的中间掩膜Pod等。物品M具有朝向，例如物品M的与盖部Mb侧相反一侧为正面的朝向。
[0033]处理装置6是对物品M进行处理的装置。处理装置6不特别限定，可以是各种装置。如图5所示那样，处理装置6被配置为，在夹着通路ST的一侧以及另一侧分别沿着该通路ST排列。多个处理装置6分别包括装置主体61以及装载口62。装载口62配置在通路ST侧，用于载放物品M。装载口62具有朝向，例如装载口62的通路ST侧为正面的朝向。装载口62的朝向与向此处载放的物品M的朝向对应。例如，以装载口62的正面与物品M的正面一致(物品M的盖部Mb朝向装置主体61)的方式，在装载口62上载放物品M。
[0034]如图1、图2以及图3所示，高架输送车100沿着高架输送系统SYS的轨道R移动，并输送物品M。高架输送车100在建筑物的顶棚附近行驶，因此有时也称为顶棚行驶车。高架输送车100例如也可以使用多台。通过利用多个高架输送车100来输送物品M，由此能够进行高密度的输送，并能够使物品M的输送效率提高。
[0035]轨道R铺设在洁净室等建筑物的顶棚或者顶棚附近。轨道R是具有第一轨道R1、第二轨道R2、以及交叉点轨道R3的格子状轨道(参照图3)。轨道R的至少一部分被配置为格子状。以下，将轨道R称为格子状轨道R。第一轨道R1沿着X方向(第一方向D1)设置。第二轨道R2沿着Y方向(第二方向D2)设置。在本实施方式中，第一方向D1与第二方向D2正交，多个第一轨道R1与多个第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种高架输送车，具备：物品保持部，保持物品；直线驱动部，以使上述物品保持部直线地移动的方式进行驱动；回转驱动部，以使上述物品保持部水平回转的方式进行驱动；以及控制部，根据由上述物品保持部保持的上述物品的朝向以及该物品要载放的装载口的朝向，对上述回转驱动部进行控制。2.如权利要求1所述的高架输送车，其中，上述直线驱动部具有使上述物品保持部升降的升降驱动部以及使上述升降驱动部滑动移动的滑动驱动部，上述回转驱动部具有使上述滑动驱动部水平回转的第一回转驱动部以及使上述物品保持部或者上述升降驱动部水平回转的第二回转驱动部。3.如权利要求1或2所述的高架输送车，是能够沿着至少一部分被配置为格子状的轨道行驶的高架输送车，具备：行驶车轮，在上述轨道上滚动；以及主体部，配置...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤靖久，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：