一种半导体加工用检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体加工用检测设备，包括底箱，所述底箱内腔底部的右侧固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆的表面固定连接有主动齿轮，底箱内腔的底部通过轴承活动连接有转杆。本实用新型专利技术通过底箱、第一电机、传动杆、主动齿轮、转杆、从动齿轮、检测台、弹簧、第一限位块、安装块、电动推杆、第二限位块、侧板、箱体、第二电机、螺纹杆、螺纹套和连接块的配合使用，能够有效的解决传统半导体加工用检测设备在使用的过程中，采用的定位方式效率较为低下，无法快速的对半导体进行限位的问题，该装置能够方便对半导体进行限位，保证了半导体加工过程中的稳定性，提高了使用效果。提高了使用效果。提高了使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体加工用检测设备


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体为一种半导体加工用检测设备。

技术介绍

[0002]半导体器件产品生产过程中，从半导体单晶片到加工成最终成品，需经历很多道工序，为了确保产品性能合格、稳定可靠，具有高成品率，根据不同半导体产品的生产情况，对所有工艺步骤都有着严格要求，因而，在生产过程中，半导体工艺检测工序必不可少，半导体检测工序中，半导体检测设备需要将工件先进行定位后，然后再进行组装、测试、分选，目前对半导体进行检测过程中，采用的定位方式效率较为低下的同时，无法快速的对半导体进行限位，从而降低了使用效果。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种半导体加工用检测设备，具备方便定位的优点，解决了目前对半导体进行检测过程中，采用的定位方式效率较为低下的同时，无法快速的对半导体进行限位，从而降低了使用效果的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体加工用检测设备，包括底箱，所述底箱内腔底部的右侧固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有传动杆，所述传动杆的表面固定连接有主动齿轮，所述底箱内腔的底部通过轴承活动连接有转杆，所述转杆的表面固定连接有从动齿轮，所述从动齿轮与主动齿轮啮合，所述转杆的顶部贯穿底箱的内腔并延伸至底箱的外部，所述转杆的顶部固定连接有检测台，所述检测台内腔的左侧固定连接有弹簧，所述弹簧的右侧固定连接有第一限位块，所述检测台内腔的右侧固定连接有安装块，所述安装块的左侧固定连接有电动推杆，所述电动推杆的左侧固定连接有第二限位块，所述底箱的两侧均固定连接有侧板，两个侧板相对一侧的顶部固定连接有箱体，所述箱体内腔的右侧固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的左侧通过轴承与箱体的内壁活动连接，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的底部固定连接有连接块，所述连接块的底部贯穿箱体的内腔并延伸至箱体的外部。
[0005]优选的，所述侧板相对一侧的顶部且位于箱体的下方固定连接有第一滑杆，所述第一滑杆的表面滑动连接有第一滑套，所述第一滑套的前端与连接块固定连接。
[0006]优选的，所述箱体的内腔固定连接有第二滑杆，所述第二滑杆的表面滑动连接有第二滑套，所述第二滑套的底部与螺纹套固定连接。
[0007]优选的，所述底箱底部的两侧均固定连接有支撑台，所述支撑台的底部设置有防滑纹。
[0008]优选的，所述底箱的表面通过铰链铰接有盖板，所述盖板表面的右侧固定连接有把手。
[0009]优选的，所述箱体表面的右侧固定连接有控制器，所述控制器通过导线分别与第
一电机和第二电机电性连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]1、本技术通过底箱、第一电机、传动杆、主动齿轮、转杆、从动齿轮、检测台、弹簧、第一限位块、安装块、电动推杆、第二限位块、侧板、箱体、第二电机、螺纹杆、螺纹套和连接块的配合使用，能够有效的解决传统半导体加工用检测设备在使用的过程中，采用的定位方式效率较为低下，无法快速的对半导体进行限位的问题，该装置能够方便对半导体进行限位，保证了半导体加工过程中的稳定性，提高了使用效果。
[0012]2、本技术通过设置第一滑杆和第一滑套，能够对连接块进行限位，保证了连接块移动过程中的稳定性，通过设置第二滑杆和第二滑套，能够对螺纹套进行限位，保证了螺纹套移动过程中的稳定性，通过设置支撑台，能够对该装置进行支撑，保证了装置整体的稳定性，通过设置盖板和把手，能够方便对底箱的内部结构进行检修，达到方便闭合的目的，通过设置控制器，能够对第一电机和第二电机的启停进行控制，达到方便操控的目的。
附图说明
[0013]图1为本技术结构示意图；
[0014]图2为本技术箱体内部结构的剖视示意图；
[0015]图3为本技术结构的主视示意图。
[0016]图中：1、底箱；2、第一电机；3、传动杆；4、主动齿轮；5、转杆；6、从动齿轮；7、检测台；8、弹簧；9、第一限位块；10、安装块；11、电动推杆；12、第二限位块；13、侧板；14、箱体；15、第二电机；16、螺纹杆；17、螺纹套；18、连接块；19、第一滑杆；20、第一滑套；21、第二滑杆；22、第二滑套；23、支撑台；24、盖板；25、控制器。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1
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3，一种半导体加工用检测设备，包括底箱1，底箱1底部的两侧均固定连接有支撑台23，支撑台23的底部设置有防滑纹，底箱1的表面通过铰链铰接有盖板24，盖板24表面的右侧固定连接有把手，底箱1内腔底部的右侧固定连接有第一电机2，第一电机2的输出端固定连接有传动杆3，传动杆3的表面固定连接有主动齿轮4，底箱1内腔的底部通过轴承活动连接有转杆5，转杆5的表面固定连接有从动齿轮6，从动齿轮6与主动齿轮4啮合，转杆5的顶部贯穿底箱1的内腔并延伸至底箱1的外部，转杆5的顶部固定连接有检测台7，检测台7内腔的左侧固定连接有弹簧8，弹簧8的右侧固定连接有第一限位块9，检测台7内腔的右侧固定连接有安装块10，安装块10的左侧固定连接有电动推杆11，电动推杆11的左侧固定连接有第二限位块12，底箱1的两侧均固定连接有侧板13，侧板13相对一侧的顶部且位于箱体14的下方固定连接有第一滑杆19，第一滑杆19的表面滑动连接有第一滑套20，第一滑套20的前端与连接块18固定连接，两个侧板13相对一侧的顶部固定连接有箱体14，箱体14的内腔固定连接有第二滑杆21，第二滑杆21的表面滑动连接有第二滑套22，第二滑套
22的底部与螺纹套17固定连接，箱体14表面的右侧固定连接有控制器25，控制器25通过导线分别与第一电机2和第二电机15电性连接，箱体14内腔的右侧固定连接有第二电机15，第二电机15的输出端固定连接有螺纹杆16，螺纹杆16的左侧通过轴承与箱体14的内壁活动连接，螺纹杆16的表面螺纹连接有螺纹套17，螺纹套17的底部固定连接有连接块18，连接块18的底部贯穿箱体14的内腔并延伸至箱体14的外部，通过设置第一滑杆19和第一滑套20，能够对连接块18进行限位，保证了连接块18移动过程中的稳定性，通过设置第二滑杆21和第二滑套22，能够对螺纹套17进行限位，保证了螺纹套17移动过程中的稳定性，通过设置支撑台23，能够对该装置进行支撑，保证了装置整体的稳定性，通过设置盖板24和把手，能够方便对底箱1的内部结构进行检修，达到方便闭合的目的，通过设置控制器25，能够对第一电机2和第二电机15的启停进行控制，达到方便操控的目的，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体加工用检测设备，包括底箱(1)，其特征在于：所述底箱(1)内腔底部的右侧固定连接有第一电机(2)，所述第一电机(2)的输出端固定连接有传动杆(3)，所述传动杆(3)的表面固定连接有主动齿轮(4)，所述底箱(1)内腔的底部通过轴承活动连接有转杆(5)，所述转杆(5)的表面固定连接有从动齿轮(6)，所述从动齿轮(6)与主动齿轮(4)啮合，所述转杆(5)的顶部贯穿底箱(1)的内腔并延伸至底箱(1)的外部，所述转杆(5)的顶部固定连接有检测台(7)，所述检测台(7)内腔的左侧固定连接有弹簧(8)，所述弹簧(8)的右侧固定连接有第一限位块(9)，所述检测台(7)内腔的右侧固定连接有安装块(10)，所述安装块(10)的左侧固定连接有电动推杆(11)，所述电动推杆(11)的左侧固定连接有第二限位块(12)，所述底箱(1)的两侧均固定连接有侧板(13)，两个侧板(13)相对一侧的顶部固定连接有箱体(14)，所述箱体(14)内腔的右侧固定连接有第二电机(15)，所述第二电机(15)的输出端固定连接有螺纹杆(16)，所述螺纹杆(16)的左侧通过轴承与箱体(14)的内壁活动连接，所述螺纹杆(16)的表面螺纹连接有螺纹套(17)，所述螺纹套(17)的底部固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员：田兆恩，
申请(专利权)人：深圳市采芯检测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：