薄膜传感器制造技术

本发明专利技术要解决的问题是，提供一种薄膜传感器，所述薄膜传感器即使在曲面或较深处也能够容易地直接制造。为了解决上述问题，一种薄膜传感器(1)具备：绝缘层(3)，设置在被测体的表面；及，传感器层(4)，层叠在绝缘层(3)上且具有多个区域，所述多个区域是由利用激光照射沿着厚度方向贯穿所形成的槽(6)划分而成。多个区域之中的至少一个为传感器区域，所述传感器区域感测施加在被测体上的压力，除此以外的区域为非传感器区域，所述非传感器区域不感测施加在被测体上的压力。在被测体上的压力。在被测体上的压力。

【技术实现步骤摘要】
薄膜传感器


[0001]本专利技术涉及一种薄膜传感器。

技术介绍

[0002]以往，当直接在平面状的设置面上制造薄膜传感器时，使用将特定的图案转印在设置面上的光刻法(例如专利文献1)。在该光刻法中，在经由描绘有图案的掩膜对抗蚀剂层照射光进行曝光后，使曝光后的抗蚀剂层显影，从而在设置面上形成特定的图案。
[0003]设置薄膜传感器的设置面并不限于平面，也可能是曲面。在专利文献2中公开了一种利用光刻法直接在曲面(轴承的外圈的内周面)上制造传感器的技术。在该情况下，与设置面为平面的情况相同，也经由掩膜照射光。
[0004][先前技术文献][0005](专利文献)
[0006]专利文献1：日本特开平5
‑
4464号公报
[0007]专利文献2：日本特开2008
‑
196956号公报

技术实现思路

[0008][专利技术所要解决的问题][0009]当直接在曲面上制造传感器时，需要使掩膜沿着曲面。然而，此时，必须以高精度使掩膜沿着曲面，而实现这一点并不容易。在曲面直径较小的情况下，该问题尤其突出。并且，掩膜难以固定在较深处。
[0010]本专利技术的目的在于提供一种薄膜传感器，所述薄膜传感器即使在曲面或较深处也能够容易地直接制造。
[0011][解决问题的技术手段][0012](1)本专利技术具备：绝缘层，设置在被测体的表面；及，传感器层，层叠在前述绝缘层上且具有多个区域，所述多个区域是由利用激光照射沿着厚度方向贯穿所形成的槽划分而成。前述多个区域之中的至少一个为传感器区域，所述传感器区域感测施加在前述被测体上的压力或前述被测体的温度，除此以外的区域为非传感器区域，所述非传感器区域不感测施加在前述被测体上的压力或前述被测体的温度。
[0013](2)本专利技术，针对上述(1)的专利技术，前述槽可借由对前述传感器层的表面照射皮秒以下的激光而形成。
[0014](3)本专利技术，针对上述(1)的专利技术，前述槽可借由在将前述传感器层的表面冷却后的状态下对前述传感器层的表面照射激光而形成。
[0015](专利技术的效果)
[0016]根据本专利技术，可以提供一种薄膜传感器，所述薄膜传感器即使在曲面或较深处也能够容易地直接制造。
附图说明
[0017]图1是绘示本专利技术的实施方式1的薄膜传感器的使用状态的概略立体图。
[0018]图2是绘示图1的薄膜传感器的概略俯视图。
[0019]图3是沿着图2中的A
‑
A线的剖面图。
[0020]图4是绘示本专利技术的实施方式2的薄膜传感器的概略俯视图。
[0021]图5是沿着图4中的B
‑
B线的剖面图。
具体实施方式
[0022]下面，参考附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。
[0023]图1至图3是示出本专利技术的实施方式1的薄膜传感器的图，图1是示出使用状态的概略立体图，图2是概略俯视图，图3是沿着图2中的A
‑
A线的剖面图。另外，在图1中，为了便于说明，切掉了齿轮的齿的一部分。
[0024]本实施方式1的薄膜传感器1包括：绝缘层3，设置在被测体2的表面；传感器层4，层叠在绝缘层3上；及，保护层5，层叠在传感器层4上；所述的薄膜传感器1是一种检测施加在被测体2上的压力的压力传感器。此处，被测体2为齿轮，在该齿轮的齿面上设置有薄膜传感器1。另外，被测体2并不限于齿轮。
[0025]绝缘层3在俯视时呈大致长方形的板状，且设置在齿轮2的其中一方的齿面上。此时，绝缘层3是以长度方向沿着齿宽方向的方式设置在齿面上。当将绝缘层3设置在齿面上时，例如使用溅射法。另外，绝缘层3只要由绝缘材料形成即可，例如由氧化铝、陶瓷或玻璃等构成。
[0026]传感器层4在俯视时呈大致长方形的板状，且设置在绝缘层3上。此时，传感器层4是以传感器层4的长度方向沿着绝缘层3的长度方向的方式设置在绝缘层3上。当将传感器层4设置在绝缘层3上时，例如使用溅射法。另外，传感器层4由铜锰镍合金、铜镍合金或镍铬合金等构成。
[0027]传感器层4具有多个区域，所述多个区域是由利用激光照射沿着厚度方向贯穿所形成的槽6划分而成。上述多个区域之中的至少一个为传感器区域，所述传感器区域感测施加在齿轮2的齿面上的压力，除此以外的区域为非传感器区域，所述非传感器区域不感测施加在齿轮2的齿面上的压力。在本实施方式1中，在传感器层4中形成有多个槽7～16。槽7～16是沿着厚度方向贯穿而形成在传感器层4中，因此，绝缘层3成为其底部。
[0028]槽7形成在传感器层4长度方向大致中央部且传感器层4宽度方向一端侧。槽7具有：第一槽部17，从传感器层4宽度方向一端部向传感器层4宽度方向另一端部侧延伸；第二槽部18，从第一槽部17的传感器层4宽度方向另一端部向传感器层4长度方向另一端部侧延伸；及，第三槽部19，从第二槽部18的传感器层4长度方向另一端部向传感器层4宽度方向一端部侧延伸。第一槽部17的传感器层4宽度方向一端部与第三槽部19的传感器层4宽度方向一端部，以两者间的距离随着靠近传感器层4宽度方向一端部侧而逐渐增大的方式，形成为大致圆弧状。
[0029]在第一槽部17连接有形成在传感器层4宽度方向一端部的第一削取部20。第一削取部20是在传感器层4长度方向一端部侧削去传感器层4宽度方向一端缘而形成。第一削取部20的传感器层4长度方向另一端部与第一槽部17的传感器层4宽度方向一端部平滑地连
续连接。
[0030]在第三槽部19连接有形成在传感器层4宽度方向一端部的第二削取部21。第二削取部21是在传感器层4长度方向另一端部侧削去传感器层4宽度方向一端缘而形成。第二削取部21的传感器层4长度方向一端部与第三槽部19的传感器层4宽度方向一端部平滑地连续连接。
[0031]槽8形成在比槽7更靠近传感器层4宽度方向另一端部侧的位置。槽8具有：第一槽部22，从传感器层4长度方向一端部向传感器层4长度方向另一端部侧延伸；第二槽部23，从第一槽部22的传感器层4长度方向另一端部向传感器层4宽度方向一端部侧延伸；第三槽部24，从第二槽部23的传感器层4宽度方向一端部向传感器层4长度方向另一端部侧延伸；第四槽部25，随着从第三槽部24的传感器层4长度方向另一端部靠近传感器层4宽度方向另一端部侧而向传感器层4长度方向另一端部侧倾斜地延伸；第五槽部26，从第四槽部25的传感器层4宽度方向另一端部向传感器层4长度方向另一端部侧延伸；第六槽部27，随着从第五槽部26的传感器层4长度方向另一端部靠近传感器层4宽度方向一端部侧而向传感器层4长度方向另一端部侧倾斜地延伸；第七槽部28，从第六槽部27的传感器层4宽度方向一端部向传感器层4长度方向另一端部侧延伸；第八槽部29，从第七槽部28的传感器层4长度方向另一端部向传感器层4宽度方向另一端部侧延伸；及，第九槽部30，从第八槽部29的传感器层4宽度方向另一端部向传感器层4长度方向另一端部侧延伸。第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜传感器，具备：绝缘层，设置在被测体的表面；及，传感器层，层叠在前述绝缘层上且具有多个区域，所述多个区域是由利用激光照射沿着厚度方向贯穿所形成的槽划分而成；并且，前述多个区域之中的至少一个为传感器区域，所述传感器区域感测施加在前述被测体上的压力或前述被测体的温度，除此以外的区域为非传感器区域，...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本谦司，三原雄司，
申请(专利权)人：学校法人五岛育英会，
类型：发明
国别省市：