一种应用于洁净室的压差平衡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种应用于洁净室的压差平衡装置，包括一结构主体，所述结构主体包括洁净室及过渡室，所述洁净室及过渡室之间穿设有压差平衡组件；能够通过气压传感器实时检测洁净室及过渡室的气压，当两个气压传感器的参数不一致时，证明存在压差，与此同时利用推动杆推动挡板脱离套筒使得洁净室及过渡室连通，从而使得两端气压一致，同时可以通过第一抽气泵及第二抽气泵往过渡室中进行抽气或泵气，从而能够根据实际使用情况，调整过渡室中的气压。压。压。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于洁净室的压差平衡装置


[0001]本技术涉及洁净室设备领域，尤其涉及一种应用于洁净室的压差平衡装置。

技术介绍

[0002]洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间，由于精密机械工业、半导体工业等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展，目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍，随着社会的发展，对洁净室的应用愈加广泛。
[0003]现有的洁净室无法自动对室内的压差进行平衡，容易导致室内外压差较大，使洁净室与外界的空气在压差下相互流通，从而对洁净室造成污染，因此需要设置压差平衡装置，现有的压差平衡装置反应速度往往较低，在进行压差平衡的过程中均有足够时间给予洁净室与外界的空气流通造成污染。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术方案的不足,本技术提供一种应用于洁净室的压差平衡装置，能够解决
技术介绍
提出的问题。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种应用于洁净室的压差平衡装置，包括一结构主体，所述结构主体包括洁净室及过渡室，所述洁净室及过渡室之间穿设有压差平衡组件；
[0006]所述压差平衡组件包括一套筒及设于所述套筒内的挡板，所述挡板的一侧连接设有推动杆，所述推动杆远离所述挡板的一端设有驱动气缸，所述压差平衡组件还包括有与所述驱动气缸控制连接的控制器，所述洁净室及过渡室内均设有与所述控制器电性连接的气压传感器；
[0007]所述过渡室朝外设有进气管及出气管，所述进气管及出气管上分别设有与所述控制器电性连接的第一抽气泵及第二抽气泵，所述第一抽气泵及第二抽气泵的工作方向相反。
[0008]进一步的，所述进气管上设有过滤组件，所述过滤组件由机壳及设于所述机壳内部的多个滤网组成；
[0009]进一步的，所述进气管及出气管与所述过渡室的连接处均设有密封接口；
[0010]进一步的，所述挡板的外壁与所述套筒的内壁紧密接触且所述挡板的边缘处套有密封套。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术的一种应用于洁净室的压差平衡装置，能够通过气压传感器实时检测洁净室及过渡室的气压，当两个气压传感器的参数不一致时，证明存在压差，与此同时利用推动杆推动挡板脱离套筒使得洁净室及过渡室连通，从而使得两端气压一致，同时可以通过第一抽气泵及第二抽气泵往过渡室中进行抽气或泵气，从而能够根据实际使用情况，调整过渡室中的气压。
附图说明
[0012]图1为本技术整体结构示意图；
[0013]图2为本技术中压差平衡组件结构示意图。
[0014]图中标号：1
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套筒；2
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挡板；3
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推动杆；4
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驱动气缸；5
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控制器。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]下面结合图1
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2对本技术的一种应用于洁净室的压差平衡装置作详细的描述：一种应用于洁净室的压差平衡装置，包括一结构主体，所述结构主体包括洁净室及过渡室，所述洁净室及过渡室之间穿设有压差平衡组件；
[0017]所述压差平衡组件包括一套筒1及设于所述套筒1内的挡板2，所述挡板2的一侧连接设有推动杆3，所述推动杆3远离所述挡板2的一端设有驱动气缸4，所述压差平衡组件还包括有与所述驱动气缸4控制连接的控制器5，所述洁净室及过渡室内均设有与所述控制器5电性连接的气压传感器；
[0018]所述过渡室朝外设有进气管及出气管，所述进气管及出气管上分别设有与所述控制器5电性连接的第一抽气泵及第二抽气泵，所述第一抽气泵及第二抽气泵的工作方向相反。
[0019]优选地，所述进气管上设有过滤组件，所述过滤组件由机壳及设于所述机壳内部的多个滤网组成，将泵进过渡室的气体进行过滤，确保不会对洁净室造成污染；
[0020]优选地，所述进气管及出气管与所述过渡室的连接处均设有密封接口；
[0021]优选地，所述挡板2的外壁与所述套筒1的内壁紧密接触且所述挡板2的边缘处套有密封套。
[0022]工作原理：利用第一抽气泵及第二抽气泵对过渡室进行抽气及充气来调整过渡室中的气压，通过设置在过渡室及洁净室中的气压传感器实时获取过渡室及洁净室中的气压，当过渡室与洁净室存在压差时，两个气压传感器的气压数值不一致，随后将该信息反馈给控制器5，控制器5启动驱动气缸4使得推动杆3推动挡板2在套筒1中滑动，最终脱离套筒1，使得洁净室及过渡室连通，从而使得过渡室及洁净室之间的压差平衡。
[0023]综上所述，本技术的一种应用于洁净室的压差平衡装置，能够通过气压传感器实时检测洁净室及过渡室的气压，当两个气压传感器的参数不一致时，证明存在压差，与此同时利用推动杆推动挡板脱离套筒使得洁净室及过渡室连通，从而使得两端气压一致，同时可以通过第一抽气泵及第二抽气泵往过渡室中进行抽气或泵气，从而能够根据实际使用情况，调整过渡室中的气压。
[0024]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含
义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于洁净室的压差平衡装置，其特征在于，包括一结构主体，所述结构主体包括洁净室及过渡室，所述洁净室及过渡室之间穿设有压差平衡组件；所述压差平衡组件包括一套筒及设于所述套筒内的挡板，所述挡板的一侧连接设有推动杆，所述推动杆远离所述挡板的一端设有驱动气缸，所述压差平衡组件还包括有与所述驱动气缸控制连接的控制器，所述洁净室及过渡室内均设有与所述控制器电性连接的气压传...

【专利技术属性】
技术研发人员：王万权，王福坤，黄梓钦，肖翼，陈志新，
申请(专利权)人：东莞市扬帆净化技术有限公司，
类型：新型
国别省市：