液滴释放装置和液滴释放方法制造方法及图纸

本发明专利技术的液滴释放装置和液滴释放方法能够稳定地进行液滴的释放状态的检查。液滴释放装置包括输送机构、多个释放头、检查台、介质输送部和拍摄部。输送机构沿着输送方向输送工件。多个释放头对工件释放功能液的液滴。检查台吸附检查用介质，该检查用介质接收从多个释放头释放的检查用的液滴。介质输送部在与输送方向正交的方向上输送检查用介质。拍摄部拍摄被释放到检查用介质的液滴。检查台具有多个第一分割台和多个第二分割台。多个第一分割台沿着正交的方向彼此连结。多个第二分割台相对于多个第一分割台在输送方向上相邻地配置，且沿着正交的方向彼此连结，多个第二分割台的接缝位于与多个第一分割台的接缝在输送方向上不重叠的位置。重叠的位置。重叠的位置。

【技术实现步骤摘要】
液滴释放装置和液滴释放方法


[0001]本专利技术涉及液滴释放装置和液滴释放方法。

技术介绍

[0002]专利文献1中公开有一种液滴释放装置，其从释放头向检查膜释放功能液的液滴，利用检查摄像机对释放到检查膜的液滴进行拍摄，检查液滴的释放状态。另外，在专利文献2中公开有一种技术，其中吸附检查膜的检查台由彼此连结的多个分割台构成。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2013
‑
21026号公报
[0006]专利文献2：日本特开2007
‑
237125号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的技术问题
[0008]本专利技术提供一种能够稳定地进行液滴的释放状态的检查的技术。
[0009]用于解决技术问题的技术方案
[0010]本专利技术的一个方式的液滴释放装置包括输送机构、多个释放头、检查台、介质输送部和拍摄部。输送机构沿着输送方向输送工件。多个释放头对工件释放功能液的液滴。检查台吸附检查用介质，该检查用介质接收从多个释放头释放的检查用的液滴。介质输送部在与输送方向正交的方向上输送检查用介质。拍摄部拍摄被释放到检查用介质的液滴。检查台具有多个第一分割台和多个第二分割台。多个第一分割台沿着正交的方向彼此连结。多个第二分割台相对于多个第一分割台在输送方向上相邻地配置，且沿着正交的方向彼此连结，多个第二分割台的接缝位于与多个第一分割台的接缝在输送方向上不重叠的位置。r/>[0011]专利技术效果
[0012]依照本专利技术，起到能够稳定地进行液滴的释放状态的检查的效果。
附图说明
[0013]图1是表示实施方式的液滴释放装置的概略结构的左侧视图。
[0014]图2是表示实施方式的液滴释放装置的概略结构的俯视图。
[0015]图3是表示实施方式的喷头的配置的一个例子的图。
[0016]图4是表示从X轴正方向观察实施方式的检查机构的一部分的概略结构的图。
[0017]图5是表示从上侧观察图4的检查机构的概略结构的俯视图。
[0018]图6是表示实施方式的滑动件从待机位置移动到第一释放位置的状态的概略图。
[0019]图7是表示第一释放位置处的多个第一分割台和多个第二分割台、与第一喷头组和第二喷头组的位置关系的一个例子的图。
[0020]图8是表示实施方式的滑动件从第一释放位置移动到第二释放位置的状态的概略
图。
[0021]图9是表示实施方式的滑动件从第二释放位置移动到拍摄位置的状态的概略图。
[0022]图10是表示实施方式的滑动件从拍摄位置移动到待机位置的状态的概略图。
[0023]附图标记说明
[0024]1液滴释放装置
[0025]4基片输送机构
[0026]7检查机构
[0027]8控制装置
[0028]63喷头
[0029]63a第一喷头组
[0030]63b第二喷头组
[0031]71检查台
[0032]71a第一分割台
[0033]71b第二分割台
[0034]77检查膜
[0035]631第一喷头
[0036]632第二喷头
[0037]711、712接缝
[0038]W基片。
具体实施方式
[0039]以下，参照附图，对本申请公开的液滴释放装置和液滴释放方法的实施方式详细地进行说明。此外，公开的液滴释放装置和液滴释放方法不限定于以下给出的实施方式。
[0040]检查膜在被吸附于检查台的状态下接收从释放头释放的功能液的液滴。在检查台由彼此连结的多个分割台构成的构造中，存在从释放头释放的功能液的液滴着落在检查膜中的、与构成检查台的多个分割台的接缝对应的部分的情况。当功能液的液滴着落在检查膜中的与多个分割台的接缝对应的部分时，着落后的液滴的形状杂乱，因此检查摄像机中的功能液的液滴的拍摄结果的精度降低。其结果是，难以稳定地检查液滴的释放状态。
[0041]在近年来的液滴释放装置中，释放头趋于高密度地配置。在释放头趋于高密度地配置的情况下，从释放头释放的功能液的液滴着落在检查膜中的与多个分割台的接缝对应的部分的可能性变高，因此，液滴的释放状态的检查的稳定性有可能更加降低。因此，即使在释放头趋于高密度地配置的情况下，人们希望能够稳定地进行液滴的释放状态的检查。
[0042]在以下参照的各附图中，为了使说明容易理解，规定了彼此正交X轴方向、Y轴方向和Z轴方向，表示了以Z轴正方向为铅垂向上的方向的直角坐标系。
[0043]X轴方向是作为工件的基片W被输送的输送方向。Y轴方向是与输送方向正交的方向。Z轴方向是与铅垂方向平行的方向。
[0044]另外，在此，规定了以X轴正方向为前方，以X轴负方向为后方的前后方向，并且规定了以Y轴正方向为右方，以Y轴负方向为左方的左右方向。另外，规定了以Z轴正方向为上方，以Z轴负方向为下方的上下方向。Z轴负方向为铅垂方向。
[0045]参照图1和图2，对实施方式的液滴释放装置1进行说明。图1是表示实施方式的液滴释放装置1的概略结构的左侧视图。图2是表示实施方式的液滴释放装置1的概略结构的俯视图。
[0046]液滴释放装置1是一边沿着输送方向输送基片W，一边通过喷墨方式在基片W进行描绘的描绘装置。基片W例如是用于平板显示器的基片W。
[0047]液滴释放装置1收纳在腔室空间100中。对腔室空间100供给非活性气体(例如氮气)。液滴释放装置1在非活性气体气氛中将功能液释放到基片W，在基片W进行描绘。此外，液滴释放装置1也可以是没有收纳在腔室空间100中的装置。
[0048]在功能液中，除了墨以外，还包含形成空穴注入层(HIL：Hole Injection Layer)、空穴输送层(HTL：Hole Transport Layer)等的液。
[0049]在腔室空间100附设有收纳控制装置8等的电气室101。此外，在腔室空间100设置有更换室102，其用于更换贮存功能液的未图示的功能液罐。
[0050]液滴释放装置1包括架台2、第一导轨3、基片输送机构4(输送机构的一个例子)、第二导轨5、描绘机构6、检查机构7和控制装置8。
[0051]架台2以沿着基片W的输送方向延伸的方式形成。即，架台2以沿着前后方向延伸的方式形成。
[0052]第一导轨3配置在架台2的上表面。第一导轨3在左右方向上排列地配置一对。各第一导轨3以沿着前后方向延伸的方式形成。
[0053]基片输送机构4包括工件台40、台旋转部41和滑动件42。基片输送机构4沿着输送方向(前后方向)输送基片W(工件)。
[0054]工件台40例如为真空吸附台，能够吸附基片W。台旋转部41设置在工件台40的下方，以与上下方向平行的轴为中心使工件台40转动。即，工件台40以与上下方向平行的轴为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液滴释放装置，其特征在于，包括：沿着输送方向输送工件的输送机构；对所述工件释放功能液的液滴的多个释放头；吸附检查用介质的检查台，其中，所述检查用介质接收从所述多个释放头释放的检查用的所述液滴；在与所述输送方向正交的方向上输送所述检查用介质的介质输送部；和拍摄被释放到所述检查用介质的所述液滴的拍摄部，所述检查台包括：沿着所述正交的方向彼此连结的多个第一分割台；和多个第二分割台，其相对于所述多个第一分割台在所述输送方向上相邻地配置，且沿着所述正交的方向彼此连结，所述多个第二分割台的接缝位于与所述多个第一分割台的接缝在所述输送方向上不重叠的位置。2.如权利要求1所述的液滴释放装置，其特征在于：所述多个释放头包括：第一释放头组，其通过将释放所述液滴的第一释放头在所述正交的方向上排列多个而形成；和第二释放头组，其通过在相对于所述第一释放头组在所述输送方向上相邻的位置将释放所述液滴的第二释放头在所述正交的方向上排列多个而形成，各所述第二释放头位于与所述第一释放头组的各所述第一释放头在所述输送方向上不重叠的位置。3.如权利要求2所述的液滴释放装置，其特征在于：所述检查台能够移动到所述检查用介质位于所述第一释放头组和所述第二释放头组的下方的释放位置，在所述检查台位于所述释放位置的情况下，所述多个第一分割台的接缝位于与所述第一释放头组的相邻的2个所述第一释放头之间的间隙对应的位置，在所述检查台位于所述释放位置的情况下，所述多个第二分割台的接缝位于与所述第二释放头组的相邻的2个所述第二释放头之间的间隙对应的位置。4.如权利要求2或3所述的液滴释放装置，其特征在于：还包括控制部，其执行以下处理：对所述检查用介质的被吸附于所述多个第一分割台的部分，从所述第一释放头组的各所述第一释放头释放所述液滴的处理；和对所述检查用介质的被吸附于所述多个第二分割台的...

【专利技术属性】
技术研发人员：三根阳介，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：