用于引导载体的磁性引导件、用于运输载体的运输系统以及基板处理系统技术方案

本公开内容的一方面提供了一种用于引导载体的磁性引导件。所述磁性引导件包括：外壳，所述外壳具有第一部分和与所述第一部分相对地布置的第二部分；布置在所述第一部分的表面上至少一个第一引导磁体；以及布置在所述第二部分的表面上的至少一个第二引导磁体，其中所述至少一个第一引导磁体延伸超过所述第一部分的第一端，所述第一端包括磁性材料，并且所述至少一个第二引导磁体延伸超过所述第二部分的第二端，所述第二端包括磁性材料。本公开内容的其他方面提供了一种具有所述磁性引导件的用于运输载体的运输系统以及一种基板处理系统。理系统。理系统。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于引导载体的磁性引导件、用于运输载体的运输系统以及基板处理系统


[0001]本公开内容的实施方式涉及用于在运输系统中引导载体、特别是用于承载大面积基板的载体的设备。更具体地，本公开内容的实施方式涉及用于特别是在真空腔室中运输载体的运输系统和包括所述运输系统的基板处理系统。

技术介绍

[0002]用于在基板上的层沉积的技术包括例如溅射沉积、诸如热蒸发或溅射的物理气象沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。经涂覆基板可用于若干应用和若干
中。例如，经涂覆基板可用于显示装置的领域中。显示装置可用于制造用于显示信息的电视机屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置等。典型地，通过用不同材料的层的堆叠涂覆基板来生产显示器。
[0003]基板典型地在可包括多个沉积源和其他基板处理设备的处理系统(例如，真空沉积系统)中被涂覆。基板典型地沿运输系统被运输通过处理系统，例如从第一沉积源运输到第二沉积源和运输到其他基板处理设备。基板可以实质上竖直的取向被运输通过处理系统。
[0004]基板典型地由载体(即用于承载基板的承载装置)承载。典型地使用运输系统将载体运输通过处理系统。运输系统可以是辊系统，其中载体的重量由多个辊保持，或者是磁悬浮系统，其中载体的重量由磁力保持。运输系统可被配置为沿着输送承载基板的载体。
[0005]在运输系统上运输载体时，跨过运输系统中的间隙是有挑战性的。例如，运输系统可能需要运输载体通过装载锁定腔室或通过将处理腔室与处理系统的其他区域分开的门。在这些点处，在运输系统中提供了间隙，并且载体在被运输时跨过该间隙。然而，在载体与引导载体的磁性引导件之间的磁吸引力可能导致在载体与磁性引导件的一端之间发生碰撞。
[0006]因此，提供一种克服了现有技术的至少一些问题的用于引导载体穿过运输系统中的间隙的改善的磁性引导件将是有益的。具体地，提供一种用于运输承载大面积基板的载体的运输系统的磁性引导件将是有益的。

技术实现思路

[0007]鉴于以上内容，提供了一种用于引导载体的磁性引导件、一种用于运输载体的运输系统以及一种处理系统。另外的方面、优点和特征从从属权利要求、描述和附图中显而易见。
[0008]根据本公开内容的一方面，提供了一种用于引导载体的磁性引导件。所述磁性引导件包括：外壳，所述外壳包括第一部分和在横向方向上与所述第一部分相对地布置的第二部分，所述第一部分和所述第二部分在作为运输方向的第一方向上延伸；至少一个第一引导磁体，所述至少一个第一引导磁体布置在所述第一部分的表面上；以及至少一个第二
引导磁体，所述至少一个第二引导磁体布置在所述第二部分的表面上，其中所述至少一个第一引导磁体在与所述运输方向相反的第二方向上延伸超过所述第一部分的第一端，所述第一端包括磁性材料，并且所述至少一个第二引导磁体在与所述运输方向相反的第二方向上延伸超过所述第二部分的第二端，所述第二端包括磁性材料。
[0009]在一些实施方式中，所述载体在实质上竖直的取向上被取向。
[0010]在一些实施方式中，所述至少一个第一引导磁体和所述至少一个第二引导磁体在所述第二方向上延伸超过相应的所述第一部分的所述第一端和所述第二部分的所述第二端至少5mm。
[0011]根据本另一方面，提供了一种用于引导载体的磁性引导件。所述磁性引导件包括：外壳，所述外壳包括第一部分和在横向方向上与所述第一部分相对地布置的第二部分，所述第一部分和所述第二部分在作为运输方向的第一方向上延伸；至少一个第一引导磁体，所述至少一个第一引导磁体布置在所述第一部分的表面上；以及至少一个第二引导磁体，所述至少一个第二引导磁体布置在所述第二部分的表面上，其中所述至少一个第一引导磁体和所述至少一个第二引导磁体被布置为屏蔽所述载体朝向所述外壳的磁吸引力。
[0012]在一些实施方式中，所述载体包括至少一个载体引导磁体，所述至少一个载体引导磁体被布置为在所述至少一个第一引导磁体与所述至少一个第二引导磁体之间被引导。
[0013]在另一方面的一些实施方式中，所述至少一个第一引导磁体包括两个第一引导磁体，所述至少一个第二引导磁体包括两个第二引导磁体，所述两个第一引导磁体在垂直于所述运输方向的第三方向上彼此偏移，并且所述两个第二引导磁体在垂直于所述运输方向的所述第三方向上彼此偏移。
[0014]在一些实施方式中，所述至少一个载体引导磁体被布置为在所述两个第一引导磁体之间的在所述第三方向上的某个点处和在所述两个第二引导磁体之间的在所述第三方向上的某个点处被引导。
[0015]根据本公开内容的又一方面，提供了一种用于运输载体的运输系统。所述运输系统包括：在运输方向上延伸的运输装置，所述运输装置被配置为抵抗重力支撑所述载体并且在所述运输方向上移动所述载体；以及根据以上方面的磁性引导件。
[0016]在一些实施方式中，所述磁性引导件是由上引导件和下引导件所组成的群组中的至少一者。
[0017]在一些实施方式中，所述运输系统被配置为在真空中操作。
[0018]在一些实施方式中，所述运输系统包括多个主动磁性轴承，所述多个主动磁性轴承被配置为通过磁悬浮来支撑和移动所述载体。
[0019]在一些实施方式中，所述运输系统包括多个辊。
[0020]根据本公开内容的又一方面，提供了一种基板处理系统，所述基板处理系统包括：至少一个处理腔室；以及根据以上方面的运输系统。
[0021]所述磁性引导件被配置为引导载体，使得避免所述载体与所述外壳之间的碰撞。特别地，所述磁性引导件被配置为避免所述载体与所述外壳之间的磁吸引力导致所述载体与所述外壳碰撞。
附图说明
[0022]为了可详细地理解本公开内容的上述特征，可参考实施方式来得到以上简要地概述的本公开内容的更特别的描述。附图涉及本公开内容的实施方式并且描述如下：
[0023]图1是现有磁性引导件的示意性底部视图；
[0024]图2示出了根据本文描述的实施方式的磁性引导件的示意性底部视图；
[0025]图3A和图3B示出了根据本文描述的实施方式的图2的磁性引导件的示意性端部视图；并且
[0026]图4示出了根据本文描述的实施方式的运输系统的示意性侧视图。
具体实施方式
[0027]现将详细地参考本公开内容的各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例例示于各图中。在以下对附图的描述内，相同的附图标记是指相同的部件。仅描述了相对于单独实施方式的差异。每个示例以解释本公开内容的方式提供，并且不意在作为本公开内容的限制。另外，被例示或描述为一个实施方式的部分的特征可在其他实施方式上或结合其他实施方式使用，以产生又一个实施方式。说明书旨在包括此类修改和变化。
[0028]处理系统可包括至少一个处理腔室和用于在其间运输载体的运输系统。例如，处理系统可包括至少两个腔室，该至少两个腔室可包括沉积腔室、装载锁定腔室、传送腔室或存储腔室等中的至少一者，并且腔室中的至少一者可包含真空。相邻腔室可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于引导载体(30)的磁性引导件(200)，其特征在于，所述磁性引导件(200)包括：外壳(10)，所述外壳包括第一部分(11)和在横向方向(4)上与所述第一部分(11)相对地布置的第二部分(12)，所述第一部分(11)和所述第二部分(12)在作为运输方向(T)的第一方向(1)上延伸；至少一个第一引导磁体(21)，所述至少一个第一引导磁体布置在所述第一部分(11)的表面上；以及至少一个第二引导磁体(22)，所述至少一个第二引导磁体布置在所述第二部分(12)的表面上；其中所述至少一个第一引导磁体(21)在与所述运输方向(T)相反的第二方向(2)上延伸超过所述第一部分(11)的第一端(11a)，所述第一端(11a)包括磁性材料，并且所述至少一个第二引导磁体(22)在与所述运输方向(T)相反的所述第二方向(2)上延伸超过所述第二部分(12)的第二端(12a)，所述第二端(12a)包括磁性材料。2.根据权利要求1所述的磁性引导件(200)，其中所述载体(30)在实质上竖直的取向上被取向。3.根据权利要求1所述的磁性引导件(200)，其中所述至少一个第一引导磁体(21)和所述至少一个第二引导磁体(22)在所述第二方向(2)上延伸超过相应的所述第一部分(11)的所述第一端(11a)和所述第二部分(12)的所述第二端(12a)至少5mm。4.根据权利要求3所述的磁性引导件(200)，其中所述载体(30)在实质上竖直的取向上被取向。5.根据权利要求1所述的磁性引导件(200)，其中所述载体(30)包括至少一个载体引导磁体(31)，所述至少一个载体引导磁体被布置为在所述至少一个第一引导磁体(21)与所述至少一个第二引导磁体(22)之间被引导。6.根据权利要求5所述的磁性引导件(200)，其中所述至少一个第一引导磁体(21)包括两个第一引导磁体(21a、21b)，并且其中所述至少一个第二引导磁体(22)包括两个第二引导磁体(22a、22b)，并且其中所述两个第一引导磁体(21a、21b)在垂直于所述运输方向(T)的第三方向(3)上彼此偏移；并且所述两个第二引导磁体(22a、22b)在垂直于所述运输方向(T)的所述第三方向(3)上彼此偏移。7.根据权利要求6所述的磁性引导件(200)，其中所述至少一个载体引导磁体(31)被布置为在所述两个第一引导磁体(21a、21b)之间的在所述第三方向(3)上的某个点处和在所述两个第二引导磁体(22a、22b)之间的在所述第三方向(3)上的某个点处被引导。8.根据权利要求3所述的磁性引导件(200)，其中所述载体(30)包括至少一个载体引导磁体(31)，所述至少一个载体引导磁体被布置为在所述至少一个第一引导磁体(21)与所述至少一个第二引导磁体(22)之间被引导。9.根据权利要求8所述的磁性引导件(20...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥利弗，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：新型
国别省市：