一种研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种研磨装置，包括：安装台、安装架、伸缩缸、打磨机构和真空吸附机构；还包括：陶瓷放置盘，所述陶瓷放置盘安装于所述安装台上且位于的打磨机构的打磨盘下侧，所述陶瓷放置盘的上开设有吸附孔，所述陶瓷放置盘的顶部开设有条形槽，所述条形槽的内部设置有清扫刷；高度调节机构，所述高度调节机构包括电机、螺纹轴、螺帽和限位杆，所述电机安装于所述安装台上，所述螺纹轴通过联轴器固定于所述电机输出轴的一端。本实用新型专利技术提供的研磨装置，通过在陶瓷放置盘上嵌设清扫刷，并通过高度调节机构调节清扫刷的高度，使其移出陶瓷放置盘并与打磨盘接触，配合打磨盘转动对打磨盘底部的碎屑进行清理，减少碎片的发生。减少碎片的发生。减少碎片的发生。

【技术实现步骤摘要】
一种研磨装置


[0001]本技术涉及芯片研磨领域，尤其涉及一种研磨装置。

技术介绍

[0002]近年来，为了满足人们对信息传递的要求，光通信网络逐步向高速、全光网方向发展。半导体光电探测器作为光通信网络中重要的接收器件，其性能影响整个光通信网络的运转。
[0003]在制作光电探测器分为光电二级管(PIN)以及雪崩光电二极管(APD)过程中为了得到最终的单颗芯片，磷化铟晶圆片生产过程中需要进行研磨到一定厚度用于切割成单颗芯片。
[0004]现有的研磨设备在研磨的过程中，产生的研磨碎屑颗粒容易在研磨盘上累积的太多，易造成破片。
[0005]因此，有必要提供一种研磨装置解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种研磨装置，解决了现有的研磨设备在研磨的过程中，产生的研磨碎屑颗粒容易在研磨盘上累积的太多，易造成破片的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供的研磨装置，包括：安装台、安装架、伸缩缸、打磨机构和真空吸附机构；还包括：
[0008]陶瓷放置盘，所述陶瓷放置盘安装于所述安装台上且位于的打磨机构的打磨盘下侧，所述陶瓷放置盘的上开设有吸附孔，所述陶瓷放置盘的顶部开设有条形槽，所述条形槽的内部设置有清扫刷；
[0009]高度调节机构，所述高度调节机构包括电机、螺纹轴、螺帽和限位杆，所述电机安装于所述安装台上，所述螺纹轴通过联轴器固定于所述电机输出轴的一端，所述螺帽螺纹连接于所述螺纹轴的表面，所述螺帽的一侧固定连接有限位杆，所述限位杆的一端贯穿安装台；
[0010]所述清扫刷的一端与所述安装台固定连接。
[0011]优选的，所述安装台上开设有通孔，所述限位杆的一端通过通孔贯穿安装台。
[0012]优选的，所述螺帽的两侧均设置有水平面。
[0013]优选的，所述清扫刷包括刷柄和刷毛，所述刷柄的上下两侧均设置有刷毛。
[0014]优选的，所述限位杆的底端设置有伸缩件，所述伸缩件包括安装筒、弹性件和伸缩块，所述安装筒的内部滑动设置有活塞块，所述弹性件设置于所述安装筒的内部且位于活塞块的上侧，所述伸缩块固定于所述活塞块的底部，所述伸缩块的一端贯穿安装筒且延伸至安装筒的外部。
[0015]优选的，所述伸缩块的一侧设置为弧形面。
[0016]优选的，所述弹性件为弹簧。
[0017]优选的，所述条形槽的槽腔长度值大于陶瓷放置盘的半径。
[0018]与相关技术相比较，本技术提供的研磨装置具有如下有益效果：
[0019]本技术提供一种研磨装置，通过在陶瓷放置盘上嵌设清扫刷，并通过高度调节机构调节清扫刷的高度，使其移出陶瓷放置盘并与打磨盘接触，配合打磨盘转动对打磨盘底部的碎屑进行清理，减少碎片的发生。
附图说明
[0020]图1为本技术提供的研磨装置的第一实施例的结构示意图；
[0021]图2为图1所示的局部的结构示意图；
[0022]图3为图2所示的仰视图；
[0023]图4为图2所示的A部放大示意图；
[0024]图5为本技术提供的研磨装置的第二实施例的结构示意图；
[0025]图6为图5所示的清扫刷的结构示意图；
[0026]图7为图5所示的高度调节机构的结构示意图；
[0027]图8为图7所示的伸缩块的侧视图。
[0028]图中标号：
[0029]1、安装台，
[0030]2、安装架，
[0031]3、伸缩缸，
[0032]4、打磨机构，
[0033]5、陶瓷放置盘，51、吸附孔，52、条形槽，
[0034]6、高度调节机构，61、电机，62、螺纹轴，63、螺帽，64、限位杆，65、水平面，
[0035]7、真空吸附机构，
[0036]8、清扫刷，
[0037]9、通孔，
[0038]10、伸缩件，101、安装筒，102、弹性件，103、伸缩块，
[0039]81、刷柄，82、刷毛。
具体实施方式
[0040]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0041]第一实施例
[0042]请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本技术提供的研磨装置的第一实施例的结构示意图；
[0043]图2为图1所示的局部的结构示意图；
[0044]图3为图2所示的仰视图；
[0045]图4为图2所示的A部放大示意图。研磨装置，包括：安装台1、安装架2、伸缩缸3、打磨机构4和真空吸附机构7；还包括：
[0046]陶瓷放置盘5，所述陶瓷放置盘5安装于所述安装台1上且位于的打磨机构4的打磨盘下侧，所述陶瓷放置盘5的上开设有吸附孔51，所述陶瓷放置盘5的顶部开设有条形槽52，
所述条形槽52的内部设置有清扫刷8；
[0047]高度调节机构6，所述高度调节机构6包括电机61、螺纹轴62、螺帽63和限位杆64，所述电机61安装于所述安装台1上，所述螺纹轴62通过联轴器固定于所述电机61输出轴的一端，所述螺帽63螺纹连接于所述螺纹轴62的表面，所述螺帽63的一侧固定连接有限位杆64，所述限位杆64的一端贯穿安装台1；
[0048]所述清扫刷8的一端与所述安装台1固定连接。
[0049]条形槽52的长度微小于陶瓷放置盘5的半径。
[0050]其中优选设置时钟控制器，对电机61进行定时控制，从而可以定时对打磨机构的打磨盘进行清理；
[0051]且电机61带动螺帽63上下移动的行程优选通过程序控制，也可以配合光电开关进行控制。
[0052]所述安装台1上开设有通孔9，所述限位杆64的一端通过通孔9贯穿安装台1。
[0053]通过设置限位杆64配合通孔9可以对螺帽63的轴向限位，使螺帽63只能沿螺纹轴62上下移动。
[0054]所述螺帽63的两侧均设置有水平面65。
[0055]通过将螺帽63两侧设置为水平面65，便于螺帽63与限位杆64和清扫刷8连接；
[0056]其中安装架2设置在安装台1上，伸缩缸3固定安装在安装架2上，且打磨机构4包括固定架，驱动电机，打磨盘，固定架安装在伸缩缸3的输出轴底端，驱动电机安装在固定架上，打磨盘设置在驱动电机的输出轴上，伸缩缸3可以气缸、伸缩缸或者电动伸缩缸。
[0057]真空吸附机构7包括真空泵、连接管和连接罩，连接罩密封安装在陶瓷放置盘5的底部，连接管的一端与连接罩连接，另一端与真空泵的输入端连接，且连接管上设置有真空阀，通过真空吸附机构7可以对待打磨的芯片进行吸附限位。
[0058]本技术提供的研磨装置的工作原理如下：
[0059]其中在打磨过程中，可以定时通过高度调节机构6调节清扫刷8的高度，使其移出条形槽52，且通过伸缩缸3上调打磨机构4的高度，使打磨盘与陶瓷放置盘5分离；
[0060]其中电机6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种研磨装置，包括：安装台、安装架、伸缩缸、打磨机构和真空吸附机构；其特征在于，还包括：陶瓷放置盘，所述陶瓷放置盘安装于所述安装台上且位于的打磨机构的打磨盘下侧，所述陶瓷放置盘的上开设有吸附孔，所述陶瓷放置盘的顶部开设有条形槽，所述条形槽的内部设置有清扫刷；高度调节机构，所述高度调节机构包括电机、螺纹轴、螺帽和限位杆，所述电机安装于所述安装台上，所述螺纹轴通过联轴器固定于所述电机输出轴的一端，所述螺帽螺纹连接于所述螺纹轴的表面，所述螺帽的一侧固定连接有限位杆，所述限位杆的一端贯穿安装台；所述清扫刷的一端与所述安装台固定连接。2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述安装台上开设有通孔，所述限位杆的一端通过通孔贯穿安装台。3.根据权利要求1所述的研磨装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁超，万远涛，谢建平，
申请(专利权)人：浙江光特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：