数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备技术

本发明专利技术实施例提供了数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备，应用于半导体装备技术领域，该数据上传方法包括：对预先确定的半导体工艺设备的多个监测目标进行监测；在与上位机通信故障时，存储监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与上位机通信恢复正常后，向上位机广播发送历史监测信息；在向上位机广播发送历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向上位机发送当前监测信息；在与上位机之间通信正常时，按预设的时间间隔，向上位机发送当前监测信息。上述方案在避免监测信息中断的同时，可以避免在发送监测信息的过程中，等待上位机发送的反馈信息，从而可以提高通信效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备


[0001]本专利技术涉及半导体装备
，特别是涉及数据上传方法、数据接收方法和半导体工艺设备。

技术介绍

[0002]在半导体工艺设备中，下位机可以控制半导体工艺设备中的各个模块动作，完成对晶圆(wafer)的加工处理。下位机与上位机通信连接，上位机可以从下位机获取半导体工艺设备的各项监测信息，对半导体工艺设备进行监控和管理。现有技术中，下位机与上位机通信时，通信效率较低。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例所要解决的技术问题是半导体工艺设备中的下位机与上位机之间通信效率较低的问题。
[0004]为了解决上述问题，本专利技术实施例公开了一种数据上传方法，应用于半导体工艺设备中的下位机，所述下位机与所述半导体工艺设备中的上位机通信连接；所述方法包括：
[0005]对预先确定的所述半导体工艺设备的多个监测目标进行监测；
[0006]在与所述上位机之间通信故障的情况下，存储监测到的所述监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与所述上位机之间通信恢复正常后，向所述上位机广播发送所述历史监测信息；在向所述上位机广播发送所述历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息；
[0007]在与所述上位机之间通信正常的情况下，按所述时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息。
[0008]可选地，所述存储监测到的所述监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息，包括：根据所述多个监测目标的优先级，存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息。
[0009]可选地，所述存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息，包括：在监测到目标级别的所述监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息。
[0010]可选地，所述向所述上位机广播发送所述当前监测信息，包括：在所述监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，向所述上位机广播发送所述监测目标的当前监测信息。
[0011]可选地，向所述上位机广播发送所述历史监测信息的步骤，包括：在所述历史监测信息包括多个的情况下，将多个所述历史监测信息打包为数据包，并向所述上位机广播发送所述数据包。
[0012]本专利技术实施例还公开了一种数据接收方法，应用于半导体工艺设备中的上位机，所述上位机与所述半导体工艺设备中的下位机通信连接；所述方法包括：
[0013]接收所述下位机发送的所述半导体工艺设备的多个监测目标的监测信息；
[0014]其中，所述监测目标的监测信息包括所述监测目标的历史监测信息和/或所述监测目标的当前监测信息；所述监测目标的历史监测信息由所述下位机在与所述上位机之间通信故障时监测并存储，在与所述上位机之间通信恢复正常后广播发送；所述监测目标的当前监测信息由所述上位机在与所述上位机之间通信正常时监测，并按预设的时间间隔广播发送。
[0015]可选地，所述多个监测目标中包括所述半导体工艺设备的一个或多个设备状态，所述方法还包括：
[0016]在所述上位机的使用率大于第一预设阈值的情况下，针对同一个所述设备状态，从所述设备状态的连续多个监测信息中，间隔选择部分监测信息进行处理；
[0017]在所述上位机的使用率大于第二预设阈值的情况下，丢弃所述设备状态的监测信息；所述第二预设阈值大于所述第一预设阈值。
[0018]可选地，所述多个监测目标中包括所述半导体工艺设备的一个或多个工艺控制数据，所述方法还包括：
[0019]在所述上位机的使用率大于第三预设阈值的情况下，按预设规则，从所述工艺控制数据的监测信息中保存与工艺处理结果相关的目标工艺控制数据的监测信息，并丢弃除所述目标工艺控制数据之外的其它所述工艺控制数据的监测信息。
[0020]本专利技术实施例还公开了一种半导体工艺设备，所述半导体工艺设备包括上位机和/或下位机，所述下位机被配置为执行如上所述的数据上传方法，所述上位机被配置为执行如上所述的数据接收方法。
[0021]与
技术介绍
相比，本专利技术包括以下优点：下位机对预先确定的半导体工艺设备的多个监测目标进行监测，在与上位机之间通信故障的情况下，存储监测到的监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与上位机之间通信恢复正常后，向上位机广播发送历史监测信息，在向上位机广播发送历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向上位机广播发送当前监测信息；在与上位机之间通信正常的情况下，则按时间间隔，向上位机广播发送当前监测信息。在通信故障时保存监测信息，在通信正常时发送保存的监测信息，并按预设的时间间隔向上位机发送当前获取的监测信息，在避免监测信息中断的同时，可以避免在发送监测信息的过程中，等待上位机发送的反馈信息，从而可以提高通信效率。
附图说明
[0022]图1示出了在先技术中的一种数据上传过程的示意图；
[0023]图2示出了本实施例提供的一种数据上传方法的步骤流程图；
[0024]图3示出了本实施例提供的一种上位机与下位机之间的通信流程图。
具体实施方式
[0025]为了便于理解本专利技术，首先对在先技术中下位机与上位机之间的通信过程进行简要介绍。
[0026]如图1所示，图1示出了在先技术中的一种数据上传过程的示意图，半导体工艺设备中的下位机与上位机通信连接，在下位机与上位机之间建立通信连接之后，上位机向下
位机发送订阅请求。下位机可以接收订阅请求，订阅请求中可以包括多个监测目标的标识信息，下位机可以根据监测目标的标识信息，确定需要监测的监测目标，获取监测目标的监测信息，并向上位机发送监测目标的监测信息。
[0027]其中，监测目标可以是半导体工艺设备的设备状态，或者半导体工艺设备的作业(job)状态，或者半导体工艺设备的工艺控制数据。半导体工艺设备例如刻蚀机，刻蚀机中设置有工艺腔室，工艺腔室上设置有阀门，设备状态可以是腔室门的开关状态和阀门的开关状态；作业状态可以是下位机在接收到上位机发送的控制任务之后，控制任务的执行结果；工艺控制数据例如先进工艺控制(Advanced process control，APC)过程的相关信息，可以包括对晶圆进行工艺处理时的各项工艺控制参数。监测目标的具体类型可以根据需求设置，本实施例对此不做限制。
[0028]以设备状态为例，订阅请求中可以包括阀门的标识信息。下位机在接收到订阅请求之后，若确定订阅请求中包括某个阀门的标识信息，则确定需要监测的监测目标中包括该阀门的开关状态。此时，下位机可以对该阀门的开关状态进行监测，得到对应的监测信息，监测信息指示阀门处于打开状态或关闭状态。在监测获取到阀门的监测信息之后，可以向上位机发送监测信息。通常情况下，监测目标包括多个，下位机可以监测得到多个监测目标的监测信息。在监测信息的发送过程中，下位机首先建立发送队列，在监测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种数据上传方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备中的下位机，所述下位机与所述半导体工艺设备中的上位机通信连接；所述方法包括：对预先确定的所述半导体工艺设备的多个监测目标进行监测；在与所述上位机之间通信故障的情况下，存储监测到的所述监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息；在与所述上位机之间通信恢复正常后，向所述上位机广播发送所述历史监测信息；在向所述上位机广播发送所述历史监测信息之后，按预设的时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息；在与所述上位机之间通信正常的情况下，按所述时间间隔，向所述上位机广播发送所述当前监测信息。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述存储监测到的所述监测目标的当前监测信息，得到历史监测信息，包括：根据所述多个监测目标的优先级，存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息，包括：在监测到目标级别的所述监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，存储目标级别的所述监测目标的当前监测信息，得到目标级别的所述监测目标的历史监测信息。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述向所述上位机广播发送所述当前监测信息，包括：在所述监测目标的当前监测信息发生变化的情况下，向所述上位机广播发送所述监测目标的当前监测信息。5.根据权利要求1
‑
4中任一项所述的方法，其特征在于，向所述上位机广播发送所述历史监测信息的步骤，包括：在所述历史监测信息包括多个的情况下，将多个所述历史监测信息打包为数据包，并向所述上位机广播发送所述数据包。6.一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆涛，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：