转印薄膜、层叠体的制造方法技术

本发明专利技术提供一种临时支承体的卷取性优异并且在从临时支承体侧对感光性组合物层进行图案曝光时的分辨率优异的转印薄膜以及使用所述转印薄膜的层叠体的制造方法。本发明专利技术的转印薄膜具有临时支承体和配置于临时支承体上的感光性组合物层，临时支承体的雾度小于30％，临时支承体的所述感光性组合物层侧的表面的偏度Rsk超过0.40。面的偏度Rsk超过0.40。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】转印薄膜、层叠体的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种转印薄膜及层叠体的制造方法。

技术介绍

[0002]由于用于获得规定图案的工序数少，因此广泛使用在经由掩模对使用转印薄膜设置于任意的基板上的感光性组合物层进行曝光之后进行显影的方法。
[0003]例如，专利文献1中公开了在支承层和感光层(感光性组合物层)之间具有缓冲层的转印薄膜(感光性膜)。
[0004]以往技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本专利4479450号公报

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的技术课题
[0008]另一方面，本专利技术人等对专利文献1中记载的转印薄膜的特性进行研究时，发现将转印薄膜中的感光性组合物层通过卷对卷方式贴合在基板上之后，剥离由支承层和缓冲层构成的临时支承体，卷取回收临时支承体时，卷取有问题。具体而言，当卷取临时支承体时，会产生褶皱或方形缠绕变形，临时支承体不能被稳定地卷取。如果不能稳定地卷取这样的临时支承体，则不能以卷对卷方式连续输送基板和转印薄膜。以下，将能够从转印薄膜剥离的临时支承体良好地卷取这一点称为临时支承体的卷取性优异。
[0009]另外，上述“方形缠绕变形”是指卷取表面不具有圆形横截面的优美曲率，在某些地方可以看到角度变形点。
[0010]并且，在使用转印薄膜形成图案时，通常将转印薄膜贴合在被转印体上，从临时支承体侧对感光性组合物层进行图案曝光。即使在这种方式中，也要求所形成的图案的分辨率优异。
[0011]鉴于上述情况，本专利技术的课题在于提供一种临时支承体的卷取性优异并且在从临时支承体侧对感光性组合物层进行图案曝光时的分辨率优异的转印薄膜。
[0012]并且，本专利技术的课题也在于提供一种使用上述转印薄膜的层叠体的制造方法。
[0013]用于解决技术课题的手段
[0014]本专利技术人等对上述问题进行了深入研究的结果，发现了能够通过以下结构解决上述问题。
[0015](1)一种转印薄膜，其具有临时支承体和配置于临时支承体上的感光性组合物层，
[0016]临时支承体的雾度小于30％，
[0017]临时支承体的感光性组合物层侧的表面的偏度Rsk超过0.40。
[0018](2)根据(1)所述的转印薄膜，其中，
[0019]临时支承体的感光性组合物层侧的表面的表面粗糙度Ra小于0.50μm。
[0020](3)根据(1)或(2)所述的转印薄膜，其中，
[0021]临时支承体的感光性组合物层侧的表面的均方根高度RMS小于0.70μm。
[0022](4)根据(1)至(3)中任一项所述的转印薄膜，其中，
[0023]临时支承体具有支承体和配置于支承体上的树脂层，
[0024]树脂层配置于感光性组合物层侧，
[0025]树脂层在90℃下的储能弹性模量为20MPa以下。
[0026](5)根据(4)所述的转印薄膜，其中，
[0027]将树脂层在90℃下的储能弹性模量设为G、将树脂层的厚度设为H时，H/G超过0.2μm/MPa。
[0028](6)根据(4)或(5)所述的转印薄膜，其中，
[0029]树脂层的厚度为60μm以下。
[0030](7)根据(4)至(6)中任一项所述的转印薄膜，其中，
[0031]树脂层包含具有源自乙烯的重复单元的树脂。
[0032](8)根据(1)至(7)中任一项所述的转印薄膜，其中，
[0033]临时支承体的雾度为2％以上。
[0034](9)根据(1)至(8)中任一项所述的转印薄膜，其中，
[0035]在临时支承体的感光性组合物层侧的表面实施了压花加工。
[0036](10)一种层叠体的制造方法，其具有：
[0037]贴合工序，使(1)至(9)中任一项所述的转印薄膜的感光性组合物层与具有导电层的基板接触并贴合，获得依次具有临时支承体、感光性组合物层及具有导电层的基板的带感光性组合物层的基板；
[0038]曝光工序，从临时支承体侧对感光性组合物层进行图案曝光；
[0039]剥离工序，从带感光性组合物层的基板剥离临时支承体；及
[0040]显影工序，对经曝光的感光性组合物层进行显影而形成图案。
[0041]专利技术效果
[0042]根据本专利技术，能够提供一种临时支承体的卷取性优异并且在从临时支承体侧对感光性组合物层进行图案曝光时的分辨率优异的转印薄膜。
[0043]并且，根据本专利技术，能够提供一种使用上述转印薄膜的层叠体的制造方法。
具体实施方式
[0044]以下，对本专利技术进行详细说明。
[0045]另外，本说明书中，使用“～”表示的数值范围是指将“～”前后所记载的数值作为下限值及上限值而包含的范围。
[0046]并且，在本说明书中阶段性记载的数值范围中，以某个数值范围记载的上限值或下限值可替换为其他阶段性记载的数值范围的上限值或下限值。并且，本说明书中所记载的数值范围中，某个数值范围中所记载的上限值或下限值可替换为实施例所示的值。
[0047]并且，本说明书中的“工序”这一术语不仅为独立的工序，即使在无法与其他工序明确地区别的情况下，只要可达成该工序的所期望的目的，则也包含于本术语中。
[0048]在本说明书中，“透明”是指波长400～700nm的可见光的平均透射率为80％以上，
优选为90％以上。
[0049]并且，可见光的平均透射率是使用分光光度计测定的值，例如，能够使用Hitachi，Ltd.制的分光光度计U
‑
3310进行测定。
[0050]在本说明书中，除非另有说明，否则聚合物的各结构单元的含有比率为摩尔比。
[0051]并且，关于本专利技术中的重均分子量(Mw)及数均分子量(Mn)，只要无特别说明，是利用使用了TSKgel GMHxL、TSKgel G4000HxL、TSKgel G2000HxL(均为TOSOH CORPORATION制的产品名称)的管柱的凝胶渗透色谱法(GPC)分析装置，通过THF(四氢呋喃)、差示折射计来检测，使用聚苯乙烯作为标准物质而换算的分子量。
[0052]在本专利技术中，除非另有说明，否则分子量分布所具有的化合物的分子量为重均分子量(Mw)。
[0053]并且，在本说明书中，除非另有说明，否则折射率是通过椭圆偏振计在波长550nm下测定的值。
[0054]在本说明书中，“(甲基)丙烯酸”是包含丙烯酸及甲基丙烯酸这两者的概念，“(甲基)丙烯酰氧基”是包含丙烯酰氧基及甲基丙烯酰氧基这两者的概念。
[0055]作为本专利技术的转印薄膜的特征，可举出将临时支承体的雾度和临时支承体的感光性组合物层侧的表面的偏度Rsk分别调整为规定的范围的这一点。
[0056]首先，本专利技术人研究了现有技术的问题，发现通过将临时支承体的雾度调整到规定的范围而分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种转印薄膜，其具有临时支承体和配置于所述临时支承体上的感光性组合物层，所述临时支承体的雾度小于30％，所述临时支承体的所述感光性组合物层侧的表面的偏度Rsk超过0.40。2.根据权利要求1所述的转印薄膜，其中，所述临时支承体的所述感光性组合物层侧的表面的表面粗糙度Ra小于0.50μm。3.根据权利要求1或2所述的转印薄膜，其中，所述临时支承体的所述感光性组合物层侧的表面的均方根高度RMS小于0.70μm。4.根据权利要求1至3中任一项所述的转印薄膜，其中，所述临时支承体具有支承体和配置于所述支承体上的树脂层，所述树脂层配置于所述感光性组合物层侧，所述树脂层在90℃下的储能弹性模量为20MPa以下。5.根据权利要求4所述的转印薄膜，其中，将所述树脂层在90℃下的储能弹性模量设为G、将所述树脂层的厚度设为H时，H/G超过0.2μm/MPa。6.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：平木大介，佐藤守正，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：