【技术实现步骤摘要】
一种高精度电子显微镜
[0001]本专利技术属于显微镜
，具体涉及一种高精度电子显微镜。
技术介绍
[0002]现有的一些电子显微镜在进行工作时，在显微镜的底部样品室开口，真空密闭地安置在探查区域表面，为了寻找最佳的探查区域的探测点，需要改变中心电子束的入射点。公开号为CN1035583A的专利技术专利公开了一种移动式电子扫描显微镜，借助于样品室上的连接的位移螺钉，通过内端与基板抵接的方式，可以调节样品室的位置。如图1所示，样品室的周向设置有位移螺钉，由于位移螺钉的内端与基板抵接，通过旋转位移螺钉使其轴向位移，从而可以调节样品室的位置，该种调节方式的缺点在于：如果在调节一颗螺钉时，沿其轴向的方向存在过度位移的情况，需要将调节对面一颗螺钉进行补偿，此时需要松开之前那颗螺钉以避免干涉。往复调整位置较为繁琐，最后容易使得样品室偏离原有位置，存在对于电子束的入射位置始终无法得到精确调整，影响已经固定好的基板等，最终容易造成图像畸变、电子束倾斜，从而导致测量精度低的问题。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本专...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高精度电子显微镜，包括显微镜镜身、与所述显微镜镜身配合的样品室，所述样品室的底部设置有可视开口，所述可视开口内配合设置有附着定位盘，所述附着定位盘的中心开设有与所述可视开口对应的中心通孔，所述样品室与附着定位盘之间设置有用于调节样品室位置的若干组径向位移调节组件，其特征在于：每一组径向位移调节组件包括径向相对设置的两个径向位移调节组件，所述附着定位盘的外侧开设有第一环槽，所述样品室的内侧形成有与所述第一环槽滑动密封配合的环颈，所述样品室能够沿附着定位盘的径向移动且两者在轴向定位；所述样品室的端面形成有环台，所述环台内开设有环形腔室；所述径向位移调节组件包括调节螺钉、气囊、外固定筒、内滑移筒和弹簧，所述外固定筒固定在环形腔室的内侧壁，所述外固定筒朝向附着定位盘一端形成与所述内滑移筒配合的开口，所述外固定筒和内滑移筒之间设置有弹簧，所述外固定筒背离附着定位盘一端位于所述环形腔室内且形成与所述调节螺钉密封配合的螺纹孔，所述气囊位于外固定筒和内滑移筒相隔的空间内，所述螺纹孔与所述气囊连通，所述调节螺钉与环形腔室的外侧壁转动密封配合，所述环形腔室连接至气泵，通过气泵向环形腔室内通入气体，调节螺钉打开与外固定筒的通道后，能够向气囊充气，气囊膨胀后推动内滑移筒移动，使得内滑移筒带动样品室与附着定位盘之间发生相对位移。2.根据权利要求1所述的高精度电子显微镜，其特征在于：所述外固定筒的内壁开设有第二环槽，所述第二环槽内固定有第一限位板，所述内滑移筒的外侧开设有第三环槽，所述第三...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟慧丹，
申请(专利权)人：深圳市宗源伟业科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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