一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头制造技术

本实用新型专利技术公开一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头，包括：太赫兹发射光电导天线设置于抽运光的光路上，并与第一抛物面镜相正对，第一抛物面镜还与可替换模块的输入光路相正对，第二抛物面镜设置于可替换模块的输出光路上，且与太赫兹接收光电导天线相正对；可替换模块包括发射端反射镜、接收端反射镜以及测量结构，发射端反射镜与第一抛物面镜同轴设置且相正对，接收端反射镜与第二抛物面镜同轴设置且相正对，测量结构的功能为反射型、正入射型或者透射型中的一种。该成像探头可以实现多个可替换模块的替换，进而实现一机多模块，也或者说是一机多用。或者说是一机多用。或者说是一机多用。

【技术实现步骤摘要】
一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头


[0001]本技术涉及太赫兹成像
，具体涉及一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头。

技术介绍

[0002]目前国内外均十分注重太赫兹技术的发展，由于太赫兹波具有良好的透射及反射特性，因此太赫兹检测系统可以通过透射特性穿透待测样品以测量其吸收谱，通过太赫兹波反射特性测量待测样品的内部分层分布情况。
[0003]目前太赫兹检测系统应用范围较广，且测量方式多样，包括透射式太赫兹检测系统，反射式太赫兹检测系统。而国内太赫兹检测系统器件制造技术并不完善，使得太赫兹检测系统造价昂贵，因此传统的一机一用模式造成了严重的资源浪费。而目前市场上已有的单模块多功能太赫兹检测系统虽然可以一机多用，但是测试系统往往结构复杂，操作困难，使用不同功能往往需要使用者手动调节内部器件以改变系统光路，这将使太赫兹检测系统的稳定性在手动调节的过程中降低，大大影响其工作效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的上述问题，旨在提供一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头。
[0005]具体技术方案如下：
[0006]一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头，主要包括：激光器、分束器、太赫兹发射光电导天线、太赫兹接收光电导天线、第一抛物面镜、第二抛物面镜、可替换模块、延迟线和分析模块；
[0007]所述激光器用于输出脉冲激光；
[0008]所述分束器用于将所述激光器发射的激光分为抽运光和探测光；
[0009]所述太赫兹发射光电导天线设置于所述抽运光的光路上，并与所述第一抛物面镜相正对，所述第一抛物面镜还与所述可替换模块的输入光路相正对，所述第二抛物面镜设置于所述可替换模块的输出光路上，且与所述太赫兹接收光电导天线相正对；
[0010]所述可替换模块包括发射端反射镜、接收端反射镜以及测量结构，所述发射端反射镜与所述第一抛物面镜同轴设置且相正对，所述接收端反射镜与所述第二抛物面镜同轴设置且相正对，所述太赫兹发射光电导天线、所述发射端反射镜、所述第一抛物面镜、所述太赫兹接收光电导天线、所述接收端反射镜及所述第二抛物面镜位于成像面的第一侧，所述测量结构的功能为反射型、正入射型或者透射型中的一种；
[0011]所述延迟线设置于所述探测光的光路上，且与所述太赫兹接收光电导天线通过光纤连接；
[0012]所述分析模块与所述太赫兹接收光电导天线电性连接。
[0013]上述的一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头中，还具有这样的特征，所述测
量结构包括位于所述成像面的第二侧的第一反射镜、第三抛物面镜、第四抛物面镜以及第二反射镜；
[0014]所述第一反射镜与所述发射端反射镜相正对，所述第一反射镜还与所述第三抛物面镜同轴设置且相正对，所述第三抛物面镜和所述第四抛物面镜相正对，所述第二反射镜与所述第四抛物面镜同轴设置且相正对，所述第二反射镜还与所述接收端反射镜相正对，其中所述第二侧与所述第一侧为方向相背离的两侧。
[0015]上述的一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头中，还具有这样的特征，所述第一反射镜、所述第三抛物面镜、所述第四抛物面镜以及所述第二反射镜四者共面设置，其中，所述第一反射镜与所述发射端反射镜之间的距离、所述第二反射镜与所述接收端反射镜之间的距离相等，所述第一反射镜与所述第三抛物面镜之间的距离、所述第二反射镜与所述第四抛物面镜之间的距离相等。
[0016]上述的一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头中，还具有这样的特征，所述测量结构包括第三反射镜、第五抛物面镜以及第六抛物面镜；
[0017]所述第六抛物面镜位于所述成像面的第一侧，所述第三反射镜、所述第五抛物面镜位于所述成像面的第二侧，所述第三反射镜与所述发射端反射镜相正对，所述第三反射镜还与所述第五抛物面镜相正对，所述第六抛物面镜与所述第五抛物面镜相正对，所述第六抛物面镜还与所述接收端反射镜相正对。
[0018]上述的一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头中，还具有这样的特征，所述发射端反射镜、所述第三反射镜、所述第五抛物面镜、所述第六抛物面镜及所述接收端反射镜在与所述成像面相垂直的平面内共面设置，所述第三反射镜与所述第五抛物面镜之间的距离、所述第六抛物面镜与所述接收端反射镜之间的距离相等。
[0019]上述的一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头中，还具有这样的特征，所述测量结构包括位于所述成像面的第二侧的第四反射镜、第五反射镜、半反半透镜、第七抛物面镜及第六反射镜；
[0020]所述第四反射镜与所述发射端反射镜相正对，所述第四反射镜还与所述第五反射镜相正对，所述第五反射镜、所述半反半透镜及所述第七抛物面镜三者轴线共线设置，所述第七抛物面镜与所述第六反射镜相正对，所述第六反射镜与所述接收端反射镜相正对。
[0021]上述的一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头中，还具有这样的特征，所述发射端反射镜、所述第四反射镜、所述第五反射镜在与所述成像面相垂直的平面内共面设置，所述半反半透镜、所述第六反射镜、所述接收端反射镜在与所述成像面相垂直的平面内共面设置，所述第五反射镜与所述半反半透镜之间的距离、所述半反半透镜与所述第七抛物面镜之间的距离相等，所述发射端反射镜与所述第四反射镜之间的距离、所述第六反射镜与所述接收端反射镜之间的距离相等。
[0022]上述的一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头中，还具有这样的特征，所述半反半透镜采用高阻硅材料制成。
[0023]上述技术方案的积极效果是：
[0024]本技术提供的一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头，设置有可替换模块，可替换模块包括与第一抛物面镜同轴设置且相正对的发射端反射镜、与第二抛物面镜同轴设置且相正对的接收端反射镜，还包括测量结构，测量结构设置成不同的结构实现不
同的功能，只需要将每个可替换模块中的发射端反射镜与整个探头中位置固定的第一抛物面镜之间的装配关系做成相同的设计，每个可替换模块中的接收端反射镜与整个探头中位置固定的第二抛物面镜之间的装配关系做成相同的设计，即可以实现多个可替换模块的替换，进而实现一机多模块，也或者说是一机多用，根据客户需求提供不同检测模块，减少资源浪费；操作简单，随换随用；不调整内部器件，不会影响太赫兹检测系统的稳定性。
附图说明
[0025]图1为本技术提供的功能可选择的模块化太赫兹成像探头的整体结构示意图；
[0026]图2为本技术提供的反射型的可替换模块的第一方向结构示意图；
[0027]图3为本技术提供的反射型的可替换模块的第二方向结构示意图；
[0028]图4为本技术提供的透射型的可替换模块的第一方向结构示意图；
[0029]图5为本技术提供的透射型的可替换模块的第一方向结构示意图；
[0030]图6为本技术提供的正入射型的可替换模块的第一方向结构示意图；
[0031]图7为本技术提供的正入射型的可替换模块的第二方向结构示意图。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种功能可选择的模块化太赫兹成像探头，其特征在于，包括：激光器、分束器、太赫兹发射光电导天线、太赫兹接收光电导天线、第一抛物面镜、第二抛物面镜、可替换模块、延迟线和分析模块；所述激光器用于输出脉冲激光；所述分束器用于将所述激光器发射的激光分为抽运光和探测光；所述太赫兹发射光电导天线设置于所述抽运光的光路上，并与所述第一抛物面镜相正对，所述第一抛物面镜还与所述可替换模块的输入光路相正对，所述第二抛物面镜设置于所述可替换模块的输出光路上，且与所述太赫兹接收光电导天线相正对；所述可替换模块包括发射端反射镜、接收端反射镜以及测量结构，所述发射端反射镜与所述第一抛物面镜同轴设置且相正对，所述接收端反射镜与所述第二抛物面镜同轴设置且相正对，所述太赫兹发射光电导天线、所述发射端反射镜、所述第一抛物面镜、所述太赫兹接收光电导天线、所述接收端反射镜及所述第二抛物面镜位于成像面的第一侧，所述测量结构的功能为反射型、正入射型或者透射型中的一种；所述延迟线设置于所述探测光的光路上，且与所述太赫兹接收光电导天线通过光纤连接；所述分析模块与所述太赫兹接收光电导天线电性连接。2.根据权利要求1所述的功能可选择的模块化太赫兹成像探头，其特征在于，所述测量结构包括位于所述成像面的第二侧的第一反射镜、第三抛物面镜、第四抛物面镜以及第二反射镜；所述第一反射镜与所述发射端反射镜相正对，所述第一反射镜还与所述第三抛物面镜同轴设置且相正对，所述第三抛物面镜和所述第四抛物面镜相正对，所述第二反射镜与所述第四抛物面镜同轴设置且相正对，所述第二反射镜还与所述接收端反射镜相正对，其中所述第二侧与所述第一侧为方向相背离的两侧。3.根据权利要求2所述的功能可选择的模块化太赫兹成像探头，其特征在于，所述第一反射镜、所述第三抛物面镜、所述第四抛物面镜以及所述第二反射镜四者共面设置，其中，所述第一反射镜与所述发射端反射镜之间的距离、所述第二反射镜与所述接收端反射镜之间的距离相等，所述第一反射镜与所述第三抛物面镜之间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘金鸽，陈佩丽，杨旻蔚，刘锋，吴玫晓，王丹，
申请(专利权)人：华太极光光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：