【技术实现步骤摘要】
一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法
[0001]本专利技术属于微电子机械
,可在航空、汽车电子、交通及基础设施、地质监测及植入式医疗器械等中高端领域应用,具体涉及一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法。
技术介绍
[0002]微机电系统是指尺寸在几毫米甚至更小的高科技装置,其内部的构造往往在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统,随着机械科学与微电子技术的迅猛发展,也为了满足技术的微型化,小型化的需求,市场上出现了大量MEMS加速度计,其中电容式加速度计最为常见,该结构的加速度计结构简单,通过极板间的电容变化来将外界的加速度信号转变为电信号。相比其他基于MEMS技术的加速度计,电容式加速度计具有温漂效应较小,结构简单,灵敏度高等优点;
[0003]目前的高精度MEMS电容式加速度计受到了不同领域应用的重视,其中包括振动监测、重力检测、惯性导航等,其良好的噪声性能对于很多高精度的器件来说意义重大。梳齿式MEMS电容式加速度计是一种典型的结构,该结构的加工相对简单,制作精度较高,具有良好的泛用性;
[0004]为了提高线性度及抑制共模效应(例如温度效应引起的电容变化),当前的MEMS电容式加速度计通常采用差分电容原理:加速度计包含两个彼此对称的电容,待测加速度导致一个电容增大和另一个电容减小,加速度计的输出则正比于两个电容的差值;
[0005]理论上,构成差分电容的两个电容应该具有完全一样的电容间隙,然而加工误差会导致两个电容的实际电容间隙不一致。电容间隙的不 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法,其特征在于:包括衬底(1),所述衬底(1)的一侧设置有外侧固定梳齿锚点(2)、折叠梁(3)、质量块锚点(4)、质量块(5)、外部可动梳齿(6)、外部固定梳齿(7)、内部固定梳齿锚点(8)、内部固定梳齿(9)和内部可动梳齿(10),所述外侧固定梳齿锚点(2)、质量块锚点(4)和内部固定梳齿锚点(8)均与衬底(1)固连,所述折叠梁(3)质量块(5)、外部可动梳齿(6)、外部固定梳齿(7)和内部固定梳齿(9)均悬浮设置于衬底(1)一侧。2.根据权利要求1所述的一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法,其特征在于:所述外侧固定梳齿锚点(2)、质量块锚点(4)和内部固定梳齿锚点(8)厚度相同。3.根据权利要求1所述的一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法,其特征在于:所述外侧固定梳齿锚点(2)与内部固定梳齿锚点(8)处于同一水平线。4.根据权利要求1所述的一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法,其特征在于:所述折叠梁(3)质量块(5)、外部可动梳齿(6)、外部固定梳齿(7)和内部固定梳齿(9)厚度相同。5.根据权利要求1所述的一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法,其特征在于:所述外部可动梳齿(6)包括第一外部可动梳齿(6
‑
1)、第二外部可动梳齿(6
‑
2)、第三外部可动梳齿(6
‑
3)和第四外部可动梳齿(6
‑
4);所述外部固定梳齿(7)包括第一外部固定梳齿(7
‑
1)、第二外部固定梳齿(7
‑
2)、第三外部固定梳齿(7
‑
3)和第四外部固定梳齿(7
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4);所述内部固定梳齿(9)包括第一内部固定梳齿(9
‑
1)、第二内部固定梳齿(9
‑
2)、第三内部固定梳齿(9
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3)和第四内部固定梳齿(9
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4);所述内部可动梳齿(10)包括第一内部可动梳齿(10
‑
1)、第二内部可动梳齿(10
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2)、第三内部可动梳齿(10
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3)和第四内部可动梳齿(10
‑
4)。6.根据权利要求5所述的一种提高MEMS加速度计电容间隙一致性的电极布置方法,其特征在于:所述方法如下:当质量块(5)感应到竖直方向的加速度时,折叠梁(3)形变并导致质量块(5)产生位移;A.当加速度方向向下时,质量块(5)向上移动,第一外...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡江,
申请(专利权)人:麦莫斯成都科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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