一种多芯光纤端面多参量传感器及其制备方法技术

本发明专利技术属于光纤传感技术领域，具体为一种多芯光纤端面多参量传感器及其制备方法。本发明专利技术包括：具有多个纤芯的多芯光纤；位于多芯光纤端面的多终端微悬臂梁，通过飞秒激光双光子聚合技术在多芯光纤端面打印得到；位于微悬臂梁多个终端上表面的功能性材料，通过磁控溅射镀膜技术及微操作手涂覆工艺修饰于微悬臂梁上表面。本发明专利技术提出的多芯光纤端面多参量传感器及其制备方法，可以选择对不同物理量敏感的功能性材料，使各微悬臂梁终端对不同物理量具备单一选择性响应，实现对多物理量的同时测量，具有小尺寸、灵活设计、高灵敏度的特点，有效解决复杂环境下对多参量测量的难题。效解决复杂环境下对多参量测量的难题。效解决复杂环境下对多参量测量的难题。

【技术实现步骤摘要】
一种多芯光纤端面多参量传感器及其制备方法


[0001]本专利技术属于光纤传感
，具体涉及一种多芯光纤端面多参量传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]光纤传感器具有灵敏度高、尺寸小、灵活性强、可远程监控等诸多优势，已成为许多行业的高效、低成本的解决方案。此外，光纤传感器在强电磁场、高压、核辐射、爆炸性或化学腐蚀性介质、高温等恶劣环境条件下仍能使用。然而，现有光纤传感的研究主要集中在单芯光纤传感技术，单芯光纤通常只可单独地解调应变、温度、弯曲、位移等其中某一参量，使用现有光纤传感器进行多参数感知采集与解调，则往往需要分别布设多根单芯光纤传感器及各自独立的采集系统，结构复杂，成本也大大提高。
[0003]随着光纤制备水平的提高和技术发展，为了增加单根光纤的空间利用率、提高通信容量，有关多芯光纤的研究和应用快速发展。多芯光纤可以将若干彼此独立的纤芯集成到一根光纤中，每根纤芯都是一根独立通路，纤芯间串扰低，信号衰减性一致，在空分复用通信传输领域具有极高的应用潜力，在空间结构、传输集成、温度同步补偿等传感应用方面也具有显著优势。然而，目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多芯光纤端面多参量传感器，其特征在于，包括：多芯光纤和位于多芯光纤端面的微悬臂梁；微悬臂梁包括支撑块和多个微悬臂梁终端；支撑块连接光纤端面和多个微悬臂梁终端；所述多芯光纤端面微悬臂梁是通过飞秒激光双光子聚合技术在多芯光纤端面一次打印得到；所述多个微悬臂梁终端遮挡各个纤芯，形成多个法布里珀罗干涉仪传感核心部件；所述各个微悬臂梁终端修饰有对不同物理敏感的功能性材料，使各微悬臂梁终端对不同参量具备单一选择性的响应，利用多芯光纤多信道的优势，实现对多参量的同时测量。2.根据权利要求1所述的多芯光纤端面多参量传感器，其特征在于，所述支撑块位于微悬臂梁结构的几何中心，并位于多芯光纤中间芯的位置，以连接微悬臂梁和光纤端面。3.根据权利要求2所述的多芯光纤端面多参量传感器，其特征在于，所述多芯光纤的纤芯数为N，N≥2；所述微悬臂梁的终端数为M，M≥2；所述支撑块圆柱型或方柱型，长度为5~150μm。4.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖力敏，熊聪，王草源，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：