真空装置制造方法及图纸

本申请公开了一种真空装置，包括底板；盖板，与底板活动连接，底板与盖板可合围构成腔室；管路，与腔室连通，管路由多段管道构成；以及真空泵，与管路连通，真空装置还包括光源，光源位于腔室内且位于底板与盖板的连接处，和/或位于管路内且位于相邻管道间的连接处，和/或位于管路与腔室的连接处。该真空装置通过将光源设置在由腔室、管路构成的内部环境中，当构成内部环境的连接部件之间存在导致内部环境漏气的接缝，该光源发出的光会通过接缝射出，从而在外部环境就可通过漏光判断真空装置的气密性是否良好。的气密性是否良好。的气密性是否良好。

【技术实现步骤摘要】
真空装置


[0001]本技术涉及真空装置
，更具体地，涉及一种用于半导体器件的真空装置。

技术介绍

[0002]现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶显示面板成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、刻蚀及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT 基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT 基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。
[0003]在制程工艺生产中，涂布机是RGB(红绿蓝)光阻成膜重要设备，涂布成膜后需要进行真空干燥，将光阻中70％以上的溶剂在真空环境下进行挥发，在去溶剂后，形成平稳的湿膜，以进行后续烘烤/ 曝光制程。真空干燥装置(VCD)等真空设备需要较好的气密性，如果发生气密性不佳，会对产品制程造成影响，导致光阻破洞等问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空装置，其特征在于，包括：底板；盖板，与所述底板活动连接，所述底板与所述盖板可合围构成腔室；管路，与所述腔室连通，所述管路由多段管道构成；以及真空泵，与所述管路连通，所述真空装置还包括光源，所述光源位于所述腔室内且位于所述底板与所述盖板的连接处，和/或位于所述管路内且位于相邻管道间的连接处，和/或位于所述管路与所述腔室的连接处。2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述光源为LED光源。3.根据权利要求2所述的真空装置，其特征在于，所述光源为绿色LED光源。4.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，还包括电池，与所述光源的位置对应，以向所述光源供电。5.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，还包括：贯穿孔，连通外部环境和所述腔室、所述管路构成的内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪杰，杨莉，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：