液体过滤设备制造技术

本申请案涉及一种液体过滤设备。描述液体过滤器设备，其包含：外壳；内部，其在所述外壳内；筒组合件(另称为“滤筒”)，其容纳于所述外壳内；及通气孔，其允许气态流体从所述外壳的内部释放到所述外壳的外部。内部释放到所述外壳的外部。内部释放到所述外壳的外部。

【技术实现步骤摘要】
液体过滤设备


[0001]本技术涉及液体过滤器设备，其包含：外壳；内部，其在所述外壳内；筒组合件(另称为“滤筒”)，其容纳于所述外壳内；及通气孔，其允许气态流体从所述外壳的内部释放到所述外壳的外部。

技术介绍

[0002]液体过滤系统允许制备且控制净化(例如高纯度)液体流。这些系统具有广泛用途，包含用于化学处理及制造业中，例如用于制药、食品处理及封装、工商化学及化学品及用于处理用于半导体及微电子处理中的液体。针对半导体及微电子处理，液体过滤系统用于过滤用于制造太阳能面板、平板显示器及半导体及微电子装置的液体。液体可用于例如光刻、散装化学品运输、化学机械处理(CMP)、湿蚀刻或清洁的工艺以及其它类型的工艺中。
[0003]用于处理(过滤)液体的各种设计的过滤器组合件包含界定含有滤膜的内部的多件式过滤器外壳，滤膜随着液体通过膜而从液体移除杂质。在使用时，致使液体沿流动路径流过内部，其包含流过滤膜。滤膜是可从外壳移除且在一使用周期之后更换的可更换滤筒(或“筒组合件”)的组件。
[0004]此过滤器组合件的外壳通常包含两个主要外结构：歧管及滤杯。歧管包含流体(未过滤液体)通过其进入过滤器外壳的流体入口及流体(滤液)在通过滤膜之后通过其离开过滤器组合件的流体出口。在入口与出口之间，流体必须通过多孔滤膜。滤膜由容纳于外壳中的可更换滤筒支撑。滤杯包含开放端，其接合歧管且在歧管与滤杯之间形成液密密封。
[0005]此类型过滤器组合件的标准安装布置是具有连接到输入导管及输出导管的歧管。输入导管经连接到歧管入口，其将未过滤液体的传入流引导到外壳中。输出导管经连接到歧管出口以接收流体流(即，“滤液”)，流体流在流体通过滤膜之后通过歧管输出离开组合件。
[0006]此过滤器外壳组合件的标准安装布置经设计以安装有在歧管下方向下垂直延伸的滤杯。此布置通常称为标准或“滤杯向下”配置。当以此方式安装(其中歧管位于外壳上方)时，通气口可经包含于歧管中，且可经选择性打开以将积累于过滤器组合件内外壳上部处的空气或其它气体释放到外部位置。在起动时或在使用期间，关于实例过滤器组合件，当过滤液体流体时，一定体积的气体(例如空气)可积累于滤筒的内部空间处，例如积累于定位于容纳于外壳内的滤筒的中心通道内的内芯容积处。
[0007]在某些应用(例如由半导体制造商使用这些过滤器设备)中，此类型的液体过滤设备的更优选安装布置可为筒组合件及外壳的滤杯定位于歧管上方呈倒置或“滤杯向上”配置。滤杯向上配置具有优点，但也具有来自不同配置的挑战。滤杯向上配置允许连接到歧管的管路系统(入口导管及出口导管)定位于过滤器设备的下部或底部处与歧管排成一行且在滤杯及滤筒下方。此可为优选的，因为此布置将滤杯及筒组合件定位于歧管上方更易接取置处，且还可导致过滤器在过滤器更换步骤期间更高效排泄。
[0008]然而，滤杯向上定向使穿过歧管的通气特征不可操作，因为通气孔定位于过滤器
组合件的底部处，且积累于外壳内(例如，积累于滤筒的内部空间(即，“筒芯容积”，简称“芯容积”)内)的气态流体可积累于过滤器设备的顶部处，即，积累于滤杯的顶部处。
[0009]由于至少两个重要原因，液体过滤设备的通气特征可为很重要的。一个原因是防止过滤设备由于在使用期间在过滤器外壳内存在气穴而降低性能。第二(非完全不相关)原因是防止静电放电风险。
[0010]关于前者，如果液体过滤设备的外壳的内部含有滞留空气或另一气态流体之空穴，那么通过外壳的液体不会接触滤膜的整个区，且膜可变成脱湿。脱湿会成为例如疏水滤膜的不同类型的滤膜的问题。
[0011]第二问题是静电放电。过滤器外壳、外壳的结构及组件通常由非导电(绝缘)的抗化学腐蚀聚合材料制成。如果通过过滤器外壳的液体还具有低电导率，那么大量静电电荷会累积于过滤器外壳、系统内的流体或其组件或结构内。电荷累积产生静电放电风险。滞留于液体过滤设备外壳的上部区域处的一定体积空气致使流过滤筒的液体的紊流或自由下降，此会致使静电电荷累积于液体、过滤器设备、结构或外壳内。
[0012]更详细来说，过滤系统中的静电电荷累积可由于通过过滤系统的液体流体流与过滤系统的表面(例如管、导管、管路、阀、配件、过滤器外壳及滤筒等)之间的摩擦接触而发生。电荷累积可因由过滤器外壳中的一定体积的气体(特定来说，定位于滤筒组合件的内部处的芯容积处的气体)致使的液体通过过滤器外壳的不均匀流动或紊流而增加。电荷累积的量级将受例如以下因素影响：外壳的性质(例如化学组成)、通过外壳的液体的类型及组合物、液体的速度、液体的粘度、液体的电导率、接地的通路、液体的紊流及剪切、流体处置系统(例如过滤器设备)的流体中的空气的存在及位置、及流体与流体处置组件之间的接触面积的大小。
[0013]此外，随着流体流过流体处置系统，电荷可向下游载送呈称为流动电荷的现象，由此电荷可累积于不同于电荷起源位置的位置处。足量电荷积累会致使例如过滤器设备的流体处置系统的组件的结构处静电放电。然而，潜在地，放电可发生于连接到流体处置系统的不同位置处，例如发生于连接到流体处置系统且由流体处置系统供应的处理设备 (例如半导体制造工具)处。
[0014]半导体及微电子装置衬底可对静电电荷高度敏感。涉及半导体或微电子装置衬底的静电放电可导致衬底损坏或毁坏。举例来说，由于不可控静电放电，衬底上的电路会被毁坏且光活性化合物会在定期曝光之前活化。另外，累积静电荷可从流体处置系统内放电到外部环境，从而潜在地损坏流体处置系统的组件(例如管或管路、配件、组件、容器、过滤器等)，从而可能导致流体处置系统损坏，此可为系统中的流体泄漏、溢出及性能降低的原因。在一些环境中，如果由系统处置的流体易燃、有毒或具腐蚀性，那么放电会导致潜在火灾、爆炸或安全危害。
[0015]在一些流体处置系统中，为了减少静电荷累积，某些金属或导电组件经连接到电接地以缓解系统中的静电荷累积。多个接地带的常规使用会导致流体处置系统中的过度机械杂乱，且可导致需要大量维护的复杂接地系统网络或可能易于发生故障的复杂系统。
[0016]可期望改进包含过滤器设备的流体处置系统中的静电缓解系统及技术以改进性能且降低潜在地损坏静电放电事件的风险。

技术实现思路

[0017]在某些方面中，本公开提供过滤设备，其包含经改进通气特征，特定来说，关于在安装成滤杯向上配置的设备的使用期间从液体过滤设备的滤筒内的内芯容积排放气态流体。
[0018]还根据某些实例实施例，一种液体过滤设备可替代地或另外包含静电电荷耗散特征，也称为ESD缓解特征。ESD缓解特征可通过由例如导电聚合物或导电含氟聚合物的导电材料构造设备的任何一或多个组件来并入到设备中。在实例设备中，外壳的通气特征或其它组件可由例如导电聚合物或混合导电/非导电聚合物结构的导电材料制成。当存在时，例如通气管的导电结构经耦合到外壳且最终耦合到电接地以缓解ESD风险。在一些实施例中，延伸穿过绝缘聚合物歧管的导电配件完成从滤芯内的电路径到接地的电路(例如，可在通气管与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液体过滤设备，其特征在于所述液体过滤设备包括：滤杯，其包括开放端、与所述开放端相对的远端及延伸于所述开放端与所述远端之间的内部；歧管，其能够密封接合所述滤杯的所述开放端，所述歧管包括流体入口及流体出口；筒组合件，其安置于所述内部处，所述筒组合件包括滤膜、筒组合件近端及筒组合件远端，所述筒组合件近端包含经调适以接触所述歧管的表面以形成筒组合件
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歧管密封的表面，且所述筒组合件远端包含经调适以接触所述滤杯的内表面以在所述内部处形成筒组合件
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滤杯密封的表面；芯容积，其在所述筒组合件的中心内侧处；外壳容积，其在所述筒组合件与所述滤杯之间的所述筒组合件的外侧处；及通气孔，其穿过所述滤杯远端延伸到所述芯容积以流体连接所述芯容积与所述液体过滤设备的外部。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于：在所述芯容积内，所述筒组合件具有延伸于所述筒组合件近端与所述筒组合件远端之间的中心轴线，所述筒组合件
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歧管密封可通过在所述筒组合件沿着所述中心轴线朝向所述歧管移动时将所述筒组合件近端表面按压成与所述歧管的所述表面接触来形成，且所述筒组合件
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歧管密封可通过在所述筒组合件沿着所述中心轴线远离所述歧管的所述表面移动时将所述筒组合件近端表面与所述歧管的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：B，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：新型
国别省市：