基于法布里-珀罗干涉仪结构的高灵敏度低温传感器制造技术

基于法布里

【技术实现步骤摘要】
基于法布里
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珀罗干涉仪结构的高灵敏度低温传感器


[0001]本技术涉及低温传感器领域，尤其涉及基于法布里
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珀罗干涉仪结构的高灵敏度低温传感器。

技术介绍

[0002]低温测量在各个领域都非常重要，包括超导、航空航天、电力电子、机械加工、低温储罐建造、量子计算等[1
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5]。传统的电子式温度传感器或温度计已成功实现了超低温的检测，使用氧化钌或钌酸铋材料制成的电阻式温度传感器甚至可以达到mK级别的温度测量[6]。但是，它们容易受到电磁干扰，连接电子传感器的导线也需要进行电磁屏蔽，通常也需要对传输线进行额外的低温封装，增加成本并限制了应用。光纤低温传感器凭借其在恶劣环境(超低温、高腐蚀、电磁辐射等)中独特的抗干扰能力，已经逐步成为国内外研究热点。其中，传统的光纤布拉格光栅(FBG)凭借其体积小、质量轻、带宽窄、易复用等优点已经逐步商用[7]。通常，光纤光栅可以用于温度、应变和其他物理参数的传感检测[8]。然而，在50K(
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223.15℃)以下，由于二氧化硅材料本身的热膨胀系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于法布里
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珀罗干涉仪结构的高灵敏度低温传感器，其特征在于：包括第一段陶瓷插芯、第二段陶瓷插芯、第一段单模光纤、第二反射面和连接套管；所述第一段单模光纤的端面磨平得到第一反射面，第一段单模光纤插入并固定在第一段陶瓷插芯中；所述第二反射面设于第二段陶瓷插芯中；所述第一段陶瓷插芯和第二段陶瓷插芯通过连接套管连接，所述连接套管采用金属材质制成；所述第一段单模光纤的输入端用于接入光纤耦合器输出端口，采用超连续激光光源作为光源连接光纤耦合器的第一输入端口，光纤耦合器的第二输入端口接光谱仪，通过跟踪反射谱的变化测量温度变化。2.如权利要求1所述的基于法布里
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珀罗干涉仪结构的高灵敏度低温传感器，其特征在于：还包括第二段单模光纤，所述第二反射面由第二段单模光纤的端面磨平得到，所述第二段单模光纤插入并固定在第二段陶瓷插芯中。3.如权利要求1所述的基于法布里
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珀罗干涉仪结构的高灵敏度低温传感器，其特征在于：所述第二反射面采用反射镜。4.如权利要求1所述的基于法布里
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珀罗干涉仪结构的高灵敏度低温传感器，其特征在于：所述连接套管采用铜材质制成。5.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：董小鹏，杨镓华，尹彪，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：新型
国别省市：