一种微型发光二极管及其制造方法技术

技术编号:34925275 阅读:17 留言:0更新日期:2022-09-15 07:18
本申请实施例提供了一种微型发光二极管及其制造方法,依次层叠设置的第一反射层、第一发光结构、透明衬底、第二反射层、第二发光结构、第三反射层和第三发光结构,透明衬底为圆台结构或棱台结构,透明衬底第一表面、第二表面以及倾斜侧壁,第一表面的面积大于第二表面的面积,第一发光结构利用倾斜侧壁出光,第一电极位于第一反射层远离第一发光结构的一侧表面,第二电极贯穿第一反射层和至少部分第一发光结构,第三电极贯穿第三发光结构至第三反射层,第四电极位于第三发光结构远离第三反射层的一侧表面。第一发光结构、第二发光结构和第三发光结构的发光方向朝向同一侧,避免处于同一平面的发光结构的侧面混色影响,能够提高显示效果。显示效果。显示效果。

【技术实现步骤摘要】
一种微型发光二极管及其制造方法


[0001]本专利技术涉及半导体器件领域,特别涉及一种微型发光二极管及其制造方法。

技术介绍

[0002]随着终端设备的快速发展,对终端设备的显示提出了更高的要求。当前的显示
,主要分为液晶显示(LCD)、有机发光显示(OLED)和微型发光二极管(Micro

LED)显示。微型发光二极管显示是新一代的显示技术,将二极管结构进行微小化、薄膜化和阵列化,能够实现单点驱动发光,具有高亮度、高发光效率和功耗低等优点。Micro

LED的尺寸为微米级别,每个Micro

LED的间隔也在微米级别,因此基于Micro

LED的显示面板中包括巨量的Micro

LED。
[0003]但是当前由于每个Micro

LED的间隔较小,导致不同的Micro

LED在进行发光时,会产生混色影响,导致显示效果变差。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本申请的目的在于提供一种微型发光二极管及其制造方法,降低混色影响,提高显示效果,降低工艺成本。
[0005]为实现上述目的,本申请有如下技术方案:
[0006]本申请实施例提供一种微型发光二极管,包括:
[0007]依次层叠设置的第一反射层、第一发光结构、透明衬底、第二反射层、第二发光结构、第三反射层和第三发光结构;
[0008]所述透明衬底为圆台结构或棱台结构,所述透明衬底具有和所述第一发光结构接触的第一表面、和所述第二发光结构接触的第二表面以及倾斜侧壁,所述第一表面的面积大于所述第二表面的面积,所述第一发光结构利用所述倾斜侧壁出光;
[0009]第一电极,位于所述第一反射层远离所述第一发光结构的一侧表面;
[0010]第二电极,贯穿所述第一反射层和至少部分所述第一发光结构;
[0011]第三电极,贯穿所述第三发光结构至所述第三反射层;
[0012]第四电极,位于所述第三发光结构远离所述第三反射层的一侧表面。
[0013]可选地,所述第一发光结构的出光效率根据所述透明衬底的厚度以及所述第一表面和所述第二表面的比值确定。
[0014]可选地,所述透明衬底的厚度范围为50

120微米,所述第一表面和所述第二表面的比值范围为[1,2]。
[0015]可选地,所述第二发光结构和所述第三发光结构通过所述第三反射层实现电连接。
[0016]可选地,所述第三反射层对所述第二发光结构的反射率小于第一阈值,所述第三反射层对所述第三发光结构的反射率大于第二阈值。
[0017]可选地,所述透明衬底的材料为蓝宝石或氮化镓。
[0018]可选地,若所述透明衬底的材料为蓝宝石,所述透明衬底具有导电接触,所述导电接触电连接所述第二反射层和所述第一发光结构。
[0019]可选地,所述第一发光结构为蓝光发光结构,所述第二发光结构为红光发光结构,所述第三发光结构为绿光发光结构。
[0020]可选地,所述蓝光发光结构包括依次层叠的第二类型蓝光导电层、蓝光发光层和第一类型蓝光导电层,所述红光发光结构包括依次层叠的第一类型红光导电层、红光发光层和第二类型红光导电层,所述绿光发光结构包括依次层叠的第二类型绿光导电层、绿光发光层和第一类型绿光导电层。
[0021]可选地,还包括绝缘层,所述绝缘层用于隔离所述第三电极和所述第三发光结构以及隔离所述第一电极和所述第一反射层。
[0022]本申请实施例提供一种微型发光二极管的制造方法,包括:
[0023]在透明衬底上形成第一发光结构,在第一衬底上形成第二发光结构,在第二衬底上形成第三发光结构;
[0024]在所述第三发光结构的表面上形成第三反射层,在所述第一发光结构的表面上形成第一反射层;
[0025]以所述第三反射层朝向所述第二发光结构的方向,键合所述第二发光结构和所述第三发光结构;
[0026]剥离所述第二发光结构和所述第一衬底,在暴露的第二发光结构表面上形成第二反射层;
[0027]切割所述透明衬底,形成棱台结构或圆台结构,所述透明衬底具有和所述第一发光结构接触的第一表面、远离所述第一发光结构的第二表面以及倾斜侧壁,所述第一表面的面积大于所述第二表面的面积;
[0028]以所述第二反射层朝向所述第二表面的方向,键合所述第二发光结构和所述第一发光结构;
[0029]剥离所述第三发光结构和所述第二衬底;
[0030]形成第一电极、第二电极、第三电极和第四电极,所述第一电极位于所述第一反射层远离所述第一发光结构的一侧表面,所述第二电极贯穿所述第一反射层和至少部分所述第一发光结构,所述第三电极贯穿所述第三发光结构至所述第三反射层,所述第四电极位于所述第三发光结构远离所述第三反射层的一侧表面。
[0031]本申请实施例提供了一种微型发光二极管,依次层叠设置的第一反射层、第一发光结构、透明衬底、第二反射层、第二发光结构、第三反射层和第三发光结构,透明衬底为圆台结构或棱台结构,透明衬底具有和第一发光结构接触的第一表面、和第二发光结构接触的第二表面以及倾斜侧壁,第一表面的面积大于第二表面的面积,第一发光结构利用倾斜侧壁出光,第一电极,位于第一反射层远离第一发光结构的一侧表面,第二电极,贯穿第一反射层和至少部分第一发光结构,第三电极,贯穿第三发光结构至第三反射层,第四电极,位于第三发光结构远离第三反射层的一侧表面。也就是说,通过将第一发光结构、第二发光结构和第三发光结构依次层叠,形成纵向结构,第一发光结构发射的光线利用第一反射层的反射通过透明衬底的倾斜侧壁出射,第二发光结构发射的光线利用第二反射层通过第三发光结构出射,第三发光结构发射的光线利用第三反射层进行反射出射,即第一发光结构、
第二发光结构和第三发光结构的发光方向朝向同一侧,避免处于同一平面的发光结构的侧面混色影响,并且通过4个电极,分别控制三个发光结构的发光,能够提高显示效果,降低工艺成本。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0033]图1示出了本申请实施例提供的一种微型发光二极管的结构示意图;
[0034]图2示出了本申请实施例提供的另一种微型发光二极管的结构示意图;
[0035]图3示出了本申请实施例提供的一种微型发光二极管的制造方法的流程示意图;
[0036]图4

图10示出了根据本申请实施例提供的制造方法制造微型发光二极管的结构示意图。
具体实施方式
[0037]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微型发光二极管,其特征在于,包括:依次层叠设置的第一反射层、第一发光结构、透明衬底、第二反射层、第二发光结构、第三反射层和第三发光结构;所述透明衬底为圆台结构或棱台结构,所述透明衬底具有和所述第一发光结构接触的第一表面、和所述第二发光结构接触的第二表面以及倾斜侧壁,所述第一表面的面积大于所述第二表面的面积,所述第一发光结构利用所述倾斜侧壁出光;第一电极,位于所述第一反射层远离所述第一发光结构的一侧表面;第二电极,贯穿所述第一反射层和至少部分所述第一发光结构;第三电极,贯穿所述第三发光结构至所述第三反射层;第四电极,位于所述第三发光结构远离所述第三反射层的一侧表面。2.根据权利要求1所述的微型发光二极管,其特征在于,所述第一发光结构的出光效率根据所述透明衬底的厚度以及所述第一表面和所述第二表面的比值确定。3.根据权利要求2所述的微型发光二极管,其特征在于,所述透明衬底的厚度范围为50

120微米,所述第一表面和所述第二表面的比值范围为[1,2]。4.根据权利要求1所述的微型发光二极管,其特征在于,所述第二发光结构和所述第三发光结构通过所述第三反射层实现电连接。5.根据权利要求1所述的微型发光二极管,其特征在于,所述第三反射层对所述第二发光结构的反射率小于第一阈值,所述第三反射层对所述第三发光结构的反射率大于第二阈值。6.根据权利要求1所述的微型发光二极管,其特征在于,所述透明衬底的材料为蓝宝石或氮化镓。7.根据权利要求6所述的微型发光二极管,其特征在于,若所述透明衬底的材料为蓝宝石,所述透明衬底具有导电接触,所述导电接触电连接所述第二反射层和所述第一发光结构。8.根据权利要求1
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【专利技术属性】
技术研发人员:林志伟陈凯轩柯志杰蔡建九艾国齐谈江乔江方
申请(专利权)人:厦门未来显示技术研究院有限公司
类型:发明
国别省市:

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