预测装置、预测方法以及程序制造方法及图纸

本发明专利技术针对包括化学机组中的反应的工艺提高预测精度。预测装置具备：工艺数据加工部，对从化学机组获得的工艺数据进行规定的加工处理；以及预测模型生成部，生成基于因果关系对从化学机组获得的工艺数据的特征进行了学习的预测模型，其中，该因果关系对从化学机组获得的工艺数据或通过工艺数据加工部进行了加工的工艺数据中的作为说明变量的第一工艺数据与作为目的变量的第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值的组合进行定义。此外，工艺数据加工部使用工艺数据来求出与规定的期间内的处理对象的反应速度相应的值。间内的处理对象的反应速度相应的值。间内的处理对象的反应速度相应的值。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】预测装置、预测方法以及程序


[0001]本公开涉及预测装置、预测方法以及程序。

技术介绍

[0002]以往，提出了一种在制造工艺中预测产物的质量或基于预测来进行动作的控制的技术。例如，提出了一种在制造工艺的制造中途预测产品的特性值，并基于该预测结果来计算后续工序的制造工艺的控制条件的预测系统(专利文献1)。本系统具备：数据库，储存按每个批次在制造工艺的工序中测定的数据和/或表示制造工艺的状态的数据；数式模型生成部，使用储存于数据库的数据来生成制造工艺的数式模型；产品特性预测部，对于制造中的批次，关于已处理的工序将实绩值输入数式模型，关于未处理工序将基于过去的批次而获得的代表值输入数式模型来预测产品的特性值；以及最优制造条件计算部，根据通过产品特性预测部得到的预测结果来计算未处理工序中的要控制的对象的工序的最优制造条件，该系统按每个规定的控制对象工序对制造中的批次实施通过产品特性预测部进行的预测和通过最优制造条件计算部进行的计算。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利第64774本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种预测装置，具备：工艺数据加工部，对从化学机组获得的工艺数据进行规定的加工处理；以及预测模型生成部，生成基于因果关系信息对从所述化学机组获得的所述工艺数据的特征进行了学习的预测模型，其中，所述因果关系信息对从所述化学机组获得的工艺数据或通过所述工艺数据加工部进行了加工的所述工艺数据中的作为说明变量的第一工艺数据与作为目的变量的第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值的组合进行定义，所述工艺数据加工部使用所述工艺数据来求出与规定的期间内的处理对象的反应速度相应的值。2.根据权利要求1所述的预测装置，其中，与所述反应速度相应的值是反应速度的积分值。3.根据权利要求2所述的预测装置，其中，与所述反应速度相应的值使用阿伦尼乌斯公式来计算，根据化学反应的类别和所述化学机组中的处理对象来决定反应速度常数的频率因子和活化能。4.根据权利要求1～3中任一项所述的预测装置，其中，所述工艺数据加工部还根据所述工艺数据的类别来求出规定的期间内的所述工艺数据的积分值、微分值、平均值、最大值或最小值，或求出规定的时间点的所述工艺数据的瞬时值。5.根据权利要求1～4中任一项所述的预测装置，其中，所述预测模型是包括多个预测式的分级结构，具有将通过第一预测式计算出的预测值包括在说明变量中的第二预测式。6.根据权利要求1～5中任一项所述的预测装置，其中，与所述第二工艺数据相应的值是通过缩分法对多个第二工艺数据进行采样而得到的值，所述预测模型生成部基于所述化学机组内的所述处理对象的停留时间，将所述化学机组中的所述第一工艺数据的获取定时的范围和与所述第二工艺数据相应的值的计算定时建立...

【专利技术属性】
技术研发人员：灰塚真浩，小园英俊，三好史浩，
申请(专利权)人：株式会社大赛璐，
类型：发明
国别省市：