一种晶圆ID全自动识别设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆ID全自动识别设备，包括：底座，其顶部开始的凹槽内壁底部贴合设置有转盘，所述转盘上表面贴合设置有晶圆本体，且晶圆本体的上表面边缘处刻印有二维码本体用于储存信息；还包括：透光环，其内侧固定安装在所述转盘的侧壁顶部，两者同轴设置，所述透光环的外侧固定套设有同轴设置的环板，且透光环的上表面与所述晶圆本体贴合设置，并且环板的内外两侧分别贴合设置有所述晶圆本体和底座；安装支架，其底部垂直连接在所述底座的顶部边缘处。该晶圆ID全自动识别设备，其自动化程度更高，能够自动转动晶圆以便于装置识别，且装置能够将晶圆精准定位到识别位置，从而降低了出错概率。而降低了出错概率。而降低了出错概率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆ID全自动识别设备


[0001]本技术涉及晶圆生产
，具体为一种晶圆ID全自动识别设备。

技术介绍

[0002]晶圆加工生产的过程，需要通过识别设备检测处晶圆表面的身份信息，从而判断实际型号和理论型号是否一致，然而现有的晶圆识别设备仍存在一些问题。
[0003]例如公开号为CN208954938U的一种晶圆及识别装置。所述晶圆，包括形成有器件结构的器件区域以及围绕所述器件区域的外围区域，还包括位于所述晶圆表面且包含有与所述晶圆相关的信息的至少一识别码；所述识别码至少部分位于所述外围区域且面积小于预设值
……
。其自动化程度较低，装置难以将晶圆精准定位到识别位置，从而增大了出错概率。
[0004]针对上述问题，急需在原有晶圆识别设备的基础上进行创新设计。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆ID全自动识别设备，以解决上述
技术介绍
提出现有的晶圆识别设备，其自动化程度较低，装置难以将晶圆精准定位到识别位置，从而增大了出错概率的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆ID全自动识别设备，包括:底座(1)，其顶部开始的凹槽内壁底部贴合设置有转盘(2)，所述转盘(2)上表面贴合设置有晶圆本体(5)，且晶圆本体(5)的上表面边缘处刻印有二维码本体(7)用于储存信息；其特征在于，还包括：透光环(3)，其内侧固定安装在所述转盘(2)的侧壁顶部，两者同轴设置，所述透光环(3)的外侧固定套设有同轴设置的环板(4)，且透光环(3)的上表面与所述晶圆本体(5)贴合设置，并且环板(4)的内外两侧分别贴合设置有所述晶圆本体(5)和底座(1)；安装支架(11)，其底部垂直连接在所述底座(1)的顶部边缘处，所述安装支架(11)的顶部固定安装有反射照明镜头(9)和成像远心CCD镜头(10)，且反射照明镜头(9)和成像远心CCD镜头(10)的轴线相交，并且反射照明镜头(9)和成像远心CCD镜头(10)位于所述晶圆本体(5)的边缘上方形成装置的识别结构。2.根据权利要求1所述的一种晶圆ID全自动识别设备，其特征在于：所述透光环(3)由钢化玻璃材料构成以便于透光，且透光环(3)的顶部与所述转盘(2)的上表面平齐，并且透光环(3)的正下方设置有竖直的照射镜头(8)，而且照射镜头(8)固定嵌设在所述底座(1)上。3.根据权利要求2所述的一种晶圆ID全自动识别设备，其特征在于：所述照射镜头(8)的照射端指向晶圆本体(5)的边缘，所述晶圆本体...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊，
申请(专利权)人：浙江载力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：