一种晶圆ID全自动识别设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆ID全自动识别设备，包括：底座，其顶部开始的凹槽内壁底部贴合设置有转盘，所述转盘上表面贴合设置有晶圆本体，且晶圆本体的上表面边缘处刻印有二维码本体用于储存信息；还包括：透光环，其内侧固定安装在所述转盘的侧壁顶部，两者同轴设置，所述透光环的外侧固定套设有同轴设置的环板，且透光环的上表面与所述晶圆本体贴合设置，并且环板的内外两侧分别贴合设置有所述晶圆本体和底座；安装支架，其底部垂直连接在所述底座的顶部边缘处。该晶圆ID全自动识别设备，其自动化程度更高，能够自动转动晶圆以便于装置识别，且装置能够将晶圆精准定位到识别位置，从而降低了出错概率。而降低了出错概率。而降低了出错概率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆ID全自动识别设备


[0001]本技术涉及晶圆生产
，具体为一种晶圆ID全自动识别设备。

技术介绍

[0002]晶圆加工生产的过程，需要通过识别设备检测处晶圆表面的身份信息，从而判断实际型号和理论型号是否一致，然而现有的晶圆识别设备仍存在一些问题。
[0003]例如公开号为CN208954938U的一种晶圆及识别装置。所述晶圆，包括形成有器件结构的器件区域以及围绕所述器件区域的外围区域，还包括位于所述晶圆表面且包含有与所述晶圆相关的信息的至少一识别码；所述识别码至少部分位于所述外围区域且面积小于预设值
……
。其自动化程度较低，装置难以将晶圆精准定位到识别位置，从而增大了出错概率。
[0004]针对上述问题，急需在原有晶圆识别设备的基础上进行创新设计。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆ID全自动识别设备，以解决上述
技术介绍
提出现有的晶圆识别设备，其自动化程度较低，装置难以将晶圆精准定位到识别位置，从而增大了出错概率的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆ID全自动识别设备，包括：
[0007]底座，其顶部开始的凹槽内壁底部贴合设置有转盘，所述转盘上表面贴合设置有晶圆本体，且晶圆本体的上表面边缘处刻印有二维码本体用于储存信息；
[0008]还包括：
[0009]透光环，其内侧固定安装在所述转盘的侧壁顶部，两者同轴设置，所述透光环的外侧固定套设有同轴设置的环板，且透光环的上表面与所述晶圆本体贴合设置，并且环板的内外两侧分别贴合设置有所述晶圆本体和底座；
[0010]安装支架，其底部垂直连接在所述底座的顶部边缘处，所述安装支架的顶部固定安装有反射照明镜头和成像远心CCD镜头，且反射照明镜头和成像远心CCD镜头的轴线相交，并且反射照明镜头和成像远心CCD镜头位于所述晶圆本体的边缘上方形成装置的识别结构。
[0011]优选的，所述透光环由钢化玻璃材料构成以便于透光，且透光环的顶部与所述转盘的上表面平齐，并且透光环的正下方设置有竖直的照射镜头，而且照射镜头固定嵌设在所述底座上，使得照射镜头的光线能够穿过透光环。
[0012]优选的，所述照射镜头的照射端指向晶圆本体的边缘，所述晶圆本体的边缘处开设有用于校准位置的定位槽，且定位槽位于所述透光环的上方，并且定位槽靠近二维码本体设置，使得光线能够穿过晶圆本体的边缘的定位槽。
[0013]优选的，所述反射照明镜头的轴线与水平面呈45
°
角倾斜设置，且反射照明镜头、
成像远心CCD镜头和照射镜头的轴线位于同一竖直平面内，通过成像远心CCD镜头获取图像信息。
[0014]优选的，所述转盘的顶部中心处滑动嵌设有支撑盘，两者同轴设置，且支撑盘同轴设置在所述晶圆本体的正下方，并且支撑盘的底面中心处垂直连接有电缸输出端的端面，所述电缸的输出端滑动贯穿于所述底座设置，且电缸和电机固定安装在所述底座的底部，使得电缸能够推动支撑盘。
[0015]优选的，所述转盘的底面上同轴连接有限位环，且限位环的截面呈“L”形，并且限位环的外壁同轴贴合在所述底座的底部，所述限位环的底部侧壁上固定套设有齿环，且齿环贴合于所述底座的底面设置，并且齿环的边侧设置有动力齿轮形成啮合传动结构，而且动力齿轮固定安装在所述电机的输出轴上，使得动力齿轮能够带动齿环转动。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该晶圆ID全自动识别设备，其自动化程度更高，能够自动转动晶圆以便于装置识别，且装置能够将晶圆精准定位到识别位置，从而降低了出错概率，其具体内容如下：
[0017]1、底座顶部开始的凹槽内壁底部贴合设置有转盘，转盘上表面贴合设置有晶圆本体，转盘的底面上同轴连接有限位环，限位环的底部侧壁上固定套设有齿环，齿环贴合在底座的底面上，齿环的边侧设置有动力齿轮形成啮合传动结构，动力齿轮固定安装在电机的输出轴上，电机通过动力齿轮带动齿环转动，此时齿环将通过限位环带动转盘转动，使得转盘上的晶圆同步移动；
[0018]2、转盘外壁上同轴连接的透光环由钢化玻璃材料构成以便于透光，透光环的顶部与转盘的上表面平齐，透光环的正下方设置有竖直的照射镜头，照射镜头的照射端指向晶圆本体的边缘，晶圆本体的边缘处开设有用于校准位置的定位槽，反射照明镜头、成像远心CCD镜头和照射镜头的轴线位于同一竖直平面内，当转盘带动透光环和晶圆本体转动至一定角度时，晶圆本体上的定位槽将位于照射镜头的上方，此时照射镜头产生的光线能够穿过定位槽，使得成像远心CCD镜头接收到光线，远心CCD镜头通过控制系统关闭电机，实现定位。
附图说明
[0019]图1为本技术整体外部结构示意图；
[0020]图2为本技术齿环安装结构示意图；
[0021]图3为本技术环板安装结构示意图；
[0022]图4为本技术透光环安装结构示意图；
[0023]图5为本技术照射镜头安装结构示意图；
[0024]图6为本技术反射照明镜头安装结构示意图。
[0025]图中：1、底座；2、转盘；3、透光环；4、环板；5、晶圆本体；6、定位槽；7、二维码本体；8、照射镜头；9、反射照明镜头；10、成像远心CCD镜头；11、安装支架；12、支撑盘；13、电缸；14、限位环；15、齿环；16、动力齿轮；17、电机。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]请参阅图1
‑
6，本技术提供一种技术方案：一种晶圆ID全自动识别设备，包括：
[0028]底座1，其顶部开始的凹槽内壁底部贴合设置有转盘2，转盘2上表面贴合设置有晶圆本体5，且晶圆本体5的上表面边缘处刻印有二维码本体7用于储存信息；
[0029]还包括：
[0030]透光环3，其内侧固定安装在转盘2的侧壁顶部，两者同轴设置，透光环3的外侧固定套设有同轴设置的环板4，且透光环3的上表面与晶圆本体5贴合设置，并且环板4的内外两侧分别贴合设置有晶圆本体5和底座1；
[0031]安装支架11，其底部垂直连接在底座1的顶部边缘处，安装支架11的顶部固定安装有反射照明镜头9和成像远心CCD镜头10，且反射照明镜头9和成像远心CCD镜头10的轴线相交，并且反射照明镜头9和成像远心CCD镜头10位于晶圆本体5的边缘上方形成装置的识别结构。
[0032]透光环3由钢化玻璃材料构成以便于透光，且透光环3的顶部与转盘2的上表面平齐，并且透光环3的正下方设置有竖直的照射镜头8，而且照射镜头8固定嵌设在底座1上，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆ID全自动识别设备，包括:底座(1)，其顶部开始的凹槽内壁底部贴合设置有转盘(2)，所述转盘(2)上表面贴合设置有晶圆本体(5)，且晶圆本体(5)的上表面边缘处刻印有二维码本体(7)用于储存信息；其特征在于，还包括：透光环(3)，其内侧固定安装在所述转盘(2)的侧壁顶部，两者同轴设置，所述透光环(3)的外侧固定套设有同轴设置的环板(4)，且透光环(3)的上表面与所述晶圆本体(5)贴合设置，并且环板(4)的内外两侧分别贴合设置有所述晶圆本体(5)和底座(1)；安装支架(11)，其底部垂直连接在所述底座(1)的顶部边缘处，所述安装支架(11)的顶部固定安装有反射照明镜头(9)和成像远心CCD镜头(10)，且反射照明镜头(9)和成像远心CCD镜头(10)的轴线相交，并且反射照明镜头(9)和成像远心CCD镜头(10)位于所述晶圆本体(5)的边缘上方形成装置的识别结构。2.根据权利要求1所述的一种晶圆ID全自动识别设备，其特征在于：所述透光环(3)由钢化玻璃材料构成以便于透光，且透光环(3)的顶部与所述转盘(2)的上表面平齐，并且透光环(3)的正下方设置有竖直的照射镜头(8)，而且照射镜头(8)固定嵌设在所述底座(1)上。3.根据权利要求2所述的一种晶圆ID全自动识别设备，其特征在于：所述照射镜头(8)的照射端指向晶圆本体(5)的边缘，所述晶圆本体...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊，
申请(专利权)人：浙江载力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：