【技术实现步骤摘要】
一种垂直偏离角度的测量方法和电子设备
[0001]本专利技术实施例涉及光学
,特别涉及一种垂直偏离角度的测量方法和电子设备。
技术介绍
[0002]在现有技术中,通常采用光栅尺仪、垂直角规等工具测量两个面的垂直度和垂直偏离角度,然而,这种利用精密仪器对两个面进行测量的方式,操作复杂,且制造精密仪器的成本较高。
技术实现思路
[0003]本专利技术实施例的目的是提供一种垂直偏离角度的测量方法和电子设备,测量操作简单且降低了测量成本。
[0004]为解决上述技术问题,第一方面,本专利技术实施方式采用的一个技术方案是:提供一种垂直偏离角度的测量方法,该测量方法用于测量设置在待测件内的透过反射面相对于所述待测件的基准表面的垂直偏离角度,所述透过反射面包括相互平行的第一透过反射面和第二透过反射面,所述基准表面包括相互平行的第一表面和第二表面;所述测量方法包括:提供入射波束;控制所述入射波束以预设入射角从所述基准表面入射至所述待测件内,使所述入射波束经所述第一透过反射面和所述第二透过反射面反射后,形成第一反射波和第二反射波;其中,所述入射波束从所述第一表面入射至所述待测件内后,产生第一波束;所述第一波束在所述待测件内传播至所述第一透过反射面,并经所述第一透过反射面反射形成第一反射波;经所述第一透过反射面透射的第一波束在所述待测件内传播至所述第二表面,并经所述第二表面反射形成第二波束,所述第二波束在所述待测件内传播至所述第二透过反射面,并经所述第二透过反射面反射形成第二反射波;获取所述第一反射波传播至 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种垂直偏离角度的测量方法,其特征在于,用于测量设置在待测件内的透过反射面相对于所述待测件的基准表面的垂直偏离角度,所述透过反射面包括相互平行的第一透过反射面和第二透过反射面,所述基准表面包括相互平行的第一表面和第二表面;所述测量方法包括:提供入射波束;控制所述入射波束以预设入射角从所述基准表面入射至所述待测件内,使所述入射波束经所述第一透过反射面和所述第二透过反射面反射后,形成第一反射波和第二反射波;其中,所述入射波束从所述第一表面入射至所述待测件内后,产生第一波束;所述第一波束在所述待测件内传播至所述第一透过反射面,并经所述第一透过反射面反射形成第一反射波;经所述第一透过反射面透射的第一波束在所述待测件内传播至所述第二表面,并经所述第二表面反射形成第二波束,所述第二波束在所述待测件内传播至所述第二透过反射面,并经所述第二透过反射面反射形成第二反射波;获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角;根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述垂直偏离角度。2.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述第一反射波透过所述基准表面出射形成第一出射波,且第二反射波透过所述基准表面出射形成第二出射波,所述获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角,包括:获取所述第一出射波对应的第一出射角以及获取所述第二出射波对应的第二出射角;根据所述第一出射角以及所述第二出射角,得到所述第一入射角和所述第二入射角。3.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述第一反射波透过所述基准表面出射形成第一出射波,且所述第二反射波在所述基准表面刚好不发生全反射,所述获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角,包括:获取所述第一出射波对应的第一出射角,并以90
°
作为第二出射角;根据所述第一出射角以及所述第二出射角,得到所述第一入射角和所述第二入射角;或者,所述第二反射波透过所述基准表面出射形成第二出射波,且所述第一反射波在所述基准表面刚好不发生全反射,所述获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角,包括:获取所述第二出射波对应的第二出射角,并以90
°
作为第一出射角;根据所述第一出射角以及所述第二出射角,得到所述第一入射角和所述第二入射角。4.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述垂直偏离角度,包括:根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角;根据所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角,得到所述垂直偏离角度。5.根据权利要求4所述的测量方法,其特征在于,所述根据所述第一入射角和所述第二
入射角,得到所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角,包括:建立空间直角...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄浩,宋强,马国斌,
申请(专利权)人:深圳珑璟光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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