一种垂直偏离角度的测量方法和电子设备技术

技术编号:34903840 阅读:18 留言:0更新日期:2022-09-10 14:15
本发明专利技术提供了一种垂直偏离角度的测量方法和电子设备,该测量方法包括提供入射波束;控制入射波束以预设入射角从基准表面入射至待测件内,使入射波束通过第一透过反射面和第二透过反射面反射后,形成第一反射波和第二发射波;获取第一反射波传播至基准表面的第一入射角,以及第二反射波传播至基准表面的第二入射角;根据第一入射角和第二入射角,得到垂直偏离角度。该测量方法不用破坏待测件,使用波束即可测得垂直偏离角度,测量方式操作简单,且能降低测量成本。且能降低测量成本。且能降低测量成本。

【技术实现步骤摘要】
一种垂直偏离角度的测量方法和电子设备


[0001]本专利技术实施例涉及光学
,特别涉及一种垂直偏离角度的测量方法和电子设备。

技术介绍

[0002]在现有技术中,通常采用光栅尺仪、垂直角规等工具测量两个面的垂直度和垂直偏离角度,然而,这种利用精密仪器对两个面进行测量的方式,操作复杂,且制造精密仪器的成本较高。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例的目的是提供一种垂直偏离角度的测量方法和电子设备,测量操作简单且降低了测量成本。
[0004]为解决上述技术问题,第一方面,本专利技术实施方式采用的一个技术方案是:提供一种垂直偏离角度的测量方法,该测量方法用于测量设置在待测件内的透过反射面相对于所述待测件的基准表面的垂直偏离角度,所述透过反射面包括相互平行的第一透过反射面和第二透过反射面,所述基准表面包括相互平行的第一表面和第二表面;所述测量方法包括:提供入射波束;控制所述入射波束以预设入射角从所述基准表面入射至所述待测件内,使所述入射波束经所述第一透过反射面和所述第二透过反射面反射后,形成第一反射波和第二反射波;其中,所述入射波束从所述第一表面入射至所述待测件内后,产生第一波束;所述第一波束在所述待测件内传播至所述第一透过反射面,并经所述第一透过反射面反射形成第一反射波;经所述第一透过反射面透射的第一波束在所述待测件内传播至所述第二表面,并经所述第二表面反射形成第二波束,所述第二波束在所述待测件内传播至所述第二透过反射面,并经所述第二透过反射面反射形成第二反射波;获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角;根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述垂直偏离角度。
[0005]在一些实施例中,所述第一反射波透过所述基准表面出射形成第一出射波,且第二反射波透过所述基准表面出射形成第二出射波,所述获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角,包括:获取所述第一出射波对应的第一出射角以及获取所述第二出射波对应的第二出射角;根据所述第一出射角以及所述第二出射角,得到所述第一入射角和所述第二入射角。
[0006]在一些实施例中,所述第一反射波透过所述基准表面出射形成第一出射波,且所述第二反射波在所述基准表面刚好不发生全反射,所述获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角,包括:获取所述第一出射波对应的第一出射角,并以90
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作为第二出射角;根据所述第一出射角以及所述第二出射角,得到所述第一入射角和所述第二入射角;或者,所述第二反射波透过所述基准表面出射形成第二出射波,且所述第一反射波在所述基准表面刚好不发生全反射,所述
获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角,包括:获取所述第二出射波对应的第二出射角,并以90
°
作为第一出射角;根据所述第一出射角以及所述第二出射角,得到所述第一入射角和所述第二入射角。
[0007]在一些实施例中,所述根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述垂直偏离角度,包括:根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角;根据所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角,得到所述垂直偏离角度。
[0008]在一些实施例中,所述根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角,包括:建立空间直角坐标系,其中,所述空间直角坐标系包括相互垂直的第一坐标轴、第二坐标轴和第三坐标轴,所述入射波束与所述第一坐标轴垂直,所述基准表面与所述第三坐标轴垂直;以所述第一波束的方向在所述空间直角坐标系中的第一方向余弦和第二方向余弦、所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角为未知量,以所述第一入射角、所述第二入射角和交线与所述第二坐标轴之间的夹角为已知量,建立方程组;其中,所述第一方向余弦为所述第一波束的方向与所述第二坐标轴之间的夹角的余弦,所述第二方向余弦为所述第一波束的方向与所述第三坐标轴之间的夹角的余弦;所述交线为所述透过反射面与所述基准表面的相交线;解所述方程组,得到所述垂直偏离角度。
[0009]在一些实施例中,所述解所述方程组,得到所述垂直偏离角度,包括:解所述方程,得到所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角的余弦;根据所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角的余弦,得到所述垂直偏离角度;其中,所述方程组为:;其中,为所述第一入射角,为所述第二入射角,为所述第一方向余弦,为所述第二方向余弦,为所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角的余弦,为所述交线与X轴之间的夹角的余弦。
[0010]在一些实施例中,所述第一出射波为第一出射光,所述第二出射波为第二出射光;在所述第一出射光和所述第二出射光的出射方向设有投影平面,所述投影平面与所述基准表面垂直;所述获取所述第一出射波对应的第一出射角,包括:获取所述第一出射光照射在所述投影平面上产生的第一光斑与所述基准表面的延长面的第一距离,以及所述第一出射光的出射点与所述投影平面的第二距离;根据所述第一距离和所述第二距离,得到所述第一出射角;所述获取所述第二出射波对应的第二出射角,包括:获取所述第二出射光照射在所述投影平面上产生的第二光斑与所述基准表面的延长面的第三距离,以及所述第二出射光的出射点与所述投影平面的第四距离;根据所述第三距离和所述第四距离,得到所述第二出射角。
[0011]在一些实施例中,所述测量方法还包括:通过以下公式得到所述预设入射角:;
其中,为所述第一表面与所述第二表面之间的距离,为所述入射波束入射至所述待测件内的折射角,为所述入射波束的波束半径,为所述第一透过反射面与所述第二透过反射面在所述入射波束的入射方向平行于所述基准表面的分方向上的距离,为所述待测件的折射率。
[0012]为解决上述技术问题,第二方面,本专利技术实施例提供一种电子设备,该电子设备包括:至少一个处理器;以及,与所述至少一个处理器通信连接的存储器;其中,所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令,所述指令被所述至少一个处理器执行,以使所述至少一个处理器能够执行如第一方面任意一项所述的测量方法。
[0013]为解决上述技术问题,第三方面,本专利技术实施例还提供了一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质存储有计算机可执行指令,所述计算机可执行指令用于使计算机执行如上第一方面所述的方法。
[0014]为解决上述技术问题,第四方面,本专利技术实施例还提供了一种计算机程序产品,所述计算机程序产品包括存储在计算机可读存储介质上的计算机程序,所述计算机程序包括程序指令,当所述程序指令被计算机执行时,使所述计算机执行如上第一方面所述的方法。
[0015]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:区别于现有技术的情况,本专利技术提供了一种垂直偏离角度的测量方法和电子设备,该测量方法包括提供入射波束;控制入射波束以预设入射角从本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种垂直偏离角度的测量方法,其特征在于,用于测量设置在待测件内的透过反射面相对于所述待测件的基准表面的垂直偏离角度,所述透过反射面包括相互平行的第一透过反射面和第二透过反射面,所述基准表面包括相互平行的第一表面和第二表面;所述测量方法包括:提供入射波束;控制所述入射波束以预设入射角从所述基准表面入射至所述待测件内,使所述入射波束经所述第一透过反射面和所述第二透过反射面反射后,形成第一反射波和第二反射波;其中,所述入射波束从所述第一表面入射至所述待测件内后,产生第一波束;所述第一波束在所述待测件内传播至所述第一透过反射面,并经所述第一透过反射面反射形成第一反射波;经所述第一透过反射面透射的第一波束在所述待测件内传播至所述第二表面,并经所述第二表面反射形成第二波束,所述第二波束在所述待测件内传播至所述第二透过反射面,并经所述第二透过反射面反射形成第二反射波;获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角;根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述垂直偏离角度。2.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述第一反射波透过所述基准表面出射形成第一出射波,且第二反射波透过所述基准表面出射形成第二出射波,所述获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角,包括:获取所述第一出射波对应的第一出射角以及获取所述第二出射波对应的第二出射角;根据所述第一出射角以及所述第二出射角,得到所述第一入射角和所述第二入射角。3.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述第一反射波透过所述基准表面出射形成第一出射波,且所述第二反射波在所述基准表面刚好不发生全反射,所述获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角,包括:获取所述第一出射波对应的第一出射角,并以90
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作为第二出射角;根据所述第一出射角以及所述第二出射角,得到所述第一入射角和所述第二入射角;或者,所述第二反射波透过所述基准表面出射形成第二出射波,且所述第一反射波在所述基准表面刚好不发生全反射,所述获取所述第一反射波传播至所述基准表面的第一入射角,以及所述第二反射波传播至所述基准表面的第二入射角,包括:获取所述第二出射波对应的第二出射角,并以90
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作为第一出射角;根据所述第一出射角以及所述第二出射角,得到所述第一入射角和所述第二入射角。4.根据权利要求1所述的测量方法,其特征在于,所述根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述垂直偏离角度,包括:根据所述第一入射角和所述第二入射角,得到所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角;根据所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角,得到所述垂直偏离角度。5.根据权利要求4所述的测量方法,其特征在于,所述根据所述第一入射角和所述第二
入射角,得到所述透过反射面与所述基准表面之间的夹角,包括:建立空间直角...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄浩宋强马国斌
申请(专利权)人:深圳珑璟光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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