一种多波长准分子激光加工系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多波长准分子激光加工系统，包括工作台，工作台上设有能够向外发射不同波长激光的第一激光激励发生器、第二激光激励发生器及第三激光激励发生器，工作台上设有第一反射镜、第二反射镜及第三反射镜，工作台上还设有能够使得第一反射镜、第二反射镜或第三反射镜反射的激光通过的光学系统，多波长准分子激光加工系统还包括控制系统、高压充电电源及用于装夹工件的加工台。本实用新型专利技术目的是克服了现有技术的不足，根据准分子激光器结构和技术特点提供的一种在单台系统上能够发射多种波长准分子激光的多波长准分子激光加工系统。光加工系统。光加工系统。

【技术实现步骤摘要】
一种多波长准分子激光加工系统


[0001]本技术涉及一种多波长准分子激光加工系统。

技术介绍

[0002]准分子激光器输出的激光波长根据工作气体介质的不同而不同，例如，对应ArF、KrF及XeCl工作气体分别产生波长为193nm、248nm及308nm的准分子激光。而在激光加工中，对应不同的材料需要选择不同波长的激光。现有的准分子激光加工系统都是基于一种工作气体产生一种波长的激光，因此在材料加工、特别是材料加工工艺开发阶段缺少一种多波长准分子激光加工系统，往往是采用多台单波长输出的准分子激光器进行工艺探索和验证。因此，需要一种同时可以输出多波长准分子激光的集成的加工系统。
[0003]本技术正是基于上述需求而产生的。

技术实现思路

[0004]本技术目的是克服了现有技术的不足，根据准分子激光器结构和技术特点提供的一种在单台系统上能够发射多种波长准分子激光的多波长准分子激光加工系统。
[0005]本技术是通过以下技术方案实现的：
[0006]一种多波长准分子激光加工系统，包括工作台1，所述的工作台1上设有能够向外发射不同波长激光的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23，所述的工作台1上设有能够与第一激光激励发生器21位置对应并改变第一激光激励发生器21激光射出方向的第一反射镜31，所述的工作台1上还活动连接有与第二激光激励发生器22位置对应并改变第二激光激励发生器22激光射出方向的第二反射镜32，所述的工作台1上还活动连接有与第三激光激励发生器23位置对应并改变第三激光激励发生器23激光射出方向的第三反射镜33，且当第一反射镜31反射激光时所述的第二反射镜32及第三反射镜33能够相对工作台1移动而为第一反射镜31反射的激光让路，且当第二反射镜32反射激光时所述的第三反射镜33能够相对工作台1移动而为第二反射镜32反射的激光让路，所述的工作台1上还设有能够使得第一反射镜31、第二反射镜32或第三反射镜33反射的激光通过的光学系统4，所述的多波长准分子激光加工系统还包括能够控制第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23工作的控制系统5及能为第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22、第三激光激励发生器23供电的高压充电电源93及用于装夹工件6的加工台7。
[0007]所述的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23在竖直方向上堆叠设置，所述的第一反射镜31、第二反射镜32及第三反射镜33上下间隔设置并分别与第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23位置对应，且所述的第二反射镜32及第三反射镜33能够相对工作台1移动。
[0008]所述的光学系统4包括滑动连接于工作台1上的镜架41，所述的镜架41上设有能够与第一反射镜31对应的第一光学激光镜组42、能够与第二反射镜32对应的第二光学激光镜
组43及能够与第三反射镜33对应的第三光学激光镜组44。
[0009]所述的第一光学激光镜组42、第二光学激光镜组43及第三光学激光镜组44左右间隔设置，所述的镜架41相对工作台1左右移动而使得第一光学激光镜组42、第二光学激光镜组43及第三光学激光镜组44能分别与第一反射镜31第二反射镜32及第三反射镜33相对应。
[0010]所述的第一光学激光镜组42包括第一扩束镜421和第一聚焦透镜422；所述的第二光学激光镜组43包括第二扩束镜431和第二聚焦透镜432；所述的第三光学激光镜组44包括第三扩束镜441和第三聚焦透镜442。
[0011]所述的第一反射镜31、第二反射镜32及第三反射镜33上镀有全反膜91，所述的第一光学激光镜组42、第二光学激光镜组43及第三光学激光镜组44上镀有对应不同激光波长的增透膜92。
[0012]所述的工作台1上还连接有能够检测加工台7上加工完成的工件6的检测装置100，且所述的检测装置100与控制系统5电连接。
[0013]所述的工作台1上设有滑轨451，所述的滑轨451上设有能够相对其滑动的滑块452，所述的镜架41连接于滑块452上且在滑块452相对滑轨451移动时能够使得第一光学激光镜组42、第二光学激光镜组43及第三光学激光镜组44分别与第一反射镜31第二反射镜32及第三反射镜33相对应，所述的滑轨451上设有能够驱动滑块452滑动的驱动件453。
[0014]所述的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23均包括设于工作台1上的框架82，所述的框架82内连接有用于储存气体的储气罐81，所述的储气罐81上通过阀门83连接有气体循环腔84，气体循环腔84内的激光气体通过内部的循环驱动将激光气体送入激光谐振腔88，所述的框架82内还连接有激励电路85和高压开关86，所述的高压开关86控制激励电路85对激光谐振腔88内的气体激励而产生激光，所述的高压充电电源93与激励电路85及高压开关86电连接，所述的激光谐振腔88的出口端还设置有激光谐振镜片87。
[0015]所述的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23分别能够发射193nm、248nm及308nm的激光，所述的第一激光激励发生器21、第二激光激励发生器22及第三激光激励发生器23的储气罐81内分别储存有ArF气体、KrF气体及XeCl气体。
[0016]与现有技术相比，本技术有如下优点：本技术多波长准分子激光加工系统具有能够发射不同波长准分子激光的第一激光激励发生器、第二激光激励发生器及第三激光激励发生器，不同的激光激励发生器对应不同的准分子激光工作气体。因此可以在同一系统上根据激光激励发生器的选择实现可以自由选择多种不同波长的准分子激光进行材料加工。第一激光激励发生器、第二激光激励发生器及第三激光激励发生器发出的激光可以分别通过45
°
反射镜转向到同一方向，当第一激光激励发生器发射激光时激光通过第一反射镜后射出至光学激光系统，此时第二反射镜和第三反射镜相对工作台移动而为第一反射镜反射的激光让路，而使得第一反射镜反射的激光能够通过光学激光系统后到达装夹工件的加工台，从而对加工台上的工件进行加工处理。同时，若第二激光激励发生器发出激光通过第二反射镜反射时，第三反射镜同样也相对工作台移动而为第二反射镜反射的激光让路，仅需要操作控制系统就能够根据实际需要选择不同波长的激光，从而完成材料加工工艺探索和验证。当然，本系统可以不止发生三种不同波长的激光，可以根据实际需要设置
更多的并能产生不同波长的激光激励发生器。
【附图说明】
[0017]图1是本技术多波长准分子激光加工系统的示意图；
[0018]图2是本技术多波长准分子激光加工系统中第一激光激励发生器、第二激光激励发生器及第三激光激励发生器的示意图；
[0019]图3是本技术多波长准分子激光加工系统中用于选择不同波长激光对应本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多波长准分子激光加工系统，其特征在于：包括工作台(1)，所述的工作台(1)上设有能够向外发射不同波长激光的第一激光激励发生器(21)、第二激光激励发生器(22)及第三激光激励发生器(23)，所述的工作台(1)上设有能够与第一激光激励发生器(21)位置对应并改变第一激光激励发生器(21)激光射出方向的第一反射镜(31)，所述的工作台(1)上还活动连接有与第二激光激励发生器(22)位置对应并改变第二激光激励发生器(22)激光射出方向的第二反射镜(32)，所述的工作台(1)上还活动连接有与第三激光激励发生器(23)位置对应并改变第三激光激励发生器(23)激光射出方向的第三反射镜(33)，且当第一反射镜(31)反射激光时所述的第二反射镜(32)及第三反射镜(33)能够相对工作台(1)移动而为第一反射镜(31)反射的激光让路，且当第二反射镜(32)反射激光时所述的第三反射镜(33)能够相对工作台(1)移动而为第二反射镜(32)反射的激光让路，所述的工作台(1)上还设有能够使得第一反射镜(31)、第二反射镜(32)或第三反射镜(33)反射的激光通过的光学系统(4)，所述的多波长准分子激光加工系统还包括能够控制第一激光激励发生器(21)、第二激光激励发生器(22)及第三激光激励发生器(23)工作的控制系统(5)及能为第一激光激励发生器(21)、第二激光激励发生器(22)、第三激光激励发生器(23)供电的高压充电电源(93)及用于装夹工件(6)的加工台(7)。2.根据权利要求1所述的多波长准分子激光加工系统，其特征在于：所述的第一激光激励发生器(21)、第二激光激励发生器(22)及第三激光激励发生器(23)在竖直方向上堆叠设置，所述的第一反射镜(31)、第二反射镜(32)及第三反射镜(33)上下间隔设置并分别与第一激光激励发生器(21)、第二激光激励发生器(22)及第三激光激励发生器(23)位置对应，且所述的第二反射镜(32)及第三反射镜(33)能够相对工作台(1)移动。3.根据权利要求2所述的多波长准分子激光加工系统，其特征在于：所述的光学系统(4)包括滑动连接于工作台(1)上的镜架(41)，所述的镜架(41)上设有能够与第一反射镜(31)对应的第一光学激光镜组(42)、能够与第二反射镜(32)对应的第二光学激光镜组(43)及能够与第三反射镜(33)对应的第三光学激光镜组(44)。4.根据权利要求3所述的多波长准分子激光加工系统，其特征在于：所述的第一光学激光镜组(42)、第二光学激光镜组(43)及第三光学激光镜组(44)左右间隔设置，所述的镜架(41)相对工作台(1)左右移动而使得第一光学激光镜组(42)、第二光学激光镜组(43)及第三光学激光镜组(44)能分别与第一反射镜(31)第二反射镜(32)...

【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，游利兵，朱能伟，刘弘禹，方晓东，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：新型
国别省市：