【技术实现步骤摘要】
带定位孔的压力弹性体
[0001]本技术涉及一种压力弹性体,尤其涉及一种方便光刻工艺定位的带定位孔的压力弹性体。
技术介绍
[0002]溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器,它具有精度高、稳定性好以及测量介质温度高等优点,在航空、航天、军工、核工业、石化、交通、冶金、食品、医药等许多领域得到应用。
[0003]但溅射薄膜压力传感器的敏感芯体(敏感芯体是由弹性体经研磨抛光、镀膜、光刻等工艺制造出来的)制造工艺繁杂,且生产效率不高,其中最困难的一个工艺是弹性体的光刻工艺,主要表现在进行光刻工艺时,由于图形需要进行二次光刻,这就存在套刻的问题。常规的弹性体是圆柱体,在进行二次套刻工艺时无法定位,只能一次光刻一只产品,生产效率极低。
[0004]因此,开发一种方便光刻工艺定位的带定位孔的压力弹性体极其重要。
[0005]在不影响弹性体任何性能的前提下,将常规的圆形弹性体底面增加定位孔,设计吻合好有定位孔的弹性体光刻夹具,这样可以一次数十个甚至数百个弹性体进行套刻工艺,极大地提高生产效率,解决上述存在的问题。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供一种带定位孔的压力弹性体,针对现有技术的不足,实现压力弹性体二次套刻工艺可以批量进行、生产效率大大提高的目的。
[0007]为解决以上技术问题,本技术的技术方案是:其特征在于:包括金属材料制造的圆柱形本体,所述本体下端加工有压力腔;所述本体上端加工有应变体,所述本体外周加工有凸台,所述本体的下端面任一位置加工有方便光刻工艺定 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带定位孔的压力弹性体,其特征在于:包括金属材料制造的圆柱形本体(1),所述本体(1)下端加工有压力腔(2);所述本体(1)上端加工有应变体(3),所述本体(...
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