一种籽晶支撑装置制造方法及图纸

本说明书实施例提供一种籽晶支撑装置，所述籽晶支撑装置包括：籽晶杆；籽晶托，所述籽晶托与所述籽晶杆相连接，所述籽晶托至少包括部分散热结构。分散热结构。分散热结构。

【技术实现步骤摘要】
一种籽晶支撑装置


[0001]本说明书涉及晶体制备
，特别涉及一种基于溶液法生长晶体的籽晶支撑装置。

技术介绍

[0002]在基于溶液法(例如，液相外延法(Liquid Phase Epitaxy,LPE))制备晶体时，一般采用上下两面均为平面的圆盘形籽晶托。在晶体制备过程中，由于温度或液体对流的影响，生长出的晶体生长面(例如，界面凸度)难以控制。例如，如图3所示，生长出的晶体下表面不平整，无固定形状。因此，需要提供一种籽晶支撑装置，以控制或改善所生长的晶体生长面。

技术实现思路

[0003]本说明书实施例之一提供一种籽晶支撑装置，所述籽晶支撑装置包括：籽晶杆；籽晶托，所述籽晶托与所述籽晶杆相连接，所述籽晶托至少包括部分散热结构。
[0004]在一些实施例中，所述散热结构包括中心厚边缘薄的阶梯状凸起结构。
[0005]在一些实施例中，所述散热结构包括中心高边缘低的圆锥形凸起结构。
[0006]在一些实施例中，所述散热结构包括所述籽晶托内的至少一个水平通孔。
[0007]在一些实施例中，所述籽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶支撑装置，其特征在于，所述籽晶支撑装置包括：籽晶杆；籽晶托，所述籽晶托与所述籽晶杆相连接，所述籽晶托至少包括部分散热结构。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述散热结构包括中心厚边缘薄的阶梯状凸起结构。3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述散热结构包括中心高边缘低的圆锥形凸起结构。4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述散热结构包括所述籽晶托内的至少一个水平通孔。5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述籽晶托通过中心竖直孔与所述籽晶杆相连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宇，官伟明，李敏，梁振兴，
申请(专利权)人：眉山博雅新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：