多单色仪光谱仪装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种多单色仪光谱仪装置，旨在解决现在去除杂散光采用的方法要求精度高，成本高的不足。该发明专利技术包括底座和光栅座，所述光栅座转动连接所述底座，所述光栅座包括至少两个光栅，所述底座包括若干光学元件，所述底座具有主光路，主光路包括若干分光路，所述分光路包括第一光路和第二光路，第一光路为对应所述光栅的入射光路，第二光路为对应所述光栅的出射光路，各个分光路的第一光路与对应所述光栅的夹角相同，在应用状态下，光源产生的光线沿着所述第一光路以平行准直光束出射至所述光栅，所述底座在所述主光路的末端设有光探测装置。本装置具有高效的滤光能力，在降低成本的前提下提高了精度。本的前提下提高了精度。本的前提下提高了精度。

【技术实现步骤摘要】
多单色仪光谱仪装置


[0001]本专利技术涉及光谱仪装置，更具体地说，它涉及一种多单色仪光谱仪装置。

技术介绍

[0002]在紫外测量中，杂散光对测试结果的影响很大，传统的单色仪光谱仪的杂散光抑制能力不能满足精密测量需求，因此需要采用双级联单色仪分光后进行测量，现有的双单色仪光谱仪实现方案往往采用两个独立单色仪串联，为了保证测量同步性，对机械制造、装调、软件控制的要求较高，因此成本较高。

技术实现思路

[0003]本专利技术克服了现在为了去除杂散光采用的方法要求精度高，成本高的不足，提供了一种测量精度高、结构紧凑、制作容易、使用方便的多单色仪光谱仪装置。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]一种多单色仪光谱仪装置，包括底座和光栅座，所述光栅座转动连接所述底座，所述光栅座包括至少两个光栅，所述底座包括若干光学元件，所述底座具有主光路，主光路包括若干分光路，所述分光路经所述光学元件形成；
[0006]所述分光路的数量与光栅数量适应，所述分光路包括第一光路和第二光路，第一光路为对应所述光栅的入射光路，第二光路为对应所述光栅的出射光路，各个分光路的第一光路与对应所述光栅的夹角相同，在应用状态下，光源产生的光线沿着所述第一光路以平行准直光束出射至所述光栅，所述底座在所述主光路的末端设有光探测装置。
[0007]单色仪是一种常用的分光仪器，利用色散元件把复色光分解为准单色光，能输出一系列独立的、光谱区间足够窄的单色光。通过设置两个以上的光栅，并保持分光路的第一光路与光栅的夹角相同，使得在扫描测量不同波长的光谱信号时，光栅完全同步，可以更好的过滤杂散光。两个光栅跟随光栅座同步运动，同步性好，可以极大的简化机械制造、装调和软件控制的要求，降低了成本。
[0008]作为优选，所述光学元件包括滤光器，所述滤光器位于主光路上。有利于进一步消除测量波段外的杂散光，提高测量精度。
[0009]作为优选，所述光栅座为电动旋转座。
[0010]作为优选，所述光探测装置为硅光电二极管或光电倍增管。光电倍增管灵敏度高，硅光电二极管稳定性好。
[0011]作为优选，所述光探测装置包括切换装置和两个光电传感器，一个所述光电传感器为硅光电二极管，另一个光电传感器为光电倍增管。切换装置切换硅光电二极管或光电倍增管，扩展仪器的测量功能，并提高测量精度。
[0012]作为优选，所述光栅为平面反射光栅。平面反射光栅性价比高，使用方便，测量精度高。
[0013]作为优选，所述底座包括有光阑，所述主光路通过所述光阑。在传输光路上设置用
于消除杂散光的光阑可以消除传输光路以外的非测量光线对测量结果的影响，提高测量精度。
[0014]作为优选，光栅的数量为两个，光栅座包括第一光栅和第二光栅，所述光学元件包括第一狭缝、第二狭缝、第三狭缝、第一凹面反射镜、第二凹面反射镜、第三凹面反射镜和第四凹面反射镜，在应用状态下，光源产生的光线依次经过第一狭缝的传输光路、第一凹面反射镜的传输光路、第一光栅的传输光路、第二凹面反射镜的传输光路、第二狭缝的传输光路、第三凹面反射镜的传输光路、第二光栅的传输光路、第四凹面反射镜的传输光路和第三狭缝的传输光路，并最终射向光探测装置。
[0015]作为优选，所述光栅具有工作面，两所述光栅的所述工作面的法线平行，两所述光栅的所述工作面的法线夹角为180度。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：通过将两个光栅固定设置在光栅座上，通过设计光路使得两个光栅的入射角相同，使得具有高效的滤光能力，在降低成本的前提下提高了精度。
附图说明
[0017]图1是本专利技术一实施例的结构示意图；
[0018]图中：
[0019]外壳1、底座10、进光口11、光栅座2、光栅21、第一光栅211、第二光栅212、主光路3、分光路31、第一光路311、第二光路312、光探测装置4、滤光器51、光阑52、第一狭缝531、第二狭缝532、第三狭缝533、第一凹面反射镜541、第二凹面反射镜542、第三凹面反射镜543、第四凹面反射镜544、第一平面反射镜551、第二平面反射镜552、遮光板6。
具体实施方式
[0020]下面结合附图与实施例对本公开作进一步说明。
[0021]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0022]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0023]在本公开中，术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于叙述本公开各部件或元件结构关系而确定的关系词，并非特指本公开中任一部件或元件，不能理解为对本公开的限制。
[0024]本公开中，术语如“固接”、“相连”、“连接”等应做广义理解，表示可以是固定连接，也可以是一体地连接或可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的相关科研或技术人员，可以根据具体情况确定上述术语在本公开中的具体含义，不能理解为对本公开的限制。
[0025]实施例：
[0026]一种多单色仪光谱仪装置，如图1所示，包括封闭且不透光的外壳1，外壳1具有底座10，在底座10上转动连接光栅座2。在本实施例中，光栅座2通过电动旋转装置转动连接底座10，电动旋转装置耦接控制电路。在光栅座2上具有至少两个光栅21。底座10在光栅座2的外围具有若干的光学元件。这些光学元件和外壳1构成了主光路3，外壳1具有进光口11，光源发出的光从进光口11进入后沿着主光路3进行滤光后射向光探测装置4。
[0027]在本实施例中，光栅21的数量为2个，光栅21为平面反射光栅21。光栅座2上具有第一光栅211和第二光栅212。两个光栅21到光栅座2轴心的距离相同。两个光栅21的工作面的法线平行，两个光栅21的工作面的法线夹角为180度。
[0028]在本实施例中，光学元件包括第一狭缝531、第二狭缝532、第三狭缝533、第一凹面反射镜541、第二凹面反射镜542、第三凹面反射镜543和第四凹面反射镜544。第一狭缝531位于第一凹面反射镜541的入射焦点上，第一凹面反射镜541位于第一狭缝531的出射光路上，第一光栅211位于第一凹面反射镜541的出射光路上，第二凹面反射镜542位于第一光栅211的出射光路上，第二狭缝532位于第二凹面反射镜542的出射焦点上，第二狭缝532同时位于第三凹面反射镜543的入射焦点上，第三凹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多单色仪光谱仪装置，其特征是，包括底座和光栅座，所述光栅座转动连接所述底座，所述光栅座包括至少两个光栅，所述底座包括若干光学元件，所述底座具有主光路，主光路包括若干分光路，所述分光路经所述光学元件形成；所述分光路的数量与光栅数量适应，所述分光路包括第一光路和第二光路，第一光路为对应所述光栅的入射光路，第二光路为对应所述光栅的出射光路，各个分光路的第一光路与对应所述光栅的夹角相同，在应用状态下，光源产生的光线沿着所述第一光路以平行准直光束出射至所述光栅，所述底座在所述主光路的末端设有光探测装置。2.根据权利要求1所述的一种多单色仪光谱仪装置，其特征是，所述光学元件包括滤光器，所述滤光器位于主光路上。3.根据权利要求1所述的一种多单色仪光谱仪装置，其特征是，所述光栅座为电动旋转座。4.根据权利要求1所述的一种多单色仪光谱仪装置，其特征是，所述光探测装置为硅光电二极管或光电倍增管。5.根据权利要求1所述的一种多单色仪光谱仪装置，其特征是，所述光探测装置包括切换装置和两个光电传感器，一...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭振坚，李燕，虞建栋，
申请(专利权)人：杭州通尚光电有限公司，
类型：发明
国别省市：