【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】控制装置、控制系统、用于操作控制系统的方法
[0001]本专利技术涉及控制装置,包括半导体基板和实施在半导体基板上的第一庞德
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德雷弗
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霍尔(Pound
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Drever
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Hall)系统。
[0002]本专利技术还涉及控制系统、用于操作该控制系统的方法以及包括这种控制系统的投射曝光设备。
技术介绍
[0003]在介绍中提到的类型的控制装置在现有技术中是已知的。就此而言,包括半导体基板和实施在半导体基板上的第一庞德
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德雷弗
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霍尔系统的控制装置例如描述在Idjadi等人的“Integrated Pound
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Drever
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Hall laser stabilization system in silicon(集成庞德
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德雷弗
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霍尔激光稳定的硅上系统),Nature Communications(自然通信)8,1
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9(2017)”中。在这种情况下,控制装置具有以下效果:由激光器或激光器模块发射的激光辐射的频率可控制或稳定到可预定义的参考频率,使得激光辐射的频率等于参考频率。在那种情况下,参考频率由控制装置本身的元件生成。
[0004]从Drever,R.W.P.等人的”Laser phase and frequency stabilization using an optical resonator( ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于激光器模块(20、21)的频率控制的控制系统(19、29、33、58),包括用于生成激光辐射的至少一个激光器模块(20、21)、耦合或能够耦合到所述激光器模块(20、21)的至少一个控制装置(1),以及耦合或能够耦合到所述控制装置(1)的至少一个光学谐振器(16、23、34),其中,所述控制装置(1)包括半导体基板(2),实施在所述半导体基板(2)上的第一庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22)和实施在所述半导体基板(2)上的至少一个第二庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22),其中所述激光器模块(20、21)耦合到所述控制装置(1)的所述第一庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22)并且能够耦合到所述控制装置(1)的至少第二庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22),以及其中所述第一庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22)耦合到所述光学谐振器(16、23、34)并且其中所述第二庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22)能够耦合到所述光学谐振器(16、23、34)。2.根据权利要求1所述的控制系统,其特征在于至少两个激光器模块(20、21)和至少三个庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22),其中所述激光器模块(20、21)中的每一个耦合到所述控制装置(1)的相应庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22),并且其中所述激光器模块(20、21)中的每一个能够耦合到所述控制装置(1)的至少一个第三庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22)。3.根据权利要求1或2所述的控制系统,其特征在于至少两个光学谐振器(16、23、34)和至少三个庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22),其中所述光学谐振器(16、23、34)中的每一个耦合到所述控制装置(1)的相应庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22),并且其中所述光学谐振器(16、23、34)中的每一个能够耦合到至少第三庞德
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霍尔系统(3、4、22)。4.根据权利要求1至3中任一项所述的控制系统,其特征在于,所述庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22)的数量大于所述激光器模块(20、21)或光学谐振器(16、23、34)的数量。5.根据权利要求4所述的控制系统,其特征在于,所述庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22)的数量至少是所述激光器模块(20、21)或光学谐振器(16、23、34)的数量的两倍。6.根据前述权利要求1至5中任一项所述的控制系统,其特征在于,至少一个驱动单元(24)被配置为驱动所述第一庞德
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霍尔系统和至少第二庞德
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德雷弗
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霍尔系统(3、4、22)以实行耦合或解耦。7.根据权利要求6所述的控制系统,其特征在于,所述驱动单元(24)是矩阵电路(25)。8.根据前述权利要求1至7中任一项所述的控制系统,其特征在于,所述激光器模块(20、21)耦合到至少两个庞德
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霍尔系统(3、4、22)。9.根据权利要求8所述的控制系统,其特征在于,耦合到所述激光器模块(20、21)的一个庞德
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霍尔系统(3、4、22)的激光辐射以及耦合到所述激光器模块(20、21)的另一个庞德
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霍尔系统(3、4、22)的激光辐射相对于彼此具有相位偏移。10.根据权利要求9所述的控制系统,其特征在于,为了生成所述相位偏移,调制器单元(35)连接在所述激光器模块(20、21)和所述庞德
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霍尔系统(3、4、22)之间。11.根据权利要求10所述的控制系统,其特征在于,所述调制器单元(35)包括梳状线间隔控制单元(61)。12.根据前述权利要求1至11中任一项所述的控制系统,其特征在于另外的光电检测器单元(30),其中所述光电检测器单元(30)能够连接或连接到参考光源(31)。13.根据前述权利要求1至12中任一项所述的控制系统,其特征在于第一波长选择光学
开关(59)和至少一个第二波长选择光学开关(60)。14.根据前述权利要求1至13中任一项所述的控制系统,其特征在于PID控制器,其中所述PID控制器的D元素不等于0。15.根据前述权利要求1至14中任一项所述的控制系统,其特征在于,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:A克里施,M曼格,C维曼,U沃格尔,
申请(专利权)人:卡尔蔡司SMT有限责任公司,
类型:发明
国别省市:
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