一种探针组件及加工设备制造技术

技术编号:34817314 阅读:23 留言:0更新日期:2022-09-03 20:27
本申请公开了一种探针组件及加工设备。探针组件包括:安装件,安装件具有沿第一方向的第一端和第二端;气缸,设于安装件的第一端;探针单元,与气缸的活塞连接,气缸能驱动探针单元沿第一方向移动;第一限位件,第一限位件设于安装件的第二端,第一限位件用于对探针单元的伸出进行限位。本申请实施例提供一种探测精度高、结构简单、成本较低且安全性能较好的探针组件及加工设备。针组件及加工设备。针组件及加工设备。

【技术实现步骤摘要】
一种探针组件及加工设备


[0001]本申请涉及工件加工
,尤其涉及一种探针组件及加工设备。

技术介绍

[0002]随着电子产品的迅速发展,各种芯片的需求量急剧增加,例如手机芯片、汽车芯片等。芯片在制造生产中,对加工精度要求较高。为保证加工精度,一般都会在数控机床的主轴上安装探针来探测芯片的尺寸,这样有利于精准的加工芯片。相关技术中,探针的定位精度较差,重复伸缩及使用过程,使得探针定位误差逐渐变大,降低了探针测量芯片尺寸的准确性和后续加工的精度。
[0003]因此,现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题,本申请提供一种探测精度高、结构简单、成本较低且安全性能较好的探针组件及加工设备。
[0005]为达此目的,本申请实施例采用以下技术方案:
[0006]一种探针组件,包括:
[0007]安装件,所述安装件具有沿第一方向的第一端和第二端;
[0008]气缸,设于所述安装件的所述第一端;
[0009]探针单元,与所述气缸的活塞连接,所述气缸能驱动所述探针单元沿第一方向移动;
[0010]第一限位件,所述第一限位件设于所述安装件的所述第二端,所述第一限位件用于对所述探针单元的伸出进行限位。
[0011]作为上述探针组件的可选方案,所述第一限位件为油压缓冲器。
[0012]作为上述探针组件的可选方案,所述探针组件还包括:
[0013]滑轨,设于所述安装件上,且沿所述第一方向延伸;
[0014]滑块,与所述滑轨配合,所述探针单元设于所述滑块上。
[0015]作为上述探针组件的可选方案,所述滑块连接有注油管,以使所述注油管为所述滑轨注油。
[0016]作为上述探针组件的可选方案,所述探针组件还包括:
[0017]第二限位件,设于所述安装件的所述第一端,所述第二限位件用于对所述探针单元的缩回进行限位。
[0018]作为上述探针组件的可选方案,所述探针单元包括:
[0019]探针安装块,与所述气缸连接;
[0020]探针固定座,设于所述探针安装块上远离所述气缸的一端;
[0021]探针,设于所述探针固定座上。
[0022]作为上述探针组件的可选方案,所述探针固定座及所述探针部分伸入所述探针安
装块内,所述探针安装块与所述探针固定座连接的一端设置有容纳孔,所述容纳孔用于容纳所述探针固定座及所述探针伸入所述探针安装块内的部分。
[0023]作为上述探针组件的可选方案,所述探针安装块与所述气缸连接的一端设置有气缸连接板,所述气缸连接板与所述气缸的活塞连接。
[0024]作为上述探针组件的可选方案,所述安装件包括:
[0025]安装底板;
[0026]第一安装板,设于所述安装底板与所述第一端对应的一端,所述气缸设于所述第一安装板上;
[0027]第二安装板,设于所述安装底板与所述第二端对应的一端,所述第一限位件设于所述第二安装板上。
[0028]一种加工设备,包括主轴及驱动模组,所述主轴设于所述驱动模组的输出端,所述驱动模组能驱动所述主轴移动以加工工件;还包括如上所述的探针组件,所述探针组件设于所述主轴上。
[0029]本申请实施例的有益之处在于:通过气缸来驱动探针伸缩,需要检测工件尺寸时气缸推动探针伸出进行检测,同时设置了第一限位件来对探针进行下行限位,也就是在探针伸出后将探针限位,使探针在反复伸缩后能还保证精准的定位,保证检测结果的准确性。使用时,可将探针组件设置在加工机床的主轴上,结合主轴的三维移动来对工件的尺寸(如长、宽、高)进行检测。通过气缸来驱动探针伸缩使得整体结构简单,成本较低。同时设置气缸来驱动探针伸缩使得探针不使用时可以缩回,避免损坏探针,提升了设备的安全性能。
附图说明
[0030]图1是本申请一实施例中探针组件的结构示意图;
[0031]图2是本申请一实施例中探针组件的结构示意图;
[0032]图3是本申请一实施例中探针组件的分解结构示意图;
[0033]图4是本申请一实施例中探针安装块的结构示意图;
[0034]图5是本申请一实施例中探针安装块的结构示意图;
[0035]图6是本申请一实施例中探针安装块的侧视结构示意图;
[0036]图7是本申请一实施例中加工设备的部分结构示意图。
[0037]图中:
[0038]100、探针组件;
[0039]110、安装件;111、安装底板;112、第一安装板;113、第二安装板;
[0040]120、气缸;
[0041]130、探针单元;131、探针;132、探针安装块;1321、容纳孔;1322、缺口;1323、气缸连接板;1324、开口;133、探针固定座;1331、安装边;
[0042]140、第一限位件;
[0043]150、第二限位件;
[0044]160、滑轨;161、滑块;1611、注油孔;1612、接头;162、注油管;
[0045]210、主轴;
[0046]220、驱动模组;221、X向驱动模组;222、Y向驱动模组;223、Z向驱动模组。
具体实施方式
[0047]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本申请,而非对本申请的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。
[0048]在本申请的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的含义。
[0049]在本申请中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0050]在本实施例的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述和简化操作,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分,并没有特殊的含义。
[0051]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本申请的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针组件,其特征在于,包括:安装件,所述安装件具有沿第一方向的第一端和第二端;气缸,设于所述安装件的所述第一端;探针单元,与所述气缸的活塞连接,所述气缸能驱动所述探针单元沿第一方向移动;第一限位件,所述第一限位件设于所述安装件的所述第二端,所述第一限位件用于对所述探针单元的伸出进行限位。2.根据权利要求1所述的探针组件,其特征在于,所述第一限位件为油压缓冲器。3.根据权利要求1所述的探针组件,其特征在于,还包括:滑轨,设于所述安装件上,且沿所述第一方向延伸;滑块,与所述滑轨配合,所述探针单元设于所述滑块上。4.根据权利要求3所述的探针组件,其特征在于,所述滑块连接有注油管,以使所述注油管为所述滑轨注油。5.根据权利要求1所述的探针组件,其特征在于,还包括:第二限位件,设于所述安装件的所述第一端,所述第二限位件用于对所述探针单元的缩回进行限位。6.根据权利要求1所述的探针组件,其特征在于,所述探针单元包括:探针安装块,与所述气缸连接;探针固定座,设于所述探针...

【专利技术属性】
技术研发人员:石志伟倪永金贝卓鹏高云峰
申请(专利权)人:大族激光科技产业集团股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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