提供一种显示设备、制造显示设备的方法和拼接显示设备。显示设备，包括：第一衬底；阻挡层，设置在第一衬底上并且具有无定形碳；第一焊盘部分，设置在阻挡层上；第二衬底，设置在第一焊盘部分上；显示层，设置在第二衬底上；以及第二焊盘部分，设置在第一衬底的底表面上并且插入到形成在第一衬底和阻挡层中的第一接触孔中。孔中。孔中。
【技术实现步骤摘要】
显示设备、制造其的方法和包括其的拼接显示设备
[0001]本公开总体上涉及显示设备、制造该显示设备的方法以及包括该显示设备的拼接显示设备。更具体地，本公开涉及能够防止对焊盘部分的损坏、防止在焊盘部件的底表面上产生颗粒并且防止焊盘部分的膜抬起现象的显示设备、制造该显示设备的方法以及包括该显示设备的拼接显示设备。
技术介绍
[0002]随着面向信息社会的发展，对用于以各种方式显示图像的显示设备存在越来越多的需求。例如，在诸如智能电话、数码相机、膝上型计算机、导航设备和智能电视的各种电子设备中使用显示设备。显示设备可以是平板显示设备，诸如液晶显示设备、场发射显示设备和有机发光显示设备。在平板显示设备中的发光显示设备中，由于显示面板的像素中的每个包括能够自身发光的发光元件，因此可以在没有向显示面板提供光的背光单元的情况下显示图像。
[0003]当制造大尺寸的显示设备时，发光元件的缺陷率可由于像素数量的增加而增加，从而使显示设备的生产率或可靠性劣化。为了解决这个问题，在拼接显示设备中，可以通过连接具有相对小尺寸的多个显示设备来实现大尺寸屏幕。由于彼此相邻的多个显示设备中的每一个的非显示区域或边框区域，拼接显示设备可以包括被称为多个显示设备之间的接缝的边界部分。当在整个屏幕上显示单个图像时，多个显示设备之间的边界部分在整个屏幕上产生断开感，从而减少图像中的沉浸感。
技术实现思路
[0004]本公开的方面提供了能够防止对焊盘部分的损坏、防止在焊盘部分的底表面上产生颗粒并且防止形成接触孔(其穿透衬底以暴露设置在衬底上的焊盘部分的底表面)的工艺中的焊盘部分的膜抬起现象的显示设备、制造该显示设备的方法以及包括该显示设备的拼接显示设备。
[0005]本公开的方面还提供了一种拼接显示设备，其能够通过防止识别多个显示设备之间的边界部分或非显示区域来消除多个显示设备之间的断开感并改善图像中的沉浸感。
[0006]然而，本公开的方面不限于本文中所阐述的方面。通过参考以下给出的本公开的详细描述，本公开的以上和其他方面对于本公开所属领域的普通技术人员将变得更加显而易见。
[0007]根据本公开的实施方式，显示设备，包括：第一衬底；阻挡层，设置在第一衬底上并且具有无定形碳；第一焊盘部分，设置在阻挡层上；第二衬底，设置在第一焊盘部分上；显示层，设置在第二衬底上；以及第二焊盘部分，设置在第一衬底的底表面上并且插入到形成在第一衬底和阻挡层中的第一接触孔中。
[0008]显示设备还可以包括设置在第一衬底和阻挡层之间的第一阻挡绝缘层，第一接触孔形成在第一阻挡绝缘层中。
[0009]对于氟基气体，第一阻挡绝缘层的蚀刻速率可以高于阻挡层的蚀刻速率。
[0010]显示设备还可以包括设置在第一焊盘部分和第二衬底之间的第二阻挡绝缘层。
[0011]第一阻挡绝缘层和第二阻挡绝缘层中的每一个可以包括氮化硅层、氮氧化硅层、氧化硅层、氧化钛层和氧化铝层中的至少一种。
[0012]显示设备还可以包括第一连接线，第一连接线设置在第二衬底上并且通过形成在第二衬底和第二阻挡绝缘层中的第二接触孔连接到第一焊盘部分。
[0013]显示层可以包括：薄膜晶体管层，设置在第二衬底上并且包括薄膜晶体管；发光元件层，设置在薄膜晶体管层上并且包括发光元件；以及波长转换层，设置在发光元件层上以转换从发光元件发射的光的波长。
[0014]显示设备还可以包括：柔性膜，设置在第一衬底的底表面上并且连接到第二焊盘部分的底表面；以及数据驱动器，设置在柔性膜上，数据驱动器配置为向第一焊盘部分提供数据电压。
[0015]显示设备还可以包括：第二阻挡绝缘层，设置在阻挡层上；第三阻挡绝缘层，设置在第二阻挡绝缘层和第二衬底之间；以及第一连接线，在第二衬底上并且通过形成在第二衬底和第三阻挡绝缘层中的第二接触孔连接到第一焊盘部分。
[0016]第一焊盘部分可以设置在第二阻挡绝缘层上，并且可以插入到设置在第二阻挡绝缘层中的第三接触孔中，以与阻挡层接触。
[0017]阻挡层对于氧气的蚀刻速率可以高于阻挡层对于氟基气体的蚀刻速率。
[0018]阻挡层可以图案化成对应于第一焊盘部分。
[0019]根据本公开的实施方式，制造显示设备的方法包括以下步骤：提供载体衬底和设置在载体衬底上的第一衬底；形成设置在第一衬底上并且含有无定形碳的阻挡层；在阻挡层上形成第一焊盘部分；形成设置在第一焊盘部分上的第二衬底；去除载体衬底；通过图案化第一衬底和阻挡层，在第一衬底和阻挡层中形成第一接触孔；以及在第一衬底的底表面上形成第二焊盘部分，并且第二焊盘部分插入到第一接触孔中以连接到第一焊盘部分。
[0020]制造显示设备的方法还可以包括在第一衬底和阻挡层之间形成第一阻挡绝缘层的步骤。可以通过以下步骤完成形成第一接触孔：通过使用氟基气体的干法蚀刻工艺图案化第一阻挡绝缘层；以及通过使用氧气的灰化工艺图案化阻挡层。
[0021]制造显示设备的方法还可以包括以下步骤：形成设置在第一焊盘部分和第二衬底之间的第二阻挡绝缘层；通过图案化第二衬底和第二阻挡绝缘层，在第二衬底和第二阻挡绝缘层中形成第二接触孔；以及形成设置在第二衬底上的第一连接线，并且第一连接线通过形成在第二衬底和第二阻挡绝缘层中的第二接触孔连接到第一焊盘部分。
[0022]制造显示设备的方法还可以包括形成设置在阻挡层上的第二阻挡绝缘层的步骤。形成第一焊盘部分可以包括：形成设置在第二阻挡绝缘层上的第一焊盘部分，并且第一焊盘部分插入到设置在第二阻挡绝缘层中的第三接触孔中以与阻挡层直接接触。
[0023]形成第一接触孔可以包括通过使用氧气的干法蚀刻工艺同时蚀刻第一衬底和阻挡层。
[0024]形成阻挡层可以包括将阻挡层图案化成与形成第一焊盘部分的区域对应。
[0025]根据本公开的实施方式，拼接显示设备包括：多个显示设备，各自包括显示区域和围绕显示区域的非显示区域，显示区域包括多个像素；以及结合构件，配置为结合多个显示
设备。多个显示设备中的每一个包括：第一衬底；阻挡层，设置在第一衬底上并且具有无定形碳；第一焊盘部分，设置在阻挡层上；第二衬底，设置在第一焊盘部分上；显示层，设置在第二衬底上；以及第二焊盘部分，设置在第一衬底的底表面上并且插入到形成在第一衬底和阻挡层中的第一接触孔中。
[0026]多个显示设备中的每一个还可以包括设置在第一衬底和阻挡层之间的第一阻挡绝缘层，第一接触孔形成在第一阻挡绝缘层中。对于氟基气体，第一阻挡绝缘层的蚀刻速率可以高于阻挡层的蚀刻速率。
[0027]在根据实施方式的显示设备、制造该显示设备的方法和包括该显示设备的拼接显示设备中，由于包括设置在衬底上并且包含无定形碳的阻挡层和设置在阻挡层上的焊盘部分，因此可以防止对焊盘部分的损坏、防止在焊盘部分的底表面上产生颗粒并且防止形成穿透衬底以暴露焊盘部分的接触孔的工艺中的焊盘部分的膜抬起现象。
[0028]在根据实施方式的显示设备、制造该显示设备的方法和包括该显本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.显示设备，包括：第一衬底；阻挡层，设置在所述第一衬底上并且具有无定形碳；第一焊盘部分，设置在所述阻挡层上；第二衬底，设置在所述第一焊盘部分上；显示层，设置在所述第二衬底上；以及第二焊盘部分，设置在所述第一衬底的底表面上并且插入到形成在所述第一衬底和所述阻挡层中的第一接触孔中。2.根据权利要求1所述的显示设备，还包括设置在所述第一衬底和所述阻挡层之间的第一阻挡绝缘层，所述第一接触孔形成在所述第一阻挡绝缘层中。3.根据权利要求2所述的显示设备，其中，对于氟基气体，所述第一阻挡绝缘层的蚀刻速率高于所述阻挡层的蚀刻速率。4.根据权利要求2所述的显示设备，还包括设置在所述第一焊盘部分和所述第二衬底之间的第二阻挡绝缘层。5.根据权利要求4所述的显示设备，其中，所述第一阻挡绝缘层和所述第二阻挡绝缘层中的每一个包括氮化硅层、氮氧化硅层、氧化硅层、氧化钛层和氧化铝层中的至少一种。6.根据权利要求4所述的显示设备，还包括第一连接线，所述第一连接线设置在所述第二衬底上并且通过形成在所述第二衬底和所述第二阻挡绝缘层中的第二接触孔连接到所述第一焊盘部分。7.根据权利要求1所述的显示设备，其中，所述显示层包括：薄膜晶体管层，设置在所述第二衬底上并且包括薄膜晶体管；发光元件层，设置在所述薄膜晶体管层上并且包括发光元件；以及波长转换层，设置在所述发光元件层上以转换从所述发光元件发射的光的波长。8.根据权利要求1所述的显示设备，还包括：柔性膜，设置在所述第一衬底的所述底表面上并且连接到所述第二焊盘部分的底表面；以及数据驱动器，设置在所述柔性膜上，所述数据驱动器配置为向所述第一焊盘部分提供数据电压。9.根据权利要求2所述的显示设备，还包括：第二阻挡绝缘层，设置在所述阻挡层上；第三阻挡绝缘层，设置在所述第二阻挡绝缘层和所述第二衬底之间；以及第一连接线，在所述第二衬底上并且通过形成在所述第二衬底和所述第三阻挡绝缘层中的第二接触孔连接到所述第一焊盘部分。10.根据权利要求9所述的显示设备，其中，所述第一焊盘部分设置在所述第二阻挡绝缘层上，并且插入到设置在所述第二阻挡绝缘层中的第三接触孔中，以与所述阻挡层接触。11.根据权利要求1所述的显示设备，其中，所述阻挡层对于氧气的蚀刻速率高于所述阻挡层对于氟基气体的蚀刻速率。12.根据权利要求1所述的显示设备，其中，所述阻挡层图案化成对应于所述第一焊盘部分。
13.制造显示设备的方法，所述方法包括以下步骤：提供载体衬底和设置在所述载体衬底上的第一衬底；形成设置在所述第一衬...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵正然，金洸炫，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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