建构待查物件的三维模型的方法技术

本发明专利技术提供一种建构一待查物件的三维模型的方法，包含：获得多个关联于所述待查物件的二维层析成像图数据库；建构一初始三维模型；执行一迭代过程，所述迭代过程包括执行一自旋转换在所述初始三维模型上，以便获得一待替换的三维模型在一个三维傅立叶域的一极坐标系统上，利用所述转换后数据库来取代所述待替换的三维模型的一部分，重复上述步骤直到所述转换后影像的每一已被用于替换所述待替换的三维模型，且根据所述待迭代过程获得所述待查物件的所述三维模型。由此，能够获得具有较高的解析度及较多的影像细节的二维影像。高的解析度及较多的影像细节的二维影像。高的解析度及较多的影像细节的二维影像。

【技术实现步骤摘要】
建构待查物件的三维模型的方法


[0001]本专利技术涉及一种建构一待查物件的三维模型的方法，特别涉及一种使用层析成像重建技术来建构一待查物件的三维模型的方法。

技术介绍

[0002]常规地，层析成像技术使一物件的内部成像成为可能。在使用中，可通过一层析成像仪(即，一用于执行所述层析成像的装置)对所述物件进行一层析成像扫描，用于获得多个所述物件的各个部分的二维(2D)影像。接着，所述二维影像被用来建构一所述物件的三维模型以供后续使用(例如，检查)。这样的操作可被称为层析成像重建术，并在多个领域像是晶圆或金属缺陷检查、半导体封装及健康检查等是可用的。
[0003]需注意的是，所述层析成像具有一特定视场(FoV)，所述视场可能小于所述物件的大小。在这种情况下，通过所述物件的所述部分的所述二维影像的信息可能不包括所述物件的所有信息(例如，在所述物件的边缘的信息可能被遗漏)，导致所述二维影像不能准确反映所述物件的实际结构。或者，所述二维影像可能具有不完整的表征，从而导致伪像。
[0004]解决此问题的一种方式是将所述物件放置在远离所述层析成像仪的位置，用于保持所述物件的整体在所述层析成像仪的所述视场范围之内，从而可以获得多个二维影像，所述二维影像的每一显示所述物件的整个部分。然而，在此方式下获得的所述二维影像具有较低的解析度及较少的影像细节。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种解决现有技术的至少一缺点的方法。
[0006]于是，本专利技术建构一待查物件的三维模型的方法，所述方法使用一包括一层析成像仪及一运算装置来实施，所述方法包含以下步骤(a)～(e)：
[0007]步骤(a)通过所述层析成像仪获得多个关联于所述待查物体的层析成像图，所述层析成像图的每一是在以相对于所述待查物件的一轴的一特定角位置被提取。
[0008]步骤(b)通过所述运算装置产生多个有关于根据所述层析成像的所述待查物件的二维层析成像图数据库，所述层析成像图数据库的每一是有关于一各自的所述层析成像图及包括所述各自的所述层析成像图的数据，所述层析成像图显示所述待查物件在一实域的一极坐标系统的一部分。
[0009]步骤(c)通过一处理器建构一在所述实域的一直角坐标系统的初始三维模型。
[0010]步骤(d)通过所述处理器执行一迭代过程，所述迭代过程包括以下子步骤(d
‑
1)～(d
‑
4)：
[0011]子步骤(d
‑
1)执行一自旋转换在所述初始三维模型上，以便获得一待替换的三维模型在一三维傅立叶域的一极坐标系统上，所述待替换的三维模型是通过相对于所述待查物件的所述轴的一自旋角来旋转，
[0012]子步骤(d
‑
2)执行一空间转换在所述二维层析成像图数据库的每一，以便获得多
个转换后数据库，所述转换后数据库分别从所述二维层析成像图数据库获得及分别相关于多个转换后影像，所述转换后影像在所述三维傅立叶域的所述极坐标系统上及分别对应于所述层析成像图，
[0013]子步骤(d
‑
3)通过所述处理器，在所述三维傅立叶域的所述极坐标系统上利用对应于所述转换后数据库其中之一的所述转换后影像其中之一来取代所述待替换的三维模型的一部分，及
[0014]子步骤(d
‑
4)重复有所述待替换的三维模型的子步骤(d
‑
1)至子步骤(d
‑
3)，所述待替换的三维模型是在一先前子步骤(d
‑
3)的执行过程中获得，作为所述初始三维模型在一当前子步骤(d
‑
1)的执行过程将被处理直到所述转换后影像的每一已被用于替换所述待替换的三维模型；及
[0015]步骤(e)根据所述子步骤(d
‑
4)的待迭代过程的一结果，通过所述处理器获得所述待查物件的所述三维模型在所述实域的所述直角坐标系统上。
[0016]本专利技术的有益的效果在于：通过建构一待查物件的三维模型的方法下获得的所述二维影像具有较高的解析度及较多的影像细节。
附图说明
[0017]图1是一用于实施一种建构一根据本专利技术的一实施例的所述待查物件150的三维模型的方法的系统的方块图；
[0018]图2是一说明根据本专利技术的一实施例的建构所述待查物件的三维模型的方法的步骤的流程图；
[0019]图3所述待查物件的一示例的一正视图；
[0020]图4是所述待查物件的一示例的一正视图；
[0021]图5是一说明用于获得所述待查物件的多个示例层析成像图；
[0022]图6是一说明一相对于一水平方向的示例性剪切变换的示意图；
[0023]图7是一说明五个示例性转换后影像被用来替换所述待替换的三维模型的示意图；
[0024]图8是一说明所述待查物件的所述三维模型结果的一影像的一示意图；
[0025]图9是一所述待查物件的所述三维模型的一部分的示意性透视图；及
[0026]图10是说明一示例中，一对应于所述迭代过程的所述初始三维模型的一部分的示意图。
具体实施方式
[0027]下面结合附图及实施例对本专利技术进行详细说明。
[0028]在本专利技术被详细描述之前，应当注意在认为适当的情况下，在图示中参考编号或参考编号的终端部分会被重复用于表示对应的或类似的元件，所述元件可选择的具有类似的特征。
[0029]在整个专利技术中，用词“耦合”可指一通过一导电材料(例如，电线)直接连接于多个电器设备或装置或仪器之间，或通过另一或更多电器设备或装置或仪器或无线通信间接连接在两个电器设备或装置或仪器之间。
[0030]图1是一说明系统100的方块图，所述系统100用于实施一种建构一根据本专利技术的一实施例的所述待查物件150的三维模型的方法。在所述实施例中，所述系统100包括一层析成像仪110及一耦合所述层析成像仪110的运算装置120。
[0031]所述层析成像仪110可使用一装置来实施，所述装置能执行一层析成像操作在所述待查物件150上。所述层析成像仪110可包括被配置为使用X射线、核磁共振影像(MRI)、光学投影、超声波等执行所述层析成像操作的元件。通过所述层析成像操作，所述层析成像仪110能产生多个关联于所述待查物件150的二维(2D)影像。具体来说，所述二维影像分别显示所述待查物件150的各个部分。所述二维影像可被称为层析成像图。
[0032]在本实施例中，所述待查物件150可是一鳍式场效应晶体管(FinFET)、一半导体组件、一金属材料、一生物医学材料，或嵌入在所述待查物件150之内可能需要结构检查的其他种类的物体。
[0033]所述运算装置120可使用一服务器、一个人计算机、一膝上型计算机、一平板计算机、一智能手机，或其他具有运算能力的装置以执行以下所述的操作来实施。在本实施例中，所述运算装置120可是一服务器及包括一处理器120、一数据储本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种建构待查物件的三维模型的方法，所述方法使用包括层析成像仪及运算装置来实施，其特征在于，所述方法包含以下步骤：步骤a：通过所述层析成像仪获得多个关联于所述待查物件的层析成像图，所述层析成像图的每一是在以相对于所述待查物件的轴的特定角位置被提取；步骤b：通过所述运算装置产生多个有关于根据所述层析成像图的所述待查物件的二维层析成像图数据库，所述层析成像图数据库的每一是有关于各自的所述层析成像图及包括所述各自的所述层析成像图的数据，所述层析成像图显示所述待查物件在实域的极坐标系统的一部分；步骤c：通过处理器建构在所述实域的直角坐标系统的初始三维模型；步骤d：通过所述处理器执行迭代过程，所述迭代过程包括以下子步骤：子步骤d
‑
1：执行自旋转换在所述初始三维模型上，以便获得待替换的三维模型在三维傅立叶域的极坐标系统上，所述待替换的三维模型是通过相对于所述待查物件的所述轴的自旋角来旋转，子步骤d
‑
2：执行空间转换在所述二维层析成像图数据库的每一，以便获得多个转换后数据库，所述转换后数据库分别从所述二维层析成像图数据库获得及分别相关于多个转换后影像，所述转换后影像在所述三维傅立叶域的所述极坐标系统上及分别对应于所述层析成像图，子步骤d
‑
3：通过所述处理器，在所述三维傅立叶域的所述极坐标系统上利用对应于所述转换后数据库其中之一的所述转换后影像其中之一来取代所述待替换的三维模型的一部分，及子步骤d
‑
4：重复所述待替换的三维模型的子步骤d
‑
1至子步骤d
‑
3，所述待替换的三维模型是在先前子步骤d
‑
3的执行过程中获得，作为所述初始三维模型在当前子步骤d
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1的执行过程将被处理直到所述转换后影像的每一已被用于替换所述待替换的三维模型；及步骤e：根据所述子步骤d
‑

【专利技术属性】
技术研发人员：陈健群，张雅婷，
申请(专利权)人：陈健群，
类型：发明
国别省市：