一种等离子注氮TiO2/TiN电极及其制备方法与应用技术

本发明专利技术属于电化学技术领域，公开了一种等离子注氮TiO2/TiN电极及其制备方法与应用。所述等离子注氮TiO2/TiN电极的制备方法，包括以下步骤：(1)将Ti片作为阳极，不锈钢片为阴极，进行电化学阳极氧化得到TiO2纳米管阵列；(2)离子注入机抽真空，以氮气为工作气体，将步骤(1)所得TiO2纳米管阵列通过离子注入的方式进行N掺杂，得到TiO2/TiN纳米管阵列。本发明专利技术采用离子注入的方式将导电相TiN引入TiO2纳米管结构中，将材料纳米化与表面活化技术相结合。N离子注入过程中热效应对表面膜层的生长作用和高能离子对表面膜层的轰击破坏作用共同影响TiO2/TiN电极的表面形貌。/TiN电极的表面形貌。/TiN电极的表面形貌。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子注氮TiO2/TiN电极及其制备方法与应用


[0001]本专利技术属于电化学
，特别涉及一种等离子注氮TiO2/TiN电极及其制备方法与应用

技术介绍

[0002]电化学电容器(也称为超级电容器)代表了一种新兴的储能技术，可提供高功率密度，循环寿命，充电速率和良好的安全性等。由取向纳米管阵列构建的电极，垂直于集电极排列，可以很容易地制备出具有大表面积，高堆积密度和有序的网络状结构，高比表面积的形态特性可以促进快速充/放电性能，使其功率密度提高。因为纳米管阵列与集电器直接接触，所以可以减少导电添加剂和粘合剂的使用，减少电极的质量，提高质量比电容。TiO2纳米管具有较高化学稳定性、强催化活性、大比较面积，能够为电子传输提供优良的路径。但TiO2作为一种宽禁带半导体，导电性相对较差，限制了其在超级电容器中的应用。

技术实现思路

[0003]为了克服上述现有技术的缺点与不足，本专利技术的首要目的在于提供一种等离子注氮TiO2/TiN电极的制备方法。
[0004]本专利技术另一目的在于提供上述方法制备得到的等离子注本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子注氮TiO2/TiN电极的制备方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将Ti片作为阳极，不锈钢片为阴极，进行电化学阳极氧化得到TiO2纳米管阵列；(2)离子注入机抽真空，以氮气为工作气体，将步骤(1)所得TiO2纳米管阵列通过离子注入的方式进行N掺杂，得到TiO2/TiN纳米管阵列。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤(2)进行离子注入时N离子注入计量为0.1
×
10
17
～
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20
17
ions
·
cm
‑2。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤(2)进行离子注入时N离子注入计量为5
×
10
17
～15.0
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10
17
ions
·
c
‑
m2。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤(2)进行离子注入时N离子注入计量为10.0
×
10
17
ions
·
cm
‑2。5.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鹏，曹琳，王启伟，李杰，
申请(专利权)人：暨南大学，
类型：发明
国别省市：