一种平整度测量工具制造技术

本申请提供一种平整度测量工具，涉及测量仪器领域。平整度测量工具包括：安装架；千分表，固定在所述安装架上，所述千分表具有一测量杆，所述测量杆的自由端伸出所述安装架；多个支脚，均与所述安装架固定连接，且与所述测量杆的自由端位于所述安装架的同一侧，每一支脚的自由端均呈锥形结构，所述多个支脚各自的自由端的端点位于同一平面内，所述测量杆的延伸方向垂直于所述平面。通过使测量仪表与放置的支脚均与待测件进行点接触，避免因接触导致的测量偏差，从而有效提高对待测件平整度测试的准确性。的准确性。的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种平整度测量工具


[0001]本申请涉及测量仪器领域，具体涉及一种平整度测量工具。

技术介绍

[0002]Wafer(晶圆)的平整度会影响在wafer表面的镀膜，因此，会使用抛光的方式调整wafer的平整度，由于在抛光后的平整度不符合要求时，会影响后续工序，所以在抛光之后，会对wafer的平整度进行测量。
[0003]现有技术中，粗抛后通常使用刀口尺或高度规等测量工具对待测wafer的平整度进行测量，但这些测量工具需与待测wafer的表面进行面接触，而与待测wafer面接触会受接触面整体的平整度影响，具体地，刀口尺仅能检测出不平整的位置，无法准确测量出差值，高度规仅能待测wafer的最高点所在平面与最低点之差，同样无法准确测量出wafer表面上待测位置的高度与wafer整体平面的差值。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请技术主要目的在于提供一种平整度测量工具，用于提高测量待测件表面平整度的准确性。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种平整度测量工具，包括安装架；千分表，固定在所述安装架上，所述千分表具有一测量杆，所述测量杆的自由端伸出所述安装架；多个支脚，均与所述安装架固定连接，且与所述测量杆的自由端位于所述安装架的同一侧，每一支脚的自由端均呈锥形结构，所述多个支脚各自的自由端的端点位于同一平面内，所述测量杆的延伸方向垂直于所述平面。
[0006]本申请实施例中，千分表通过点接触实现测量，可以有效提高测量的准确性。由于多个支脚自由端呈锥形结构，可以确保支脚自由端与待测件为点接触，避免面接触导致接触不平整。通过将所有支脚自由端端点设置在同一平面内，由此，平整度测量工具通过支脚放置在待测件上时，可以确定出待测件的一平面，千分表的测量杆延伸方向垂直于支脚所确定的平面，则通过千分表，可以准确测量出千分表所测位置与支脚所确定待测件的平面之间的差值，进而确定待测件的平整度。由此，通过使测量仪表与放置的支脚均与待测件进行点接触，避免因面接触导致的测量偏差，从而有效提高对待测件平整度测试的准确性。
[0007]一实施例中，每一所述支脚分别与所述安装架垂直连接。
[0008]本申请实施例中，将支脚与安装架垂直连接，使得支脚所确定的平面与安装架上支脚安装的平面平行，由此，安装时仅需使千分表的测量杆与安装架上的支脚连接平面垂直，即可确保测量杆的延伸方向垂直于支脚自由端端点所确定的平面，从而降低千分表的安装难度。
[0009]一实施例中，所述支脚的数量为3，且3个所述支脚对应在安装架上的安装位置不在一条直线上。
[0010]本申请实施例中，三点可以确定一平面，通过三个安装位置不在一条直线上的支
脚，可以确保所有支脚能够在待测件表面确定一平面的同时，减少支脚使用的数量，避免支脚数量过多所导致的调试难度增加及成本增加。
[0011]一实施例中，每一所述支脚各自的自由端的端点与所述安装架上的支脚连接表面之间的垂直距离相同。
[0012]本申请实施例中，所有支脚自由端端点至安装架上的支脚连接表面的垂直距离相等，可以使得支脚自由端端点确定的平面与支脚连接位置所确定的平面平行，从而使得千分表仅需垂直于支脚连接位置所确定的平面，从而降低千分表的安装调试难度。
[0013]一实施例中，每一所述支脚分别与所述安装架可拆卸连接。
[0014]本申请实施例中，通过设置支脚与安装架的可拆卸安装，便于支脚的安装、调试、更换。
[0015]一实施例中，每一所述支脚具有与所述安装架连接的连接端，所述连接端设置有外螺纹；所述安装架至少开设有与所述支脚数量对应的支脚螺孔，每一所述支脚通过其连接端的外螺纹与所述安装架的支脚螺孔之间的配合，与所述安装架固定连接。
[0016]本申请实施例中，支脚上的螺纹与安装架上的螺孔相配合，使支脚固定在安装架上，从而实现支脚的可拆卸安装，由此便于支脚的安装调试与更换。
[0017]一实施例中，每一所述支脚各自的自由端的端点具有一防刮部，用于避免所述支脚的自由端刮伤待测件的表面。
[0018]本申请实施例中，通过防刮部，可以避免因锥形支脚的端点处过于尖锐对待测件造成划伤。
[0019]一实施例中，所述防刮部为柔性材料形成的球状体。
[0020]本申请实施例中，柔性材料的防刮部可以有效减少因支脚尖锐导致待测件的损伤，球状体的防刮部可以确保与待测件实现点接触，避免因面接触导致支脚所确定的平面不平整。
[0021]一实施例中，所述安装架还包括紧固装置，以对所述千分表进行固定。
[0022]本申请实施例中，通过对千分表进行固定，可以有效避免因千分表表身倾斜、晃动等导致测量读数不准确的问题。
[0023]一实施例中，所述千分表的测量杆远离自由端的一端为非活动部分，所述安装架包括上下表面及连接在所述上下表面的侧面，所述安装架上下表面具有位置相对应的通孔，所述通孔供所述千分表的测量杆穿设，所述紧固装置包括：紧固螺孔，设置在所述安装架上的侧表面，所述紧固螺孔与所述通孔连通；紧固螺丝，穿过与所述紧固螺孔，与所述非活动部分抵接。
[0024]本申请实施例中，通过紧固螺丝与紧固螺孔相配合，实现千分表的固定。通过松动紧固螺丝，使得千分表能够进行调整，便于千分表的安装与调试。
[0025]一实施例中，所述测量杆的自由端具有一弹性活动部分，在所述弹性活动部分无弹性势能存储的状态下，所述测量杆的自由端端点超出所述平面。
[0026]本申请实施例中，通过将测量杆自由端端点超出支脚所确定的平面，由此可以有效测出待测件待测位置凹陷与支脚所确定平面的差值。
[0027]一实施例中，所述平整度测量工具具有归零状态，在所述归零状态下，所述测量杆的自由端端点在所述平面内，所述弹性活动部分处于压缩状态，且所述千分表的读数为0。
[0028]本申请实施例中，归零状态下，测量杆自由端端点在支脚所确定的平面内，由此，千分表能够测量待测位置与支脚所确定平面的差值，因测量杆在归零状态下弹性活动部分压缩，平整度测量工具的测量杆能够延伸，实现对凹陷的待测件的测量。
[0029]一实施例中，所述千分表为数显千分表。
[0030]本申请实施例中，通过使用数显千分表，能够直接获取测量结果，有效提高测量效率，相较于表盘式的千分表，能有效减少人对表盘的读数错误，从而提高测量结果的精准性。
[0031]本公开的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，或者，部分特征和优点可以从说明书推知或毫无疑义地确定，或者通过实施本公开的上述技术即可得知。
[0032]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举本专利技术较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平整度测量工具，其特征在于，包括：安装架；千分表，固定在所述安装架上，所述千分表具有一测量杆，所述测量杆的自由端伸出所述安装架；多个支脚，均与所述安装架固定连接，且与所述测量杆的自由端位于所述安装架的同一侧，每一支脚的自由端均呈锥形结构，所述多个支脚各自的自由端的端点位于同一平面内，所述测量杆的延伸方向垂直于所述平面。2.根据权利要求1所述的平整度测量工具，其特征在于，每一所述支脚分别与所述安装架垂直连接；所述支脚的数量为3，且3个所述支脚对应在安装架上的安装位置不在一条直线上。3.根据权利要求1所述的平整度测量工具，其特征在于，每一所述支脚各自的自由端的端点与所述安装架上的支脚连接表面之间的垂直距离相同。4.根据权利要求1所述的平整度测量工具，其特征在于，每一所述支脚分别与所述安装架可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的平整度测量工具，其特征在于，每一所述支脚具有与所述安装架连接的连接端，所述连接端设置有外螺纹；所述安装架至少开设有与所述支脚数量对应的支脚螺孔，每一所述支脚通过其连接端的外螺纹与所述安装架的支脚螺孔之间的配合，与所述安装架固定连接。6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘智山，林雨楠，
申请(专利权)人：苏州浩联光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：