一种腐蚀性流体输送用气动阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种腐蚀性流体输送用气动阀，包括，壳体，具有制动腔；阀体，其内部具有入口流道、出口流道，以及阀座；阀组件，位于阀座的轴侧；活塞，与制动腔内壁形成动密封，且可于制动腔内轴向往复运动以带动阀组件封堵或打开阀座；还包括：弹性组件，套设于活塞，且一端与活塞相抵；弹性组件至少包括与活塞同心同轴设置的第一复位件和第二复位件，且第二复位件套设在第一复位件的径向外侧。本实用新型专利技术两个复位件可以分别提供活塞所需抵压力的部分，减小活塞在与弹性组件接触处的压强，防止活塞变形损坏；第一、第二复位件装配稳定性高，弹性组件对活塞的抵压力稳定，保证活塞和制动腔内壁的动密封性能；活塞的加工精度高，使用寿命长。寿命长。寿命长。

【技术实现步骤摘要】
一种腐蚀性流体输送用气动阀


[0001]本技术属于流体控制阀
，尤其是涉及一种腐蚀性流体输送用气动阀。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，通常使用控制阀来输送强腐蚀性液体，常见的控制阀可分为手动阀和气动阀；其中，气动阀内部设置有制动腔，通过连接阀组件的活塞在制动腔内轴向运动实现阀座的开闭；进一步地，气动阀在活塞的一端设置有压缩状态的弹簧，该弹簧可以使气动阀处于常开或常闭状态；活塞的另一端设置有进气孔，可以通过进入高压气体克服弹簧的压力以改变气动阀的开闭状态。
[0003]现有技术中，当阀体内流动的腐蚀性液体压力增加时，为了保证阀组件对流道的密封性，通常采用1.增加弹簧有效圈数来增加抵压力，但该方法会增加阀组件的行程，影响阀组件的使用寿命；也会改变阀体中流道内腐蚀性液体的流动性能；2.采用增加弹簧的线径来增加抵压力，但该方法会使活塞、上阀盖与弹簧接触处压强增加，导致活塞和上阀盖非常容易变形；3.活塞采用特殊结构来增加强度，一旦阀组件的所需密封压力增加，活塞的强度就无法满足要求。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本技术提供一种弹性组件可以给活塞提供足够的抵压力，且活塞不易变形的腐蚀性流体输送用气动阀。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种腐蚀性流体输送用气动阀，包括，
[0006]壳体，具有形成在该壳体内的制动腔；
[0007]阀体，其内部具有用于腐蚀性流体流过的入口流道、出口流道，以及形成于两者之间的阀座；
[0008]阀组件，位于阀座的轴侧；
[0009]活塞，与所述制动腔内壁形成动密封，且可于制动腔内轴向往复运动以带动阀组件封堵或打开阀座；
[0010]还包括：
[0011]弹性组件，套设于所述活塞，且一端与活塞相抵；
[0012]所述弹性组件至少包括与所述活塞同心同轴设置的第一复位件和第二复位件，且第二复位件套设在第一复位件的径向外侧。
[0013]本技术的弹性组件由至少两个复位件组成，且第二复位件套设在第一复位件的外侧，两个复位件可以分别提供活塞所需抵压力的部分，至少两个复位件也增加了弹性组件和活塞之间的接触面积，减小活塞在与弹性组件接触处的压强，防止活塞使用过程中变形损坏；避免阀组件尺寸过大，有效减小了阀组件的空间占用。
[0014]进一步的，所述第二复位件的长度大于第一复位件的长度，或者，所述第二复位件的线径大于第一复位件的线径，以使得第二复位件对活塞的压力大于第一复位件对活塞的压力。
[0015]位于外侧的第二复位件对活塞的压力大于位于内侧的第一复位件对活塞的压力，使得弹性组件对活塞的抵压力更加稳定，避免活塞产生径向偏移，也避免第一复位件和第二复位件在制动腔内倾斜，保证活塞和制动腔内壁的动密封性能。
[0016]进一步的，所述第一复位件和第二复位件抵接于活塞的起始端位于径向同侧，且螺旋方向相反。
[0017]第一复位件和第二复位件的起始端位于同一侧，且螺旋方向相反，使得第一复位件和第二复位件与活塞抵接的支撑圈对称设置，进而使得两者的起始端在周向对活塞产生相对均衡的抵压力，避免活塞各处因受力不均而导致的倾斜；同时上述位置布设可以抵消一部分扭转力矩，避免第一复位件和第二复位件产生干涉甚至卡住。
[0018]进一步的，所述第一复位件和第二复位件的外径差值为S1，第一复位件的外径为S2，则S1/S2为0.212。
[0019]上述比值设定避免第一复位件和第二复位件之间的间距过大，防止第一复位件过于靠近活塞的中心，或第二复位件过于靠近活塞的外缘，保证弹性组件对活塞的抵压力相对均衡，防止阀组件无法正常密封流道。
[0020]进一步的，所述活塞沿周向间隔布设有限位筋，所述第一复位件套设在该限位筋的外周，以限制第一复位件的径向移动。
[0021]限位筋对第一复位件起到了限位作用，避免第一复位件发生径向移动，保证第一复位件对活塞产生均衡的压力，避免活塞倾斜，进而确保阀组件和阀座之间良好的密封性能；限位筋也增加了活塞的强度，避免活塞在弹性组件的抵压下发生形变。
[0022]进一步的，所述活塞的表面形成台阶结构，所述第二复位件的端部套设在该台阶结构的外周，以限制第二复位件的径向移动。
[0023]台阶结构对第二复位件起到了限位作用，避免第二复位件发生径向移动，保证第二复位件对活塞产生均衡的压力，避免活塞倾斜，进而确保阀组件和阀座之间良好的密封性能。
[0024]进一步的，所述活塞具有受力壁，所述第二复位件的端部抵接于活塞表面对应该受力壁的轴向位置处。
[0025]通过在活塞上增加受力壁结构，且将第二复位件的一端抵接在活塞表面对应受力壁的位置，利用受力壁增加活塞与第二复位件相抵处的强度，同时又不需要增加活塞的厚度，有效避免活塞因厚度过大而导致的加工精度降低，保证弹性组件的力能沿着轴向传递给活塞，继而保证阀组件和阀座之间的有效密封，长时间使用下弹性组件对活塞的压力周向各处也能保持相对均匀，保证阀组件和阀座之间良好的密封性能；活塞强度增加后，其不易变形，进而活塞和制动腔内壁的动密封性能也能保持在良好状态。
[0026]进一步的，所述壳体内顶面形成至少两个受力平台，第一复位件和第二复位件的另一端分别抵接在两个受力平台上。
[0027]两个受力平台的设置增加了壳体内顶面与第一复位件和第二复位件相抵接处的强度，保证壳体的牢固性，避免壳体在弹性组件的抵压下发生形变，延长壳体的使用寿命。
[0028]进一步的，所述壳体内顶面形成放射状的加强筋，该加强筋沿径向穿过所述受力平台，以将两个受力平台相连；第一复位件的端部部分抵接于内侧受力平台、部分抵接于内侧受力平台外缘的加强筋，第二复位件的端部部分抵接于外侧受力平台、部分抵接于外侧受力平台内缘的加强筋。
[0029]加强筋将两个受力平台连接在一起，增加了壳体的强度，将弹性组件对壳体的抵压力分散，避免局部压强过大；由于第一复位件和第二复位件的相对位置固定，通过第一复位件的部分与内侧受力平台抵接、第二复位件的部分与外侧受力平台抵接，增加了两个受力平台之间的径向距离，保证壳体的加工精度，同时也增加壳体的强度。
[0030]进一步的，所述壳体包括上阀盖和下阀盖，所述活塞具有可与该上阀盖相抵的限位平台，所述下阀盖形成阻挡面，当活塞带动阀组件封堵阀座时，所述活塞的端部与该阻挡面的距离为0.1
‑
1mm。
[0031]当阀组件封堵阀座时，活塞还没有与阻挡面相接触，避免在阀组件还没有封堵阀座时，活塞就与阻挡面产生干涉，导致其无法继续下移，进而保证阀组件对阀座的有效封堵；同时限位平台和阻挡面的设置也防止阀组件轴向运动的行程过大，对阀组件起到保护作用。
[0032]本技术的有益效果是：弹性组件由至少两个内外套设的复位件组成，两个复位件可以分别提供阀组件密封阀座所需抵压力的部分，减小活塞在与弹性组件接触处的压强，防止活塞本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种腐蚀性流体输送用气动阀，包括，壳体，具有形成在该壳体内的制动腔；阀体，其内部具有用于腐蚀性流体流过的入口流道、出口流道，以及形成于两者之间的阀座；阀组件，位于阀座的轴侧；活塞，与所述制动腔内壁形成动密封，且可于制动腔内轴向往复运动以带动阀组件封堵或打开阀座；其特征在于：还包括：弹性组件，套设于所述活塞，且一端与活塞相抵；所述弹性组件至少包括与所述活塞同心同轴设置的第一复位件和第二复位件，且第二复位件套设在第一复位件的径向外侧。2.根据权利要求1所述的腐蚀性流体输送用气动阀，其特征在于：所述第二复位件的长度大于第一复位件的长度，或者，所述第二复位件的线径大于第一复位件的线径，以使得第二复位件对活塞的压力大于第一复位件对活塞的压力。3.根据权利要求1或2所述的腐蚀性流体输送用气动阀，其特征在于：所述第一复位件和第二复位件抵接于活塞的起始端位于径向同侧，且螺旋方向相反。4.根据权利要求1或2所述的腐蚀性流体输送用气动阀，其特征在于：所述第一复位件和第二复位件的外径差值为S1，第一复位件的外径为S2，则S1/S2为0.212。5.根据权利要求1所述的腐蚀性流体输送用气动阀，其特征在于：所述活塞沿周向间隔布设有限位筋，所述第一复位件套设在该限位筋...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾建东，高杰，谢晓峰，
申请(专利权)人：杭州科百特过滤器材有限公司，
类型：新型
国别省市：