用于确定多图案的线角度及旋转的方法技术

本文公开了用于确定光栅或线特征的线角度及线角度旋转的方法及设备。本公开内容的一个方面涉及，使用测量工具来测量第一线特征的坐标点，从所述坐标点确定所述第一线特征的第一斜率，及从所述第一线特征的所述斜率确定第一线角度。能重复此过程以找出相邻于所述第一线特征的第二线特征的第二斜率。能比较所述第一线特征与所述第二线特征的斜率来找出线角度旋转。所述线角度旋转与设计规格进行比较，来确定拼接品质。来确定拼接品质。来确定拼接品质。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于确定多图案的线角度及旋转的方法


[0001]本公开内容的实施方式大致涉及用于光学装置制造的设备及方法。更特定地，本公开内容的实施方式设计用于测量在波导中并入的光栅结构的拼接品质的设备及方法。

技术介绍

[0002]虚拟现实一般被认为是计算机生成的模拟环境，在其中使用者有明显的实体存在。虚拟现实体验能以三维(3D)生成并利用头戴式显示器(HMD)来观看，头戴式显示器诸如是眼镜或其他可穿戴显示装置，这些装置具有近眼显示面板作为镜片，来显示替代真实环境的虚拟现实环境。
[0003]然而，增强现实使得能够实现这样一种体验，其中使用者仍能看穿眼镜或其他HMD装置的显示镜片来观看周围环境，又能看到被生成以供显示并作为该环境的一部分出现的虚拟物体图像。增强现实能包括任何类型的输入，像是音频或触觉输入，还有加强或增强使用者所经历的环境的虚拟图像、图形、和视频。增强现实作为新兴技术，有许多挑战及设计限制。
[0004]一个挑战是显示叠加在周围环境上的虚拟图像。波导被用来辅助叠加图像。所生成的光通过波导传播直到光离开波导并被叠加在周围环境上。制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种测量线角度的方法，所述方法包含下列步骤：选择光栅结构的视野；使用测量工具来识别线特征；沿着所述线特征选择起点；测量一级坐标，所述一级坐标包含第一x坐标及第一y坐标，其中所述第一x坐标是从所述视野的边缘到所述一级坐标的第一距离；测量沿着所述线特征的至少一个二级坐标的坐标，所述二级坐标包含第二x坐标及第二y坐标，其中所述第二x坐标是从所述视野的所述边缘到所述二级坐标的第二距离；使用所述一级坐标及所述二级坐标来估计理论线特征；及计算在所述理论线特征与参考轴之间的线角度测量值。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述测量工具是扫描式电子显微镜。3.根据权利要求1所述的方法，其中所述线特征是光栅结构中的线。4.根据权利要求1所述的方法，其中所述线特征包含二维线特征，并且其中所述二维线特征包含下列的一者或多者：细长柱、圆柱、或接触孔。5.根据权利要求4所述的方法，其中所述第一距离是在约100nm与约500nm之间的范围中的预定距离。6.根据权利要求1所述的方法，其中所述起点距离所述视野的第一边缘大于150nm，并且其中所述视野的所述第一边缘与所述线特征相交。7.根据权利要求1所述的方法，其中所述理论线特征是利用三个或更多个坐标点计算的。8.根据权利要求7所述的方法，其中所述三个或更多个坐标点间隔开预定距离。9.根据权利要求8所述的方法，其中所述预定距离在每对相邻点之间变化。10.一种测量光刻光栅结构的线角度旋转的方法，所述方法包含下列步骤：测量第一线角度，所述测量步骤包含以下操作：(a)选择光栅结构的视野；(b)使用测量工具来识别线特征；(c)选择沿着所述线特征的起点；(d)测量一级坐标，所述一级坐标包含第一x坐标及第一y坐标，其中所述第一x坐标是从所述视野的边缘到所述一级坐标的第一距离；(e)测量沿着所述线特征的至少一个二级坐标的坐标，所述二级坐标包含第二x坐标及第二y坐标，其中所述第二x坐标是从所述视野的所述边缘到所述二级坐标的第二距离；(f)使用所述一级坐标及所述二级坐标来估计理论线特征；及(g)计算在所述理论线特征与参考轴之间的线角度测量值；测量第二线角度，其中测量所述第二线角度的步骤包含操作(a)
‑
(g)；计算所述第一线角度...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐永安，邢婵娟，傅晋欣，卢多维克，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：