一种利用纳米压印光刻技术制造生物特征成像装置的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种制造用于图像识别装置的光学传感器的方法，所述图像识别装置包括用于在显示面板下方的生物特征成像装置，如指纹检测器。本发明专利技术所述方法提供了一种节省成本的制造工艺，优选地采用纳米压印光刻技术，以使光学传感器结构紧凑且节省成本，并且具有优越透光率。特别地，本发明专利技术公开的图像识别装置可以放置在如智能手机之类的电子装置的显示面板下方。一个实施例涉及一种制造生物特征成像装置的方法，该方法包括以下步骤：提供包括光电探测器像素阵列的图像传感器；在第一透明基板层或光电探测器像素阵列上形成不透明层，其中不透明层具有透明针孔阵列；在不透明层的顶部设置第二透明基板层，并在第二透明基板层的顶部形成微透镜阵列，使得阵列中的每个微透镜对应针孔阵列中的一个针孔和光电探测器阵列中的至少一个像素，其中具有透明针孔阵列和微透镜阵列的不透明层是通过纳米压印光刻技术形成的，包括基于紫外线的纳米压印光刻技术。包括基于紫外线的纳米压印光刻技术。包括基于紫外线的纳米压印光刻技术。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】一种利用纳米压印光刻技术制造生物特征成像装置的方法


[0001]本专利技术涉及光学传感器的制造方法，所述光学传感器用于图像识别装置，所述图像识别装置例如是生物特征成像装置，例如是指纹检测器，所述光学传感器应用于显示面板下方。本专利技术公开的方法提供了一种节省成本的制造工艺，优选地采用纳米压印光刻技术，以使光学传感器结构紧凑且节省成本，并且具有优越透光率。特别地，本专利技术公开的图像识别装置可以放置在如智能手机之类的电子装置的显示面板下方。

技术介绍

[0002]生物识别系统(例如指纹检测器)已大规模集成到带有显示器的电子装置中，包括智能手机、平板电脑、笔记本电脑等，以保护隐私和数据以及验证身份。如今，最常见的指纹检测器是独立于装置显示屏工作的电容式传感器。目前的发展趋势是显示器几乎覆盖装置的整个前面板，由于电容传感器很难与电子显示器集成，使得生物特征成像装置与前面板的集成也很难。
[0003]光学指纹检测器可以放置在显示器的盖板玻璃下方，因为来自手指的反射可以通过盖板玻璃和显示器散射回来到指纹检测器。但为了避免指纹图像模糊，光学指纹检测本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种制造生物特征成像装置的方法，其特征在于，所述方法包括步骤：提供包括光电探测器像素阵列的图像传感器；在第一透明基板层或所述光电探测器像素阵列上形成不透明层，所述不透明层中具有透明针孔阵列；在所述不透明层的顶部设置第二透明基板层，以及在所述第二透明基板层的顶部形成微透镜阵列，使得所述微透镜阵列中的每个微透镜对应于所述针孔阵列中的一个针孔和所述光电探测器阵列中的至少一个像素，其中具有所述透明针孔阵列的所述不透明层和所述微透镜阵列是通过纳米压印光刻技术形成的，所述纳米压印光刻技术包括基于紫外线的纳米压印光刻技术。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，形成的所述微透镜阵列中，各微透镜的焦点位于所述光电探测器像素阵列的平面上。3.根据以上任一项权利要求所述的方法，其特征在于，第一透明基板层覆盖所述图像传感器，优选地在形成所述不透明层之前所述第一透明基板层覆盖所述图像传感器。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，通过纳米压印光刻技术形成所述第一透明基板层，所述纳米压印光刻技术包括基于紫外线的纳米压印光刻技术。5.根据以上任一项权利要求所述的方法，其特征在于，所述不透明层形成在所述第一透明基板层上或形成在所述光电探测器像素阵列上，随后在所述不透明层内形成所述透明针孔阵列。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，通过将第一模具压入不透明聚合物层在所述不透明聚合物层中形成一组透明针孔，以在所述不透明层内形成所述透明针孔阵列，所述第一模具具有一组凸起元件阵列。7.根据权利要求1
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4任一项所述的方法，其特征在于，所述透明针孔阵列作为一组透明微柱形成在所述光电探测器像素阵列上或所述第一透明基板层上，随后在所述透明微柱的阵列周围形成所述不透明层，以形成具有透明针孔阵列的所述不透明层。8.根据权利要求1
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4任一项所述的方法，其特征在于，所述透明针孔阵列作为一组透明微柱刻印在所述第一透明基板层内，随后在所述透明微柱的阵...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛伟琦，乔根，
申请(专利权)人：光波触控有限公司，
类型：发明
国别省市：