本揭露关于模块化容器液滴产生器组件及其部件替换方法，包括液滴产生器组件(DGA)的模块化容器液滴产生器组件(MVDGA)。在正常运作下，液体燃料沿着延伸通过DGA的运作路径移动以将液体燃料(例如，液态锡)从DGA的喷嘴喷射或排放到真空室中。然后将真空室中的液体燃料暴露于产生极紫外(EUV)光的激光中。在维修运作下，关闭运作路径并开启延伸通过DGA的维修路径。气体被引入维修路径，以在气体与液体燃料之间形成气液界面。气液界面被驱动到与DGA直接相邻的隔离阀。换句话说，气体将液体燃料推回隔离阀。一旦气液界面到达隔离阀，隔离阀就会关闭，以隔离DGA与液体燃料。以隔离DGA与液体燃料。以隔离DGA与液体燃料。
【技术实现步骤摘要】
模块化容器液滴产生器组件及其部件替换方法
[0001]本揭露关于模块化容器液滴产生器组件(MVDGA)以及替换MVDGA的部件的方法。
技术介绍
[0002]极紫外光(例如波长为约50纳米(nm)或更小的电磁辐射(有时称为弱x射线)且包括波长为约13.5nm的光)可用于光刻在诸如硅晶片之类的基板中产生极小特征的制程。在此及本揭露中将使用术语光，即使应理解使用术语描述的辐射可能不在光谱的可见光部分中。
[0003]产生极紫外(extreme ultra
‑
viole,EUV)光的方法包括将目标材料从液态转化为电浆态。目标材料偏好包括至少一种元素(例如氙、锂或锡)，其具有在极紫外光范围内的一或多条发射线。在此种方法中，通常称为激光产生电浆(laser produced plasma,LPP)，可通过使用激光束照射所需发射线的元素的目标材料产生电浆。
技术实现思路
[0004]根据本揭露一实施例，一种模块化容器液滴产生器组件的部件替换方法包括：运作极紫外光刻系统的第一液滴产生器以从液体燃料供应源形成液体燃料的液滴，其中液体燃料供应源流体连通第一液滴产生器；停止第一液滴产生器的运作；隔离液体燃料与第一液滴产生器，其中隔离液体燃料与第一液滴产生器包括：通过流体连通第一液滴产生器的维修阀从一气体供应源引入处于第一压力的气体，其中气液界面形成在第一液滴产生器中的液体燃料与气体之间；驱动气液界面至流体连通第一液滴产生器的隔离阀；侦测隔离阀的第二压力；以及当第二压力大致相同于或大于临界压力时，关闭隔离阀；从极紫外光刻系统中移除第一液滴产生器；以及耦合第二液滴产生器至极紫外光刻系统。
[0005]根据本揭露一实施例，一种模块化容器液滴产生器包括：液滴产生器组件、维修阀、隔离阀、压力感测器以及温度调整模块。维修阀耦合至液滴产生器组件。隔离阀耦合至液滴产生器组件并流体连通维修阀。压力感测器耦合至隔离阀。温度调整模块耦合至压力感测器。
[0006]根据本揭露一实施例，一种模块化容器液滴产生器组件的部件替换方法包括：从液体燃料供应组件隔离极紫外光刻系统的第一液滴产生器，其中隔离第一液滴产生器包括：在液体燃料供应组件的一端开启隔离阀，其中位于液体燃料供应组件与第一液滴产生器之间的隔离阀流体连通第一液滴产生器；通过隔离阀从第一液滴产生器驱动液体燃料；驱动在气体与液体燃料之间的气液界面至隔离阀；以及通过关闭隔离阀以隔离液体燃料与第一液滴产生器。
附图说明
[0007]当结合随附诸图阅读时，得自以下详细描述最佳地理解本揭露的一实施方式。应强调，根据工业上的标准实务，各种特征并未按比例绘制且仅用于说明目的。事实上，为了
论述清楚，可任意地增大或减小各种特征的尺寸。
[0008]图1关于耦合至液体燃料储存或供应组件的液滴产生器组件(DGA)；
[0009]图2关于如图1所示的液滴产生器组件；
[0010]图3关于本揭露的液滴产生器组件(DGA)的实施例，其中该实施例具有液滴产生器组件，其耦合至本揭露的液滴产生器组件隔离阀(DIV)系统的实施例；
[0011]图4A、图4B以及图4C关于使用本揭露的液滴产生器组件隔离阀系统以第二液滴产生器替换模块化容器液滴产生器组件的第一液滴产生器的方法的实施例；
[0012]图5关于替换的方法的流程图，替换方法使用本揭露的液滴产生器组件隔离阀系统的实施例以如图4A、图4B以及图4C所示的第二液滴产生器替换模块化容器液滴产生器组件的第一液滴产生器。
[0013]【符号说明】
[0014]98:模块化容器液滴产生器组件
[0015]100:液滴产生器组件
[0016]102:液体燃料传送组件
[0017]102a:第一端
[0018]102b:第二端
[0019]104:燃料供应源
[0020]106:液体燃料
[0021]108:喷嘴
[0022]109:接收端
[0023]110:维修阀
[0024]111:箭头
[0025]112:气体
[0026]113:气体和真空传送组件
[0027]114:燃料阀
[0028]115:释放阀
[0029]116:运作路径
[0030]118:气孔
[0031]120:维修路径
[0032]200:模块化容器液滴产生器组件
[0033]202:再填充和初始组件
[0034]204:液体再填充组件
[0035]206:液体燃料储存或供应组件
[0036]208:液体燃料传送组件
[0037]210:液滴产生器组件
[0038]211:液体燃料
[0039]212:加热元件
[0040]214:过滤器
[0041]216:第一端
[0042]218:第二端
[0043]220:第一液体燃料容器
[0044]222:第二液体燃料容器
[0045]224:阀
[0046]226:阀
[0047]228:第一端
[0048]230:第二端
[0049]232:液滴产生器组件隔离阀系统
[0050]234:喷嘴
[0051]236:维修阀
[0052]236a:第一部分
[0053]236b:第二部分
[0054]237:第一孔
[0055]238:隔离阀
[0056]239:第二孔
[0057]240:运作路径
[0058]242:维修路径
[0059]244:气体
[0060]246:气体和真空传送组件
[0061]248:压力感测器
[0062]249:控制装置
[0063]250:温度调节模块
[0064]252:TTA界面
[0065]254:气体界面
[0066]256:正常运作模式
[0067]258:第一凝固燃料部分
[0068]258:维修运作模式
[0069]260:第二凝固燃料部分
[0070]300:流程图
[0071]步骤:301
[0072]步骤:302
[0073]步骤:304
[0074]步骤:306
[0075]步骤:308
[0076]步骤:310
具体实施方式
[0077]在以下描述中，阐述了某些具体细节以提供对本揭露的各种实施例的理解。然而，本领域具有通常知识者将理解可在没有这些具体细节的情况下实现本揭露。在其他情况
下，未详细描述与极紫外(EUV)光刻系统或半导体制造制程相关的习知结构以避免非必要地模糊本揭露的实施例的描述。
[0078]除非内文另有要求，在说明书与权利要求中，词语“包含”及其变化字(例如“包括”)将被解释为开放性、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种模块化容器液滴产生器组件的部件替换方法，其特征在于，包含：运作一极紫外光刻系统的一第一液滴产生器以从一液体燃料供应源形成一液体燃料的多个液滴，其中该液体燃料供应源流体连通该第一液滴产生器；停止该第一液滴产生器的运作；隔离该液体燃料与该第一液滴产生器，其中隔离该液体燃料与该第一液滴产生器包括：通过流体连通该第一液滴产生器的一维修阀从一气体供应源引入处于一第一压力的一气体，其中一气液界面形成在该第一液滴产生器中的该液体燃料与该气体之间；驱动该气液界面至流体连通该第一液滴产生器的一隔离阀；侦测该隔离阀的一第二压力；以及当该第二压力相同于或大于一临界压力时，关闭该隔离阀；从该极紫外光刻系统中移除该第一液滴产生器；以及耦合一第二液滴产生器至该极紫外光刻系统。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包含通过以下方法开始该第二液滴产生器的运作：关闭该维修阀的一维修路径；以及开启该维修阀的一运作路径。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，其中：关闭该维修阀的该维修路径包括凝固在该维修路径中的一液体燃料；以及开启该维修阀的该运作路径包括解冻在该维修路径中的一凝固液体部分。4.一种模块化容器液滴产生器组件，其特征在于，包含：一液滴产生器组件；一维修阀，耦合至该液滴产生器组件；一隔离阀，...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙于洸，蔡明训，程薇心，赖政豪，陈鑫封，郑乔华，吴政轩，罗煜发，吕柔萱，简上傑，陈立锐，刘恒信，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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