管理方法、测定方法、测定装置、石英晶体振子传感器及套件制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种更简便地管理包含有机溶剂的药液的纯度的管理方法、测定方法、测定装置、石英晶体振子传感器及套件。本发明专利技术的管理方法感测包含有机溶剂的药液中的杂质来管理药液的纯度，所述管理方法具有：工序1，准备包含有机溶剂的对象药液；工序2，使包含吸附杂质的吸附层及石英晶体振子的石英晶体振子传感器与对象药液接触，获得由于与对象药液的接触而引起的石英晶体振子的共振频率的变化量；及工序3，比较所获得的共振频率的变化量是否包括在基于预先设定的对象药液的纯度的共振频率的变化量的允许范围内来管理药液的纯度，在工序2中，与对象药液接触的接液部的至少一部分由氟系树脂构成。分由氟系树脂构成。分由氟系树脂构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】管理方法、测定方法、测定装置、石英晶体振子传感器及套件


[0001]本专利技术涉及一种管理方法、测定方法、测定装置、石英晶体振子传感器及套件。

技术介绍

[0002]半导体器件的制造工序中包括光刻工序、蚀刻工序、离子注入工序及剥离工序等各种工序。要求这种半导体器件的制造工序中所使用的显影液、冲洗液、预湿液及剥离液等各种药液为高纯度。
[0003]作为评价高纯度的药液的特性的方法之一，具有通过将高纯度的药液涂布于基板上并且测定基板上的缺陷数来评价其药液的特性的方法。
[0004]例如在专利文献1中，使用表面检查装置(SP
‑
5；KLA Tencor制造)进行上述评价。
[0005]以往技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：国际公开第2017/169834号

技术实现思路

[0008]专利技术要解决的技术课题
[0009]另一方面，专利文献1中所记载的使用表面检查装置(SP
‑
5；KLA Tencor制造)的测定中，测定顺序本身复杂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种管理方法，感测包含有机溶剂的药液中的杂质来管理所述药液的纯度，所述管理方法具有：工序1，准备包含有机溶剂的对象药液；工序2，使包含吸附所述杂质的吸附层及石英晶体振子的石英晶体振子传感器与所述对象药液接触，获得由于与所述对象药液的接触而引起的所述石英晶体振子的共振频率的变化量；及工序3，比较所获得的所述共振频率的变化量是否包括在基于预先设定的所述对象药液的纯度的共振频率的变化量的允许范围内来管理所述药液的纯度，在所述工序2中，与所述对象药液接触的接液部的至少一部分由氟系树脂构成。2.根据权利要求1所述的管理方法，其中，将所述对象药液送液到所述石英品体振子传感器，使所述对象药液与所述石英晶体振子传感器接触。3.根据权利要求1或2所述的管理方法，其中，使所述对象药液沿单向流向所述石英晶体振子传感器，并使所述对象药液与所述石英晶体振子传感器接触。4.根据权利要求1至3中任一项所述的管理方法，其中，将所述对象药液循环而供给到所述石英晶体振子传感器，所述对象药液的循环流量为0.01～1000ml/s。5.根据权利要求1至4中任一项所述的管理方法，其中，所述吸附层由Si、Au、SiO2、SiOC、Cu、Co、W、Ti、TiN、Ta、TaN及感光性树脂组合物中的至少1个材料构成。6.根据权利要求1至5中任一项所述的管理方法，其中，所述石英晶体振子传感器具有多个所述吸附层，所述工序2为针对多个所述吸附层来分别获得所述共振频率的变化量的工序，所述工序3为计算多个所述吸附层各自的所述共振频率的变化量的差分并且比较所获得的值是否包括在基于预先设定的所述对象药液的纯度的共振频率的变化量的允许范围内来管理所述药液的纯度的工序。7.根据权利要求6所述的管理方法，其中，多个所述吸附层中的至少1个为Au层。8.一种药液的测定方法，其具有：工序1，准备包含有机溶剂的对象药液；及工序2，使包含吸附所述对象药液中的杂质的吸附层及石英晶体振子的石英晶体振子传感器与所述对象药液接触，获得由于与所述对象药液的接触而引起的所述石英晶体振子的共振频率的变化量，在所述工序2中，与所述对象药液接触的接液部的至少一部分由氟系树脂构成。9.根据权利要求8所述的测定方法，其中，将所述对象药液送液到所述石英晶体振子传感器，使所述对象药液与所述石英晶体振子传感器接触。10.根据权利要求8或9所述的测定方法，其中，
使所述对象药液沿单向流向所述石英晶体振子传感器，并使所述对象药液与所述石英晶体振子传感器接触。11.根据权利要求8至10中任一项所述的测定方法，其中，将所述对象药液循环而供给到所述石英晶体振子传感器，所述对象药液的循环流量为0.01～1000ml/s。12.根据权利要求8至11中任一项所述的测定方法，其中，所述吸附层由Si、Au、SiO2、SiOC、Cu、Co、W、Ti、TiN、Ta、TaN及感光性树脂组合物中的至少1个材料构成。13.根据权利要求8至12中任一项所述的测定方法，其中，所述石英晶体振子传感器具有多个所述吸附层，所述工序2为针对多个所述吸附层来分别获得所述共振频率的变化量的工序。14.根据权利要求13所述的测定方法，其中，多个所述吸附层中的至少1个为Au层。15.一种测定装置，感测包含有机溶剂的药液中的杂质，所述测定装置具有：石英晶体振子传感器，接触包含所述有机溶剂的对象药液且包含吸附所述杂质的吸附层及石英晶体振子；振荡部，以共振频率使所述石英晶体振子振动；检测部，连接于所述石英晶体振子传感器，并检测由于与所述对象药液的接触而引起的所述石英晶体振子的共振频率的变化量；及供给部，将所述对象药液供给到所述石英晶体振子传感器，使所述对象药液与所述石英晶体振子传感器接触，与所述对象药液接触的接液部的至少一部分由氟系树脂构成。16.根据权利要求15所述的测定装置，其中，所述测定装置还具有显示所述共振频率的变化量的显示部。17.根据权利要求15或16所述的测定装置，其中，所述供给部使所述对象药液沿单向流动而供给到所述石英晶体振子传感器。18.根据权利要求15至17中任一项所述的测定装置，其中，所述供给部将所述对象...

【专利技术属性】
技术研发人员：上村哲也，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
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